低温泵的制作方法

文档序号:30948140发布日期:2022-07-30 06:13阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种低温泵,具备:冷冻机,该冷冻机具备:第1台部,其构成为被冷却至第1温度;第2台部,其构成为被冷却至比所述第1温度低的第2温度;以及缸体,其将所述第1台部连接到所述第2台部;辐射屏蔽部,该辐射屏蔽部具备:筒状部,其具有导入外气的导入口;底部,其位于所述筒状部的与所述导入口相反的一侧;以及贯通孔,其贯通所述筒状部,所述缸体穿过所述贯通孔,所述辐射屏蔽部在所述筒状部外与所述第1台部热连接;挡板,其位于所述导入口;低温板,其在所述筒状部内与所述第2台部热连接;以及罩部,在从与所述挡板相对的视点观察时,所述罩部位于所述挡板与所述缸体之间并与所述第1台部连接。2.根据权利要求1所述的低温泵,其中,在从与所述挡板相对的视点观察时,所述罩部覆盖所述缸体中的25k以上45k以下的温度区域部分。3.根据权利要求1或2所述的低温泵,其中,所述罩部为第1罩部,所述低温泵还具备第2罩部,该第2罩部与所述第2台部连接,沿着所述缸体延伸,在从与所述挡板相对的视点观察时,所述第2罩部覆盖所述第1罩部。4.根据权利要求3所述的低温泵,其中,所述缸体与所述第1罩部之间的距离比所述第2罩部与所述第1罩部之间的距离小。5.根据权利要求1或2所述的低温泵,其中,所述罩部具有筒状,所述缸体的一部分位于所述罩部内。6.根据权利要求1或2所述的低温泵,其中,所述罩部从所述第2台部分开。

技术总结
本发明提供能够抑制排气容量的减少的低温泵。具备:冷冻机(11);辐射屏蔽部(12),具备:筒状部(12A),具有导入外气的导入口(12A1);底部(12B),封闭与筒状部(12A)的导入口(12A1)相反的一侧的开口;以及贯通孔(12AH),贯通筒状部(12A),穿过第2缸体(11D),且该辐射屏蔽部在筒状部外与冷冻机的第1台部(11A)热连接;挡板(13),位于导入口;低温板(14),在筒状部内与冷冻机(11)的第2台部(11B)热连接;以及第1罩部(15),在从与挡板(13)相对的视点观察时,位于挡板(13)与冷冻机(11)的第2缸体(11D)之间,与第1台部(11A)连接。第1台部(11A)连接。第1台部(11A)连接。


技术研发人员:朴文官 日高康祐 安田淳一 村山吉信
受保护的技术使用者:爱发科低温泵株式会社
技术研发日:2022.01.06
技术公布日:2022/7/29
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