一种多级干式真空泵机组循环冷却结构的制作方法

1.本实用新型涉及真空泵装置技术领域，特别涉及一种多级干式真空泵机组循环冷却结构。


背景技术：

2.多级干式真空泵具有工作腔内无油，可以获得洁净真空，适用于半导体行业、化学工业、制药工业及食品行业等需要无油清洁真空环境的工艺场合；随着半导体工业、电子工业的蓬勃兴起，对于真空环境的要求越来越多、越来越严格；干式真空泵不需要润滑油来润滑密封，做到了无油蒸汽污染，而且对被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感；所以，由干式真空泵组成的真空系统得到了广泛的应用，并在半导体工业、电子工业的发展过程中起到了推动的作用；现有的多级干式真空泵机组在使用时会产生大量热，需要对其进行降温。
3.但时现有的多级干式真空泵机组不具有冷却结构，当真空泵温度过高时不能保证泵正常运行和人员安全。


技术实现要素：

4.本实用新型针对以上问题，提出一种多级干式真空泵机组循环冷却结构来解决上述问题。
5.本实用新型是这样实现的，一种多级干式真空泵机组循环冷却结构，包括真空泵，所述真空泵的上下两端连通有循环冷却管，所述循环冷却管的外侧壁安装有第一水泵，所述第一水泵位于真空泵的上方；
6.循环冷却装置，所述循环冷却装置设置于真空泵的右侧，用于真空泵的降温工作。
7.为了提高换热效果，作为本实用新型的一种多级干式真空泵机组循环冷却结构优选的，所述循环冷却装置包括冷水罐，所述循环冷却管贯穿冷水罐并延伸至冷水罐的内部，位于冷水罐内的循环冷却管呈“螺旋”状。
8.为了方便降低水温，作为本实用新型的一种多级干式真空泵机组循环冷却结构优选的，所述冷水罐的上端面连通有循环管，所述循环管的另一端延伸至冷水罐的下端面且与冷水罐连通，所述循环管的外侧壁从上至下依次安装有冷凝器和第二水泵。
9.为了提高冷水罐散热效果，作为本实用新型的一种多级干式真空泵机组循环冷却结构优选的，所述冷水罐的上端面前后两端均贯穿开设有散热孔，两个所述散热孔的内部均安装有防尘网。
10.为了方便查看冷水罐内部水温，作为本实用新型的一种多级干式真空泵机组循环冷却结构优选的，所述冷水罐的内侧壁左侧安装有温度传感器。
11.为了方便查看循环冷却管的内部压力，作为本实用新型的一种多级干式真空泵机组循环冷却结构优选的，所述循环冷却管的外侧壁连通有连接管，所述连接管的内侧壁螺纹连接有压力表。
12.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
13.该种多级干式真空泵机组循环冷却结构，通过设置第一水泵，用第一水泵使得循环冷却管内的介质(水或空气)在循环冷却管和真空泵内部不停的循环，当介质(水或空气)在循环时，以热传导的形式，通过冷水罐内的冷水对介质(水或空气)降温，从而使得介质(水或空气)始终保持低温状态，降温后的介质(水或空气)通过真空泵时，通过冷介质(水或空气)对真空泵进行降温，进而避免了真空泵温度过高，导致真空泵不能正常运行和给工作人员带来安全隐患的问题。
附图说明
14.图1为本实用新型的一种多级干式真空泵机组循环冷却结构结构图；
15.图2为本实用新型的一种多级干式真空泵机组循环冷却结构正视图；
16.图3为本实用新型的一种多级干式真空泵机组循环冷却结构剖面图。
17.图中，1、真空泵；2、循环冷却装置；201、冷水罐；202、循环冷却管；203、第一水泵；204、连接管；2041、压力表；205、散热孔；206、防尘网；3、循环管；301、冷凝器；302、第二水泵；4、温度传感器。
具体实施方式
18.为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
19.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
20.请参阅图1-3，一种多级干式真空泵机组循环冷却结构，包括真空泵1，真空泵1的上下两端连通有循环冷却管202，循环冷却管202的外侧壁安装有第一水泵203，第一水泵203位于真空泵1的上方；
21.循环冷却装置2，循环冷却装置2设置于真空泵1的右侧，用于真空泵1的降温工作。
22.本实施例中：通过设置第一水泵203，用第一水泵203使得循环冷却管202内的介质(水或空气)在循环冷却管202和真空泵1内部不停的循环，当介质在循环时，以热传导的形式，通过冷水罐201内的冷水对介质降温，从而使得介质始终保持低温状态，降温后的介质通过真空泵1时，通过冷介质对真空泵1进行降温，进而避免了真空泵1温度过高，导致真空泵1不能正常运行和给工作人员带来安全隐患的问题。
23.作为本实用新型的一种技术优化方案，循环冷却装置2包括冷水罐201，循环冷却管202贯穿冷水罐201并延伸至冷水罐201的内部，位于冷水罐201内的循环冷却管202呈“螺旋”状。
24.本实施例中：当介质通过循环冷却管202时，通过循环冷却管202呈“螺旋”状，提高循环冷却管202内的介质在冷水罐201内的冷凝时间，进而提高装置对真空泵1的降温效果。
25.作为本实用新型的一种技术优化方案，冷水罐201的上端面连通有循环管3，循环管3的另一端延伸至冷水罐201的下端面且与冷水罐201连通，循环管3的外侧壁从上至下依次安装有冷凝器301和第二水泵302。
26.本实施例中：用第二水泵302将冷水罐201内的水通过循环管3抽入冷凝器301的内部，从而通过冷凝器301对冷水罐201内的水进行降温，降温后的水通过循环管3再次进入冷水罐201的内部进行循环使用，从而通过循环管3、冷凝器301和第二水泵302的配合使用，使得冷水罐201内的水始终保持低温。
27.作为本实用新型的一种技术优化方案，冷水罐201的上端面前后两端均贯穿开设有散热孔205，两个散热孔205的内部均安装有防尘网206。
28.本实施例中：通过散热孔205，提高冷水罐201的散热效果，通过防尘网206对散热孔205起到防尘效果，进而避免杂质进入冷水罐201的问题。
29.作为本实用新型的一种技术优化方案，冷水罐201的内侧壁左侧安装有温度传感器4。
30.本实施例中：通过设置温度传感器4，进而方便工作人员查看冷水罐201内的水温，提高装置实用性。
31.作为本实用新型的一种技术优化方案，循环冷却管202的外侧壁连通有连接管204，连接管204的内侧壁螺纹连接有压力表2041。
32.本实施例中：通过在连接管204的内侧壁安装压力表2041，进而方便工作人员查看循环冷却管202内部压力。
33.本实用新型的工作原理及使用流程：使用时，通过第一水泵203带动循环冷却管202内的介质流动，当介质穿过循环冷却管202的螺旋管段时，通过冷水罐201内冷水为循环冷却管202内的介质降温，降温后的介穿过真空泵1时为真空泵1降温，进而完成真空泵1降温工作，对真空泵1降温时，通过第二水泵302抽动冷水罐201内的水在循环管3与冷水罐201之间循环，当冷水罐201内的水穿过冷凝器301时，通过冷凝器301对水进行降温，进而使得冷水罐201内的水始终保持低温，进而提高装置降温效果。
34.以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。