1.本发明涉及真空泵以及真空泵的配管构造部。
背景技术：
2.半导体制造装置、液晶制造装置、电子显微镜、表面分析装置或者微细加工装置等需要令装置内的环境为高度的真空状态。为了令这些装置的内部为高度的真空状态而使用真空泵。真空泵通过令转子翼相对于定子翼相对地旋转而能够将气体向外部排气而将上述装置内保持为高真空。
3.但是，有时在真空泵的运转中发生事故而高速旋转的转子与定子等的不旋转的固定部件撞击。此时，转子的动量传递到固定部件，瞬时地产生令真空泵的整体向转子的旋转方向旋转的扭矩。瞬时地产生的过大的扭矩通过凸缘而对真空容器也作用很大的应力。因此，专利文献1中公开了一种真空泵，在形成吸引口的凸缘设置薄壁部，通过令薄壁部塑性变形，吸收过大的扭矩的能量的一部分。
4.现有技术文献专利文献1 : 日本特许第4484470号说明书。
5.发明所要解决的课题专利文献1记载的真空泵能够吸收吸气口侧的变位，但在吸气口以外的配管中，无法吸收变位。有可能例如形成排气口、吹扫端口以及排放端口的配管由于真空泵的旋转方向的偏移而产生相对于外部配管的位置偏移，使得产生内部的气体的泄露。
技术实现要素：
6.本发明是为了解决上述课题而进行的，目的在于提供一种真空泵以及真空泵的配管构造部，即便由于真空泵的损伤而在真空泵产生旋转方向的偏移，也能够抑制与外部配管连接的零件的损伤，能顾抑制气体泄露。
7.解决课题的手段用于实现上述目的的本发明所述的真空泵是利用转子的旋转而从吸气口吸引气体的真空泵，其特征在于，具有将前述转子收容为能够旋转的外壳、以及配置于前述外壳的配管构造部，前述配管构造部的至少一部分具备能够以弹性变形吸收变位的弹性部。
8.发明的效果上述那样地构成的真空泵为，如果由于运转时的损伤而产生位置偏移，则弹性部弹性地变形，能够抑制配管构造部的与外部配管连接的部位的位置偏移。因此，能够抑制连接配管构造部与外部配管的零件的损伤，能够抑制在配管构造部流动的气体的泄露。
9.前述配管构造部的从前述外壳的突出方向也可以具有前述转子的半径方向的方向成分。由此，当在配管构造部没有设置弹性部的情况下，会容易由于真空泵的旋转方向的偏移，配管构造部的与外部配管的连接部位容易发生位置偏移，但通过在配管构造部设置弹性部，能够有效地抑制配管构造部的与外部配管的连接部位的位置偏移。
10.也可以前述配管构造部的从前述外壳的突出方向具有前述转子的轴向的方向成分，前述配管构造部的轴中心配置在从前述转子的轴中心在径向上偏移的位置。由此，当在配管构造部没有设置弹性部的情况下，由于真空泵的旋转方向的偏移，配管构造部的与外部配管的连接部位容易发生位置偏移，但通过在配管构造部设置弹性部，能够有效地抑制配管构造部的与外部配管的连接部位的位置偏移。
11.前述配管构造部也可以具有波纹管构造。由此，利用波纹管构造，能够有效地抑制配管构造部的与外部配管的连接部位的位置偏移，能够有效地抑制在配管构造部流动的气体的泄露。
12.前述弹性部也可以由弹性部件所构成的弹性零件构成，被夹持配置在设置于前述配管构造部的配管和前述外壳之间。由此，利用弹性零件，能够有效地抑制配管构造部的与外部配管的连接部位的位置偏移，能够有效地抑制在配管构造部流动的气体的泄露。
13.前述配管构造部也可以是排气口。由此，利用能够弹性地变形的配管构造部能够有效地抑制在作为排气口的配管构造部流动的排气气体的泄露。
14.前述配管构造部也可以是吹扫端口。由此，利用能够弹性地变形的配管构造部，能够有效地抑制在作为吹扫端口的配管构造部流动的吹扫气体的泄露。
15.用于实现上述目的的本发明所述的真空泵的配管构造部是为了与外部配管连接而配置于真空泵的外壳的、真空泵的配管构造部，其特征在于，至少一部分具备能够利用弹性变形而吸收变位的弹性部。
16.上述那样地构成的配管构造部为，即便由于连接的真空泵的损伤而产生旋转方向的偏移，弹性部变形，能够抑制配管构造部的与外部配管连接的部位的位置偏移。因此，能够抑制连接配管构造部与外部配管的零件的损伤，能够抑制在配管构造部流动的气体的泄露。
17.前述配管构造部也可以具有波纹管构造。由此，利用波纹管构造能够有效地抑制配管构造部的与外部配管的连接部位的位置偏移，能够有效地抑制在配管构造部流动的气体的泄露。
18.前述配管构造部也可以具有配管、能够配置在前述配管的流路方向的一端侧的由弹性部件构成的弹性零件。由此，通过弹性零件，能够有效地抑制配管构造部的与外部配管的连接部位的位置偏移，能够有效地抑制在配管构造部流动的气体的泄露。
附图说明
19.图1是表示第一实施方式所述的真空泵的剖视图。
20.图2是放大表示真空泵的配管构造部的附近的剖视图。
21.图3是表示配管构造部的第一变形例的真空泵的配管构造部的附近的剖视图。
22.图4是表示配管构造部的第二变形例的真空泵的配管构造部的附近的剖视图。
23.图5是表示第二实施方式所述的真空泵的配管构造部的附近的剖视图。
24.图6是第二实施方式所述的真空泵的配管构造部的附近的、螺栓所插入的位置处的剖视图，（a）表示配管构造部的内部变为负压前的状态，（b）表示配管构造部的内部变为负压后的状态。
25.图7是表示配管构造部的其他应用例的真空泵的俯视图。
26.附图标记说明1真空泵3转子4外壳100、110配管构造部101、121本体凸缘102、122外部凸缘103、123管状部130弹性零件（弹性部）200外部配管。
具体实施方式
27.以下，参照附图说明本发明的实施方式。另外，附图的尺寸为了方便说明有时夸张而与实际的尺寸不同。此外，在本说明书以及附图中，对于实质上具有相同的功能结构的构成要素，标注同一符号从而省略重复说明。
28.＜第一实施方式＞本发明的第一实施方式所述的真空泵1如图1所示，是涡轮分子泵，具备转子翼32的转子3高速旋转，从而将气体分子弹飞，从而将气体排气。真空泵1具有用于吸引气体而排气的真空泵本体2、以及控制真空泵本体2的控制装置5。真空泵1用于从例如半导体制造装置等的腔室将气体吸引并排气。
29.真空泵本体2具有：能够旋转的转子3、将转子3以能够旋转的方式包围的外壳4、配置于外壳4而成为排气口的配管构造部100。真空泵本体2进而具有将转子3支承为能够旋转的轴承、检出转子3的变位的变位传感器、驱动转子3旋转的马达80（驱动部）。
30.外壳4具有：形成有吸气口11的圆筒状的第一外壳10、成为排气口的配管构造部100所连接的第二外壳20、固定于第二外壳20的定子柱22、静翼部40、带螺纹衬垫90。
31.第一外壳10位于真空泵本体2的上部，在上端形成有吸气口11。第一外壳10借助螺栓12相对于配设于其底部的第二外壳20固定。
32.转子3在第一外壳10的内方配置为能够旋转。转子3具有轴体35、沿轴向多层的转子翼32、配置在比转子翼32靠下游的圆筒部33。转子翼32是构成涡轮分子泵且用于将气体吸引排气的叶片。各层的多个转子翼32沿周方向被放射状地排列。
33.转子3是大致圆筒形状，在内侧贯通固定轴体35。各个转子翼32为了将排气气体的分子利用撞击向下方移送，从垂直于轴体35的轴向的平面以既定的角度倾斜地形成。转子翼32一体地形成在转子3的外周面。或者，转子翼32也可以固定于转子3的外周面。
34.圆筒部33配置在比转子翼32更靠下游，形成为圆筒状。该圆筒部33向带螺纹衬垫90的内周面伸出而形成。圆筒部33与带螺纹衬垫90的内周面隔开既定的间隙而接近。
35.轴体35配置在转子3的旋转中心。轴体35具有圆柱状的主轴部36、配置在主轴部36的下部的圆板状的盘37。主轴部36以及盘37由能够被磁性吸引的高透磁率材料（铁等）形成。主轴部36被后述的上游侧径向电磁体61以及下游侧径向电磁体62的磁力吸引而被控制位置。
36.轴承是例如所谓5轴控制的磁性轴承，悬浮支承轴体35并且进行位置控制。轴承具有：吸引主轴部36的上游侧的上游侧径向电磁体61、吸引主轴部36的下游侧的下游侧径向电磁体62、吸引盘37的轴向电磁体63a，63b、辅助轴承65。辅助轴承65在转子3的轴振动变大时与主轴部36接触，抑制转子3与固定件侧直接接触而破损。
37.上游侧径向电磁体61具有在垂直于旋转轴的面中正交的两个轴的各自中成对配置的四个电磁体。下游侧径向电磁体62具有在垂直于旋转轴的面中正交的两个轴的各自中成对配置的四个电磁体。轴向电磁体63a，63b上下夹着盘37地配置。
38.变位传感器为了检出转子3的变位而配置于定子柱22。变位传感器具有上游侧径向传感器71、下游侧径向传感器72、轴向传感器73。上游侧径向传感器71是与四个上游侧径向电磁体61接近且对应地配置的四个非接触型的传感器。上游侧径向传感器71构成为检出轴体35的主轴部36的上部的径向变位并将该变位信号向控制装置5发送。作为用作上游侧径向传感器71的传感器的例子，有电感式传感器、涡电流式传感器等。
39.下游侧径向传感器72是与四个下游侧径向电磁体62接近且对应地配置的四个非接触型的传感器。下游侧径向传感器72构成为检出主轴部36的下部的径向变位并将该变位信号向控制装置5发送。作为用作下游侧径向传感器72的传感器的例子，有电感式传感器、涡电流式传感器等。
40.轴向传感器73配置在盘37的下方。轴向传感器73构成为检出轴体35的轴向变位并将该变位信号向控制装置5发送。
41.控制装置5基于上游侧径向传感器71检出的变位信号，经由具有pid调节功能的补偿回路而对上游侧径向电磁体61进行励磁控制，调整主轴部36的上游侧的径向位置。该调整在垂直于旋转轴的面中正交的两个轴的各自中独立地进行。
42.此外，控制装置5基于下游侧径向传感器72检出的变位信号经由具有pid调节功能的补偿回路而对下游侧径向电磁体62进行励磁控制，调整主轴部36的下游侧的径向位置。该调整在垂直于旋转轴的面中正交的两个轴的各自中独立地进行。
43.进而，控制装置5中，基于轴向传感器73检出的变位信号对轴向电磁体63a，63b进行励磁控制。此时，轴向电磁体63a借助磁力向上方吸引盘37，轴向电磁体63b向下方吸引盘37。这样地，磁性轴承通过适当地调节施加于轴体35的磁力，从而能够令轴体35磁性悬浮而以非接触的方式将其支承为能够旋转。
44.马达80具有配置在旋转件侧的作为多个永磁体的磁极81、配置于固定件侧的马达电磁体82。磁极81从马达电磁体82被施加令轴体35旋转的扭矩成分。由此，转子3被旋转驱动。
45.此外，马达80安装有未图示的转速传感器以及马达温度传感器。转速传感器以及马达温度传感器将检出的结果作为检出信号向控制装置5发送。控制装置5将从转速传感器以及马达温度传感器接收的信号用于轴体35的旋转的控制。
46.静翼部40具有多层的定子41、以夹持各层的定子41的方式层积的多个定子用衬垫42。各个定子41具有多个定子翼43。
47.定子翼43与转子翼32同样地从垂直于轴体35的轴向的平面以既定的角度倾斜地形成。定子翼43朝向第一外壳10的内方，与转子翼32的层相互错开地配设。定子翼43的外周侧的端部被夹持在多个层积的环状的定子用衬垫42之间而被支承。定子用衬垫42层积配置
在第一外壳10的内侧。定子用衬垫42由例如铝、铁、不锈钢、铜等的金属，或者作为成分包含这些的金属的合金等的金属构成。
48.带螺纹衬垫90配置在定子用衬垫42的下部和第二外壳20之间。带螺纹衬垫90与转子3的圆筒状地配置的圆筒部33隔开既定的间隙而接近。在带螺纹衬垫90的内周面形成有多条螺旋状的螺纹槽91。该螺纹槽91的螺旋的方向为下述方向，即排气气体的分子沿转子3的旋转方向移动时该分子被向排气口一方移送。带螺纹衬垫90以及圆筒部33构成螺纹槽泵。带螺纹衬垫90由铝、铜、不锈钢、铁、或者作为成分包含这些的金属的合金等的金属构成。
49.第二外壳20是构成真空泵本体2的底部的圆盘状的部件。第二外壳20在带螺纹衬垫90的下部连接配管构造部100。第二外壳20一般而言由铁、铝、不锈钢等的金属构成。第二外壳20优选物理地保持真空泵本体2，并且具有导热路的功能。因而，第二外壳20的构成材料优选具有刚性且导热率高的金属，优选地例如能够使用铁、铝、铜等。
50.配管构造部100如图2所示，是将排气气体向外部配管200排气的排气口。配管构造部100形成排气气体流通的流路，作为整体形成为大致筒状。配管构造部100连接于外壳4的第二外壳20的侧壁面，从第二外壳20沿转子3的半径方向突出。配管构造部100具有：与外壳4连接的本体凸缘101、连接于外部配管200的外部凸缘102、设置在本体凸缘101与外部凸缘102之间的管状部103、筒状部108。
51.本体凸缘101夹着o形环104而固定于外壳4。本体凸缘101例如利用螺栓105被固定于外壳4，但固定方法没有特别限定。o形环104具有保持配管构造部100的内部的真空的作用。
52.外部凸缘102位于本体凸缘101的相反侧，隔着例如公知的带中心环的o形环106而固定于外部配管200的凸缘。外部凸缘102和外部配管200的凸缘例如通过公知的夹钳107被紧固固定。另外，外部凸缘102和外部配管200的凸缘的固定方法没有特别限定，也可以借助例如螺栓等被固定。
53.管状部103具有波纹管构造，由能够柔性地变形的弹性部构成。管状部103是波纹管构造，从而能够向配管构造部100的流路方向（转子3的半径方向）弹性地伸缩，并且而能够向全部方向弹性地弯曲。
54.配管构造部100的构成材料只要波纹管构造能够弹性地变形且本体凸缘101以及外部凸缘102能够向安装对象适当地安装，则没有特别地限定，优选地能够使用例如不锈钢等的金属材料、聚四氟乙烯（ptfe）等的高分子材料。配管构造部100的至少内表面由ptfe形成时，能够提高配管构造部100的耐腐食性。
55.筒状部108是比本体凸缘101更向外壳4侧突出的筒状的部位。筒状部108进入设置于外壳4的流路的孔部24地配置。
56.上述的真空泵本体2为，若轴体35被马达80驱动，则转子翼32以及圆筒部33旋转。由此，利用转子翼32和定子翼43的作用，通过吸气口11将来自腔室的排气气体吸气。
57.从吸气口11吸气的排气气体借助转子翼32与定子翼43被向第二外壳20移送。此时，由于排气气体与转子翼32接触时产生的摩擦热、由马达80产生的热的传导等，转子翼32的温度上升。但是，借助辐射或者基于排气气体的气体分子等的导热，该热被传递到定子翼43侧。进而，定子用衬垫42在外周部相互接合。因此，定子翼43从转子翼32接收的热、排气气
体与定子翼43接触时产生的摩擦热等经由定子用衬垫42而向外部传递。
58.此外，被移送到第二外壳20的排气气体被引导到带螺纹衬垫90的螺纹槽91后，被向作为排气口的配管构造部100移送。另外，本实施方式中，带螺纹衬垫90配置于圆筒部33的外周，在带螺纹衬垫90的内周面形成有螺纹槽91。但是，也可以与此相反，在圆筒部33的外周面形成螺纹槽，在其周围配置具有圆筒状的内周面的衬垫。
59.此外，电装部的外周由定子柱22覆盖，使得从吸气口11吸引的气体不会进入由马达80、下游侧径向电磁体62、下游侧径向传感器72、上游侧径向电磁体61、上游侧径向传感器71等构成的电装部侧。在包围电装部的定子柱22内利用吹扫气体被保持为既定压力。第二外壳20配设有未图示配管，通过该配管导入吹扫气体。该导入的吹扫气体通过辅助轴承65与轴体35之间、马达80之间、定子柱22与转子翼32之间的间隙而被向作为排气口的配管构造部100送出。
60.第二外壳20等的外周卷装有未图示的加热器、环状的水冷管23。此外，第二外壳20中埋入有未图示的温度传感器（例如热敏电阻）。而且，基于该温度传感器的信号，以将第二外壳20的温度保持为一定的高温（设定温度）的方式，进行基于加热器的加热、基于水冷管23的冷却的控制。由此，抑制在真空泵本体2的内部工艺气体附着堆积。
61.工艺气体有时为了提高反应性而以高温的状态被导入腔室。这些的工艺气体若在排气时变为被冷却的温度则变为固体，有时在排气系统析出生成物。而且，这种工艺气体在真空泵本体2内变为低温而变为固体状，附着并堆积于真空泵本体2的内部。
62.例如，在al蚀刻装置中作为工艺气体使用sicl4时，在低真空（1
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105［pa］～1［pa］）且低温（约20［℃］）时，析出固体生成物（例如alcl3），堆积在真空泵本体2的内部。若在真空泵本体2的内部堆积工艺气体的析出物，则该堆积物令泵的流路变窄，成为令真空泵本体2的性能降低的原因。例如，前述的生成物容易在排气口附近的温度低的部分，特别地在圆筒部33以及带螺纹衬垫90附近凝固附着。因而，控制装置5基于温度传感器的信号进行基于加热器的加热、基于水冷管23的冷却的控制，以便将第二外壳20的温度保持为一定的高温（设定温度）。由此，能够抑制在真空泵本体2的内部附着并堆积工艺气体。
63.有时在真空泵1的运转中发生事故而高速旋转的转子3与定子41等的不旋转的固定部件撞击。此时，转子3的动量传递到固定部件，真空泵1的整体瞬时向转子3的旋转方向旋转。此时，配管构造部100由于具有能够弹性地变形的波纹管构造，所以吸收旋转导致的位置偏移。因此，与外部配管200连接的外部凸缘102的位置不移动，或者移动被降低。其结果，能够抑制连接外部凸缘102和外部配管200的凸缘的夹钳107的破损，能够抑制配管构造部100的内部的排气气体泄露。此外，配管构造部100也能够吸收转子3的旋转方向以外的方向的变位，所以能够进一步有效地抑制夹钳107的破损，进而能够有效地抑制配管构造部100的内部的排气气体泄露。
64.如上所述，第一实施方式所述的真空泵1是借助转子的旋转从吸气口吸引气体的真空泵1，具有：以能够旋转的方式收容转子3的外壳4、配置于外壳4的配管构造部100，配管构造部100的至少一部分具备能够通过弹性变形来吸收变位的弹性部。
65.上述那样地构成的真空泵1为，若由于运转时的损伤而产生位置偏移（主要是旋转方向的偏移），则波纹管构造（弹性部）弹性变形，能够抑制配管构造部100的与外部配管200连接的部位的位置偏移。因此，能够抑制连接配管构造部100和外部配管200的零件的损伤，
能够抑制在配管构造部100流动的气体的泄露。
66.此外，配管构造部100的从外壳4的突出方向具有转子3的半径方向的方向成分。由此，在配管构造部100没有设置弹性部时，由于真空泵1的旋转方向的偏移，配管构造部100的与外部配管200的连接部位容易位于转子3的半径方向的外侧，容易发生位置偏移。但是，通过在配管构造部100设置弹性部，能够有效地抑制配管构造部100的与外部配管200的连接部位的位置偏移。另外，配管构造部100的从外壳4的突出方向也可以与转子3的半径方向平行，也可以相对于转子3的半径方向倾斜。
67.此外，配管构造部100具有波纹管构造。由此，利用波纹管构造，能够有效地抑制配管构造部100的与外部配管200的连接部位的位置偏移，能够有效地抑制在配管构造部100流动的气体的泄露。
68.此外，配管构造部100是排气口。由此，能够利用能够弹性地变形的配管构造部100有效地抑制在作为排气口的配管构造部100流动的排气气体的泄露。
69.另外，作为第一实施方式的第一变形例，配管构造部100如图3所示，也可以本体凸缘101以及外部凸缘102由高刚性的材料形成，具有波纹管构造而想令其弹性变形的管状部103由柔性的高分子材料形成。高刚性的材料例如是不锈钢等的金属材料。柔性的高分子材料是例如聚四氟乙烯（ptfe）、硅橡胶等。此外，作为柔性且耐真空的材料，例如也可以使用将柔性材料利用线材等加强而成的复合材料。在配管构造部100的至少内表面由ptfe形成时，能够提高配管构造部100的耐腐食性。本体凸缘101以及外部凸缘102、管状部103之间的接合方法没有特别地限定，但也可以借助例如粘结、包围管状部103的外侧的环状的敛缝部件109将管状部103压装于本体凸缘101、外部凸缘102。即便是这样的构造的配管构造部100，也能够利用能够弹性地变形的管状部103有效地吸收真空泵1的旋转方向的偏移。这样的构造的配管构造部100利用高刚性的本体凸缘101以及外部凸缘102，能够相对于外壳4以及外部配管200良好地连接，并且能够提高具有波纹管构造的管状部103的柔性。
70.此外，作为第一实施方式的第二变形例，配管构造部100如图4所示，也可以由高刚性的材料形成本体凸缘101以及外部凸缘102，由圆管状的柔性材料形成想使之弹性变形的管状部103。即，配管构造部100也可以不具有波纹管构造。另外，本体凸缘101，外部凸缘102以及管状部103的材料能够应用记载于第一变形例的材料。即便是这样的构造的配管构造部100，也能够利用能够弹性地变形的管状部103有效地吸收真空泵1的旋转方向的偏移。
71.＜第二实施方式＞第二实施方式所述的真空泵1仅配管构造部110的构造与第一实施方式不同。第一实施方式中的配管构造部100中配管自身包含弹性部，相对于此，第二实施方式中的配管构造部110中，作为配管120之外的其他构造具有弹性部。
72.第二实施方式中的配管构造部110如图5以及6（a）所示，具有：配管120、由弹性部件构成的弹性零件130（弹性部）、将配管120相对于外壳4的分离量限制在既定的范围的移动限制部140、第一o形环150、第二o形环151。
73.配管120具有：与外壳4连接的本体凸缘121、与外部配管200连接的外部凸缘122、设置在本体凸缘121与外部凸缘122之间的管状部123、筒状部125。
74.本体凸缘121夹着第一o形环150而与弹性零件130接触。本体凸缘121形成有供移动限制部140贯通的多个贯通孔124。外部凸缘122位于本体凸缘121的相反侧，夹着带中心
环的o形环106而固定于外部配管200的凸缘。外部凸缘122和外部配管200的凸缘借助例如夹钳被紧固固定。另外，外部凸缘122和外部配管200的凸缘的固定方法没有特别限定。管状部123是圆管状，与本体凸缘121以及外部凸缘122一体地形成。配管120的构成材料没有特别限定，为例如不锈钢等的金属材料。筒状部125是比本体凸缘121向外壳4侧突出的筒状的部位。筒状部125进入设置于外壳4的流路的孔部24地配置。
75.弹性零件130是夹在外壳4的外表面、本体凸缘121的朝向外壳4的面之间而配置的由弹性材料构成的部件。弹性零件130夹着第二o形环151而与外壳4的外表面接触。弹性零件130在外壳4与本体凸缘121之间以大致一定的厚度形成，形成有供移动限制部140贯通的贯通孔131。构成弹性零件130的弹性材料没有特别限定，但由于要求耐腐蚀性以及耐热性，所以可以举出例如硅树脂。构成弹性零件130的弹性材料优选比第一o形环150以及第二o形环151稍软。弹性材料如果过软，则无法压溃第一o形环150以及第二o形环151，难以保持配管构造部110的内部的负压。第一o形环150以及第二o形环151的构成材料没有特别限定，例如是氟系树脂。作为构成弹性零件130的弹性部件的特性，若为向排气口的长度方向的纵弹性系数大、向与其正交的的方向的横弹性系数小的特性，则容易吸收在排气口产生的弯曲的变位，即令配管120倾斜的变位。另外，弹性零件130只要能够保持配管构造部110的内部的负压，也可以不设置第一o形环150以及第二o形环151。
76.移动限制部140具有筒状的移动限制套筒141和移动限制螺栓142。移动限制套筒141贯通弹性零件130的贯通孔131以及本体凸缘121的贯通孔124。移动限制套筒141的外周面与贯通孔131以及贯通孔124具有间隙。移动限制套筒141的一端侧与外壳4的外表面突接，其相反侧具有外径扩大的限制用抵接部143。限制用抵接部143与本体凸缘121的从外壳4离开侧的面抵接，将配管120相对于外壳4的分离量限制为既定的范围。
77.移动限制螺栓142从远离外壳4侧贯通移动限制套筒141的内部，固定于形成在外壳4的外表面的螺纹孔144。由此，移动限制螺栓142相对于外壳4固定移动限制套筒141。
78.第一o形环150以及第二o形环151具有保持配管构造部110的内部的负压的作用。
79.若真空泵1动作，则配管构造部110的内部变为负压。由此，如图6（b）所示，配管120一边令弹性零件130变形一边接近外壳4的外表面。由此，本体凸缘121从限制用抵接部143离开。此时，移动限制套筒141具有间隙地贯通贯通孔131以及贯通孔124，所以配管120变为被弹性零件130柔性地支承的状态，允许相对于外壳4接近以及离开的移动。此外，配管120的外壳4侧的筒状部125与设置于外壳4的流路的孔部24的内周面具有稍微的间隙。该状态下，若由于真空泵1的事故而真空泵1的整体向转子3的旋转方向瞬时地旋转，则被各个移动限制部140可移动地支承的配管120能够一边令弹性零件130变形一边在既定的范围内相对于外壳4接近以及分离，并且能够以吸收旋转方向的移动的方式倾斜。因此，能够抑制连接配管构造部110和外部配管200的零件的损伤，能够抑制在配管构造部110流动的气体的泄露。
80.如上所示，第二实施方式中，弹性部由弹性部件所构成的弹性零件130构成，被夹持配置在设置于配管构造部110的配管120和外壳4之间。由此，利用弹性零件130，能够有效地抑制配管构造部110的与外部配管200的连接部位的位置偏移，能够有效地抑制在配管构造部110流动的气体的泄露。
81.另外，本发明并不仅限定于上述的实施方式，能够由本领域技术人员在本发明的
技术构思内进行各种变更。例如，如图7所示，具有弹性部的配管构造部100也可以具有与转子3的旋转轴平行的方向x的成分而突出。另外，配管构造部100的突出方向相对于方向x也可以平行也可以倾斜。配管构造部100的轴中心从转子3的轴中心的延长线上向转子3的半径方向离开。此时，若不在配管构造部设置弹性部，则由于真空泵1的旋转方向的偏移，配管构造部的与外部配管的连接部位容易发生位置偏移，但通过在配管构造部100设置弹性部，能够有效地抑制配管构造部100的与外部配管的连接部位的位置偏移。另外，如图7中由点划线示出的配管构造部100a那样，配管构造部100a的中心轴也可以配置在转子3的旋转轴的延长线上。
82.此外，配管构造部即便应用于向真空泵1供给吹扫气体的吹扫端口160，也能够实现同样的效果。此外，配管构造部即便应用于用于将真空泵1的内部的压力释放的排放端口，也能够实现同样的效果。