一种多接口真空机组的制作方法

1.本实用新型涉及真空设备技术领域，具体涉及一种多接口真空机组。


背景技术：

2.高真空分子泵需要配置前级真空机组，目前，每台高真空分子泵一般需要设置对应的一台前级真空机组，当在一个区间内使用多台高真空分子泵时，往往需要配置多台前级真空机组，这样不仅成本比较高，而且多台前级真空机组占用的空间比较大。


技术实现要素：

3.针对现有技术中的缺陷，本实用新型提供了一种多接口真空机组，以使一台真空机组能够对多个抽真空目标设备进行抽气，降低了设备成本，节约了空间。
4.本实用新型提供了一种多接口真空机组，包括一真空机组、一抽真空主管以及若干抽真空支管；
5.所述真空机组具有一真空吸入口，所述抽真空主管的一端连接于所述真空机组的真空吸入口；
6.各所述真空支管分别与所述抽真空主管相连，并且各真空支管上均设有若干分管路接口，所述分管路接口用于与各抽真空目标设备一一对应连接。
7.进一步地，各所述真空支管上均设有分管路真空测量口。
8.进一步地，各所述真空支管靠近所述抽真空主管的一端设有开关阀。
9.进一步地，所述抽真空主管包括竖向管段、弹性伸缩管段、90
°
弯头管段和水平管段，
10.所述竖向管段的下端固定于所述真空机组的真空吸入口，所述弹性伸缩管段的下端固定于竖向管段的上端，所述90
°
弯头管段的竖向端固定于弹性伸缩管段的上端，所述水平管段的一端固定于90
°
弯头管段的横向端，所述真空支管连接于所述水平管段。
11.进一步地，所述竖向管段上端的外部设有第一连接环，所述弹性伸缩管段的下端设有第二连接环，弹性伸缩管段的上端设有第三连接环，90
°
弯头管段的竖向端设有第四连接环；
12.还包括环设于所述弹性伸缩管段的若干组支撑连接组件，每组所述支撑连接组件均包括上锁扣件、下锁扣件以及连接于所述上锁扣件和下锁扣件之间的连接杆，所述上锁扣件用于将第一连接环和第二连接环锁紧，所述下锁扣件用于将第三连接环和第四连接环锁紧。
13.进一步地，所述连接杆为丝杆，连接杆的两端分别穿过所述上锁扣件和下锁扣件，连接杆上螺纹连接有两个锁紧在所述上锁扣件两侧的上锁紧螺帽以及两个锁紧在所述下锁扣件两侧的下锁紧螺帽。
14.进一步地，所述第一连接环的下侧设有第一卡槽，所述第二连接环的上侧设有第二卡槽，所述下锁扣件包括第一u形扣和第一锁紧螺丝，所述第一u形扣卡在所述第一连接
环和第二连接环外，第一u形扣的上部卡在所述第二卡槽内，所述第一锁紧螺丝螺纹连接于第一u形扣的下部并顶紧在所述第一卡槽内；
15.所述第三连接环的下侧设有第三卡槽，所述第四连接环的上侧设有第四卡槽，所述上锁扣件包括第二u形扣和第二锁紧螺丝，所述第二u形扣卡在所述第三连接环和第四连接环外，第二u形扣的下部卡在所述第三卡槽内，所述第二锁紧螺丝螺纹连接于第二u形扣的上部并顶紧在所述第四卡槽内。
16.进一步地，所述水平管段的末端为盲端，所述抽真空支管设有两条，两条抽真空支管对称连接于所述水平管段的两侧。
17.进一步地，所述真空机组包括安装支架、固定在安装支架内的前级泵以及固定在安装支架顶部的罗茨泵，所述前级泵的抽气入口与罗茨泵的排气出口之间通过管道相连，所述罗茨泵的抽气入口为该真空机组的真空吸入口。
18.本实用新型的有益效果体现在：本技术通过在抽真空主管上连接多个抽真空支管，每个抽真空支管上设置若干个分管路接口，使用时，可将各分管路接口分别与各抽真空目标设备一一对应连接，这样通过一台真空机组即可对多个抽真空目标设备进行抽气，降低了设备成本，节约了空间。
附图说明
19.为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。在所有附图中，类似的元件或部分一般由类似的附图标记标识。附图中，各元件或部分并不一定按照实际的比例绘制。
20.图1为本实用新型实施例的立体结构示意图；
21.图2为本实用新型实施例的正视图；
22.图3为本实用新型实施例的侧视图；
23.图4为本实用新型实施例的支撑连接组件的结构示意图。
24.附图中，100-真空机组；110-安装支架；120-前级泵；130-罗茨泵；140-管道；200-抽真空主管；210-竖向管段；211-第一连接环；2111-第一卡槽；220-弹性伸缩管段；221-第二连接环；2211-第二卡槽；222-第三连接环；2221-第三卡槽；230-90
°
弯头管段；231-第四连接环；2311-第四卡槽；240-水平管段；250-支撑连接组件；251-上锁扣件；2511-第二u形扣；2512-第二锁紧螺丝；252-下锁扣件；2521-第一u形扣；2522-第一锁紧螺丝；253-连接杆；2531-上锁紧螺帽；2532-下锁紧螺帽；300-抽真空支管；310-分管路接口；320-分管路真空测量口；330-开关阀。
具体实施方式
25.下面将结合附图对本实用新型技术方案的实施例进行详细的描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，因此只作为示例，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。
26.需要注意的是，除非另有说明，本技术使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域技术人员所理解的通常意义。
27.如图1-图4所示，本实用新型实施例提供了一种多接口真空机组，包括一真空机组100、一抽真空主管200以及若干抽真空支管300。
28.真空机组100具有一真空吸入口，抽真空主管200的一端连接于真空机组100的真空吸入口。
29.本实施例中，真空机组100具体包括安装支架110、固定在安装支架110内的前级泵120以及固定在安装支架110顶部的罗茨泵130，前级泵120的抽气入口与罗茨泵130的排气出口之间通过管道140相连，罗茨泵130的抽气入口为该真空机组100的真空吸入口。
30.各真空支管分别与抽真空主管200相连，并且各真空支管上均设有若干分管路接口310，分管路接口310用于与各抽真空目标设备一一对应连接。
31.上述抽真空目标设备可以为高真空分子泵，该真空机组100作为高真空分子泵的前级真空机组100，也可以为真空腔室，该真空机组100直接对真空腔室进行抽真空。
32.本技术通过在抽真空主管200上连接多个抽真空支管300，每个抽真空支管300上设置若干个分管路接口310，使用时，可将各分管路接口310分别与各抽真空目标设备一一对应连接，这样通过一台真空机组100即可对多个抽真空目标设备进行抽气，降低了设备成本，节约了空间。
33.为了对各真空支管的真空度进行检测，各真空支管上均设有分管路真空测量口320。
34.并且，各真空支管靠近抽真空主管200的一端设有开关阀330，以通过开关阀330对真空支管进行通断。
35.本实施例中，参照图1、图2和图3,抽真空主管200包括竖向管段210、弹性伸缩管段220、90
°
弯头管段230和水平管段240。竖向管段210的下端固定于真空机组100的真空吸入口，弹性伸缩管段220的下端固定于竖向管段210的上端，90
°
弯头管段230的竖向端固定于弹性伸缩管段220的上端，水平管段240的一端固定于90
°
弯头管段230的横向端，真空支管连接于水平管段240。
36.本技术通过在抽真空主管200的竖向管段210和90
°
弯头管段230之间设置弹性伸缩管段220，弹性伸缩管段220具有良好的减振效果，能够减小设备整体的振动。
37.优选地，如图4所示，竖向管段210上端的外部设有第一连接环211，弹性伸缩管段220的下端设有第二连接环221，弹性伸缩管段220的上端设有第三连接环222，90
°
弯头管段230的竖向端设有第四连接环231。
38.还包括环设于弹性伸缩管段220的若干组支撑连接组件250，每组支撑连接组件250均包括上锁扣件251、下锁扣件252以及连接于上锁扣件251和下锁扣件252之间的连接杆253，上锁扣件251用于将第一连接环211和第二连接环221锁紧，下锁扣件252用于将第三连接环222和第四连接环231锁紧。
39.具体地，连接杆253为丝杆，连接杆253的两端分别穿过上锁扣件251和下锁扣件252，连接杆253上螺纹连接有两个锁紧在上锁扣件251两侧的上锁紧螺帽2531以及两个锁紧在下锁扣件252两侧的下锁紧螺帽2532。
40.具体地，第一连接环211的下侧设有第一卡槽2111，第二连接环221的上侧设有第二卡槽2211，下锁扣件252包括第一u形扣2521和第一锁紧螺丝2522，第一u形扣2521卡在第一连接环211和第二连接环221外，第一u形扣2521的上部卡在第二卡槽2211内，第一锁紧螺
丝2522螺纹连接于第一u形扣2521的下部并顶紧在第一卡槽2111内。
41.第三连接环222的下侧设有第三卡槽2221，第四连接环231的上侧设有第四卡槽2311，上锁扣件251包括第二u形扣2511和第二锁紧螺丝2512，第二u形扣2511卡在第三连接环222和第四连接环231外，第二u形扣2511的下部卡在第三卡槽2221内，第二锁紧螺丝2512螺纹连接于第二u形扣2511的上部并顶紧在第四卡槽2311内。
42.安装下锁扣件252时，先将竖向管段210上端的第一连接环211与弹性伸缩管段220下端的第二连接环221对接，再将第一u形卡在第一连接环211和第二连接环221外，第一u形扣2521的上部卡在第二连接环221上的第二卡槽2211内，然后再在第一u形卡的下部安装第一锁紧螺丝2522并顶紧在第一连接环211的第一卡槽2111内，安装上锁扣件251时，先将弹性伸缩管段220上端的第三连接环222与90
°
弯头管段230下端的第四连接环231对接，再将第二u形卡在第三连接环222和第四连接环231外，第二u形扣2511的下部卡在第三连接环222上的第三卡槽2221内，然后再在第二u形卡的上部安装第二锁紧螺丝2512并顶紧在第四连接环231的第四卡槽2311内，下锁扣件252和下锁扣件252安装完成后，再在上锁扣件251和下锁扣件252之间安装连接杆253并分别拧紧两个上锁紧螺帽2531和两个下锁紧螺帽2532固定，即可完成支撑连接组件250的安装。
43.本实施例中，水平管段240的末端为盲端，抽真空支管300设有两条，两条抽真空支管300对称连接于水平管段240的两侧。
44.最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求和说明书的范围当中。