一种静叶片结构及分子泵的制作方法

1.本实用新型涉及分子泵技术领域，具体涉及一种静叶片结构及分子泵。


背景技术：

2.分子泵工作在高真空环境中，在分子流态下，经过叶片的气体分子的平均自由程远远大于叶片通道的几何尺寸，气体分子就会较多地射向转子和定子叶片，形成气体分子的定向运动。
3.现有技术中静叶片分子泵流态的获取是通过电机带动轴系零部件，在动静叶列组合状态下，实现气体分子的定向流动，并获取相应的高抽速与压缩比，其中，如图1所示，静叶片包括内环面a1。
4.但是上述的静叶片分子泵，气体分子通过射向的动叶片和静叶片实现气体分子的定向运动时，存在部分气体分子在静叶片上下内环面区域做无序运动，进而会产生较多反流，影响分子泵压缩比，进而影响分子泵的综合抽气性能。


技术实现要素：

5.因此，本实用新型所要解决的技术问题在于现有技术中的静叶片分子泵，气体分子通过射向动叶片和静叶片实现气体分子的定向运动时，存在部分气体分子在静叶片上下内环面区域做无序运动，进而会产生较多反流，影响分子泵压缩比，进而影响分子泵的综合抽气性能。
6.为此，本实用新型提供一种静叶片结构，适于与动叶片分层交替设置，所述动叶片适于连接驱动电机轴系端，包括：
7.静叶片内环；
8.若干间隔设置的叶齿，设置在所述静叶片内环径向方向上的外周侧；
9.导引结构，设于所述静叶片内环轴向端面上，所述导引结构具有若干导流通道；
10.其中，所述导引结构具有在驱动电机驱动动叶片转动，转动的动叶片驱动气体分子向叶齿定向运动时，引导所述静叶片内环表面上无序运动的气体分子沿着导流通道运动的导引状态。
11.可选地，所述导引结构为设置在所述静叶片内环轴向端面上的沟槽。
12.可选地，静叶片结构还包括加强筋，所述加强筋设于所述沟槽内，以将所述沟槽分为多份。
13.可选地，所述沟槽通过加强筋等分为多份。
14.可选地，所述沟槽通过加强筋等分为4-16份。
15.可选地，所述导引结构包括
16.第一导引结构，设于所述静叶片内环第一端面上；
17.第二导引结构，设于所述静叶片内环第二端面上，所述第一端面与所述第二端面沿所述静叶片内环轴向相对设置。
18.可选地，所述第一导引结构包括第一沟槽；
19.所述第二导引结构包括第二沟槽，所述第一沟槽与所述第二沟槽对气体分子引导方向相同。
20.可选地，所述第一导引结构包括第一沟槽；
21.所述第二导引结构包括第二沟槽，所述第一沟槽与所述第二沟槽对气体分子引导方向相反。
22.可选地，静叶片结构还包括静叶片外环，所述静叶片外环设于所述叶齿外侧，以支撑所述静叶片内环和所述叶齿，且隔离所述动叶片。
23.一种分子泵，包括静叶片结构、动叶片和驱动电机，所述静叶片结构与所述动叶片分层交替设置，所述动叶片和驱动电机轴系端连接，所述静叶片结构为上述所述的静叶片结构，所述静叶片内环与所述动叶片同轴设置。
24.本实用新型提供的技术方案，具有如下优点：
25.1.本实用新型提供一种静叶片结构，适于与动叶片分层交替设置，所述动叶片适于连接驱动电机轴系端，静叶片结构包括静叶片内环、若干间隔设置的叶齿和导引结构，其中，静叶片内环一侧适于放置动叶片；若干间隔设置的叶齿设置在所述静叶片内环径向方向上的外周侧；导引结构设于所述静叶片内环轴向端面上，所述导引结构具有若干导流通道；其中，所述导引结构具有在驱动电机驱动动叶片转动，转动的动叶片驱动气体分子向叶齿定向运动时，引导所述静叶片内环表面上无序运动的气体分子沿着导流通道运动的导引状态。
26.此结构的静叶片结构，通过在静叶片内环轴向端面上设置有导引结构，导引结构具有若干导流通道，使得在动叶片在驱动电机驱动下转动时以驱动气体分子向叶齿间定向运动时，静叶片内环表面上无序运动的的气体分子会落入设置在静叶片内环表面的导流通道内，导流通道能够引导气体分子按照导流通道的形状定向运动，改变了静叶片内环表面气体分子的无序运动，进而减少气体分子反流，提高分子泵压缩比，进而提高分子泵的抽气性能。
27.2.本实用新型提供一种静叶片结构，所述第一导引结构包括第一沟槽；所述第二导引结构包括第二沟槽，所述第一沟槽与所述第二沟槽对气体分子引导方向相同。
28.此结构的静叶片结构，通过将第一沟槽与所述第二沟槽对气体分子引导方向设置相同，使得在分子泵中动叶片高速转动下，静叶片内环第一端面和第二端面上的气体分子在第一沟槽和第二沟槽牵引下运动向静叶片内环面外侧，在静叶片内环面外侧形成动密封，使更多的气体分子向前级低真空侧运动，提高了分子泵压缩比，进而提高分子泵的综合抽气性能，且不需要增加静叶片与泵的几何尺寸，并有效减重。
29.3.本实用新型提供一种静叶片结构，所述第一导引结构包括第一沟槽；所述第二导引结构包括第二沟槽，所述第一沟槽与所述第二沟槽对气体分子引导方向相反。
30.此结构的静叶片结构，通过将所述第一沟槽与所述第二沟槽对气体分子引导方向设置相反，使得分子泵中动叶片在高速转动下，静叶片内环第一端面上气体分子在第一沟槽牵引下运动向静叶片内环内侧，再由静叶片内环第二端面上第二沟槽牵引下运动向静叶片内环外侧，进而运动向叶齿实现气体分子的定向运动，不需要增加静叶片与泵的几何尺寸并有效减重，同时提高了分子泵的综合抽气性能。
附图说明
31.为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
32.图1为现有技术中的静叶片的结构示意图；
33.图2为本实用新型的实施例中提供静叶片结构的结构示意视图；
34.图3a为本实用新型的实施例1中提供的静叶片结构中静叶片内环第一端面上的第一导引结构的结构示意视图；
35.图3b为本实用新型的实施例1中提供的静叶片结构中静叶片内环第二端面上的第二导引结构的结构示意视图；
36.图4a为本实用新型的实施例2中提供的静叶片结构中静叶片内环第一端面上的第一导引结构的结构示意视图；
37.图4b为本实用新型的实施例2中提供的静叶片结构中静叶片内环第二端面上的第二导引结构的结构示意视图；
38.图5为本实用新型的实施例中提供静叶片结构的加强筋的结构示意图；
39.附图标记说明：
40.1-静叶片内环；
41.2-叶齿；
42.3-导引结构；31-第一导引结构；32-第二导引结构；
43.4-加强筋；
44.5-静叶片外环；
45.6-动叶片；
46.7-气体运动方向。
具体实施方式
47.下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
48.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
49.实施例1
50.本实施例提供一种静叶片结构，如图2至图3b所示，包括静叶片内环1、叶齿2、导引
结构3和静叶片外环5。其中，叶齿2间隔设置于静叶片内环1径向方向上的外周侧，导引结构3设于静叶片内环1轴向端面上，静叶片外环5设于叶齿2外侧。
51.如图2所示，导引结构3为设置在静叶片内环1表面的沟槽，沟槽内部设置有呈涡旋线状的加强筋4，沟槽被加强筋4等分为多份，例如等分为4-16份或其他数量，可根据静叶片内环1的面积进行具体的设计，其中，加强筋4也可以为如图5所示的圆形结构结构或者渐开线状。在其他的一些实施例中，沟槽也可以不等分。
52.如图3a和图3b所示，静叶片内环1一侧设置有动叶片6，动叶片6适于连接驱动电机轴系端，当动叶片6在驱动电机驱动下转动时以驱动气体分子向叶齿2间定向运动时，静叶片内环1表面上无序运动的气体分子会落入设置在静叶片内环1表面的沟槽内，沟槽能够引导气体分子按照沟槽的形状定向运动，改变了静叶片内环1表面气体分子的无序运动，进而减少气体分子反流，提高分子泵压缩比，进而提高分子泵的抽气性能。
53.如图3a和图3b所示，导引结构3包括第一导引结构31和第二导引结构32，第一导引结构31为设于静叶片内环1第一端面上的第一沟槽，第二导引结构32为设于静叶片内环1第二端面上的第二沟槽，第一端面与第二端面沿静叶片内环1轴向相对设置。其中，第一沟槽中加强筋4和第二沟槽中加强筋4的数量可以分别独立设置。
54.如图3a和图3b所示，第一导引结构31与第二导引结构32对气体分子引导方向相同，使得在分子泵中动叶片6高速转动下，静叶片内环1第一端面和第二端面上的气体分子在第一沟槽和第二沟槽牵引下运动向静叶片内环1外侧，能够阻止叶齿2处的气体分子向静叶片内环1内侧移动，在静叶片内环1外侧形成动密封，使更多的气体分子向前级低真空侧运动，提高了分子泵压缩比，进而提高分子泵的抽气性能。
55.本实施例的静叶片结构，工作原理如下：
56.首先动叶片6在驱动电机驱动下转动，使得静叶片内环1第一端面和第二端面上的气体分子在静叶片内环1第一端面上的第一沟槽和静叶片内环1第二端面上的第二沟槽牵引下运动向静叶片内环1外侧运动，能够阻止叶齿2处的气体分子向静叶片内环1内侧移动，在静叶片内环1外侧形成动密封，使更多的气体分子向前级低真空侧运动，提高了分子泵压缩比，进而提高分子泵的抽气性能。
57.实施例2
58.本实施例提供一种静叶片结构，与实施例1中提供的静叶片相比，不同之处在于：
59.第一导引结构31与第二导引结构32对气体分子引导方向相反，如图4a所示，分子泵中动叶片6在高速转动下，静叶片内环1第一端面气体分子在第一沟槽牵引下运动向静叶片内环1面内侧；如图4b所示，静叶片内环1第二端面上气体分子在第二沟槽牵引下运动向静叶片内环1面外侧，进而运动向叶齿2实现气体分子的定向运动，增加一抽气通道，增加了流导，提高分子泵的综合抽气性能。
60.实施例3
61.本实施例公开一种分子泵，包括静叶片结构、动叶片6和驱动电机，静叶片结构设于动叶片6一侧，动叶片6与驱动电机轴系端连接，静叶片结构为上述实施例1或实施例2中的静叶片结构，静叶片内环1与动叶片6同轴设置。
62.此实施方式的分子泵，由于上述实施例提供的静叶片结构，当分子泵工作时，改变了静叶片内环1表面气体分子的无序运动，进而减少气体分子反流，进而提高分子泵的抽气
性能。
63.显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。