一种罗茨真空泵的制作方法

1.本发明涉及真空技术领域，具体涉及一种罗茨真空泵。


背景技术：

2.罗茨真空泵由罗茨鼓风机发展演变而来，泵内装有两个相反方向同步旋转的叶形转子，转子间以及转子与泵壳内壁间有细小间隙而互不接触，是一种变容真空泵。
3.目前被广泛使用的罗茨真空泵主要包括以下类型：高真空多级罗茨泵、中真空罗茨增压泵和直排大气的干式罗茨泵。罗茨真空泵广泛应用于电子、化工、纺织等行业，根据使用需求的不同，采用不同的罗茨真空泵或者多种罗茨真空泵的组合来获得真空，但是单机罗茨泵不能单独运行，需要增加前级；当工作环境需要多台罗茨真空泵串并联实现高真空时，存在体积大，工作效率低的问题。


技术实现要素：

4.因此，本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中多台罗茨真空泵串并联体积大、工作效率低的缺陷，从而提供一种体积小、工作效率高的罗茨真空泵。
5.为实现上述目的，本发明采取的技术方案为：
6.一种罗茨真空泵，包括：
7.泵体，具有容纳腔；
8.隔断结构，设于所述容纳腔，将所述容纳腔沿轴向分割成容积不等的第一腔室和第二腔室，且所述隔断结构上设有用于连通所述第一腔室和第二腔室的气体通道。
9.可选的，所述气体通道设于所述隔断结构的外周，且具有气体进口和气体出口，所述气体进口和气体出口分设在所述隔断结构轴线的两侧。
10.可选的，所述气体进口和气体出口关于所述隔断结构的中心对称设置。
11.可选的，所述泵体包括沿径向开合设置的第一泵体和第二泵体，所述隔断结构包括分设在第一泵体中的第一隔板和第二泵体中的第二隔板。
12.可选的，还包括设于所述隔断结构中的第一密封件，所述第一密封件环设在所述气体通道的内层。
13.可选的，所述第一密封件为迷宫密封圈。
14.可选的，还包括并排设于所述容纳腔中的第一传动轴和第二传动轴、与所述第一传动轴和第二传动轴连接的驱动结构，以及分设于所述第一传动轴和第二传动轴上的第一转子和第二转子。
15.可选的，所述驱动结构为双轴驱动电机。
16.可选的，所述第一泵体和第二泵体通过紧固件拆卸连接，且在所述第一泵体和第二泵体的装配面上设有第二密封件。
17.可选的，所述第二密封件为密封胶。
18.本发明技术方案，具有如下优点：
19.1.本发明提供的罗茨真空泵，通过在泵体容纳腔中设置隔断结构，将容纳腔沿轴向分割成容积不等的第一腔室和第二腔室，且所述隔断结构上设有用于连通所述第一腔室和第二腔室的气体通道，气体在第一腔室中被压缩，第一腔室的容积较大，气体此时的一级压缩形成压力较小；经过一级压缩后的气体经过气体通道进入到第二腔室中，气体在第二腔室被压缩，第二腔室的容积较小，气体此时的二级压缩形成压力较大，被二级压缩后的气体可以直排大气。经过两级的压缩，形成较大的压力差，气体抽速变快，工作效率可以得到较大提升，原本需要两台真空泵形成的压差，现在通过本发明所述的一台罗茨真空泵就可以实现；且一级压缩的气体进入另一腔室继续压缩，节省了能源，提高了能效。
20.2.本发明提供的罗茨真空泵，气体通道的气体进口和气体出口关于隔断结构的中心对称设置，这样最大程度上增加了气体的流通路径，起到很好的缓冲作用。
21.3.本发明提供的罗茨真空泵，第一泵体和第二泵体配合密封时，通过该面磨削加工，确保该平面的粗糙度及平面度，配合面涂抹高性能真空密封胶实现泵体与大气之间的良好密封。
22.4.本发明提供的罗茨真空泵，第一隔板和第二隔板在接触面位置采用迷宫密封圈密封，进而可以对高压腔与低压腔进行密封，密封效果好。
附图说明
23.为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
24.图1为本发明的罗茨真空泵隔断结构在泵体中的位置示意图；
25.图2为罗茨真空泵的主视图；
26.图3为罗茨真空泵的剖视图。
27.附图标记：1、第一泵体；2、第二泵体；3、隔断结构；4、第一腔室；5、第二腔室；6、第一转子；7、第二转子；8、第一传动轴；9、第二传动轴；10、第一密封件；11、气体通道；12、气体进口；13、气体出口；14、驱动结构。
具体实施方式
28.下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
29.在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
30.在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可
以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
31.此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
32.如图1至图3所示的一种罗茨真空泵，包括泵体、隔断结构、驱动结构以及与驱动结构连接的传动轴和转子，所述的一台罗茨真空泵可以替代多台罗茨真空泵串并联工作的形式，从而减小泵体的体积，提高工作效率。
33.泵体内部具有容纳腔，所述泵体包括沿径向开合设置的第一泵体1和第二泵体2，第一泵体1和第二泵体2通过紧固件可拆卸连接，具体的，可通过定位销定位，螺钉锁紧；在加工第一泵体1和第二泵体2配合密封面时，通过该面磨削加工，确保该平面的粗糙度及平面度，配合面涂抹高性能真空密封胶实现泵体与大气之间的密封；第一泵体1和第二泵体2长度、宽度、高度均按照图纸规定尺寸及相应形位公差要求进行加工。对于加工泵体使用的材料，本实施例不做具体限定，其可以是铸铁、铸钢、不锈钢、碳素结构钢、合金钢、复合材料等中的一种，只要可以保证选取的材料强度高，耐腐蚀性好，耐磨性好，加工性能优越即可。
34.隔断结构3设于所述泵体内部的容纳腔中，包括分设在第一泵体1中的第一隔板和第二泵体2中的第二隔板，第一隔板和第二隔板在第一泵体1和第二泵体2对接后，拼合形成一个圆盘结构，所述隔断结构3将所述容纳腔沿轴向分割成容积不等的第一腔室4和第二腔室5，本实施例中，第一腔室4的容积大于第二腔室5的容积，所述容积不同的两个腔室可以使罗茨真空泵工作时，在第一腔室4和第二腔室5中形成不同的压力，容积较大第一腔室4为低压腔，容积较小的第二腔室5为高压腔。所述隔断结构3上设有用于连通所述第一腔室4和第二腔室5的气体通道11，所述气体通道11设于所述隔断结构3的外周，且具有气体进口12和气体出口13，所述气体进口12和气体出口13分设在所述隔断结构3轴线的两侧且关于所述隔断结构3的中心对称设置。气体通道11相当于一个缓冲空间，低压腔不断输入气体到气体通道11中，气体通道11中气体又不断被高压腔吸入后再排出，循环进行。第一隔板和第二隔板在接触面位置通过第一密封件10密封，所述第一密封件10为迷宫密封圈密封，进而可以对高压腔与低压腔进行密封。
35.驱动结构14为双轴驱动电机，所述驱动结构同时连接第一传动轴8和第二传动轴9，第一传动轴8和第二传动轴9相互平行且并排设于容纳腔中，第一转子6和第二转子7分别设于所述第一传动轴8和第二传动轴9上。第一转子6和第二转子7为叶形转子，通过转子间的同步反向旋转推压作用来移动气体而实现抽气。
36.所述罗茨真空泵工作时，驱动结构14通电后带动第一传动轴8和第二传动轴9同步反向转动，进而使第一转子6和第二转子7同步反向旋转，在第一腔室4中由于第一转子6和第二转子7的运动产生推压作用进而移动气体，使得工作环境中的气体通过入口被吸入第一腔室4，由于第一转子6和第二转子7的不断旋转，气体在第一腔室4中被压缩，第一腔室4的容积较大，气体此时的一级压缩形成压力较小；经过一级压缩后的气体通过气体进口12进入气体通道11中，并通过气体出口13进入到第二腔室5中，气体在第二腔室5中被压缩，第二腔室5的容积较小，气体此时的二级压缩形成压力较大，被二级压缩后的气体可以直排大气。经过两级的压缩，工作效率可以得到较大提升，原本需要两台真空泵形成的压差，现在
通过本发明所述的一台罗茨真空泵就可以实现，同时能保证抽速较快，真空度较高。
37.作为替代的实施方式，隔断结构3为分隔第一腔室4和第二腔室5的一块隔板，在所述隔板的下方设置气体通道，用于第一腔室4和第二腔室5的气流进行连通，气体进口和气体进口相对设置，且均靠近隔板的下方设置。
38.显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其他不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。