封装型旋转泵单元的制作方法

1.本发明涉及一种封装型旋转泵单元，其具备：电动旋转泵，其具备对气体进行吸入/排出的旋转泵及使该旋转泵驱动的电动马达；以及密闭箱体，其内置上述电动旋转泵。


背景技术：

2.作为现有的封装型旋转泵单元，本技术人提出了一种气压装置站的排气温度调整系统，其特征在于，设置有气压装置、收纳箱、送风装置、水冷式的冷却器、以及水温控制单元和流量控制单元的至少一方，上述气压装置为真空泵、鼓风机等产生负压、正压的气压的装置，上述收纳箱能够收纳多个上述气压装置，并且通过将上述气压装置收纳于封闭空间而能够隔音，上述送风装置为了吸入外部空气将被上述气压装置加热了的上述收纳箱内冷却而产生在该收纳箱内实质上从下方流向上方的冷却用空气流，并将其排出，上述水冷式的冷却器是为了使上述冷却用空气流通过将其冷却而设置，上述冷却单元向上述冷却器供给冷水，上述水温控制单元控制水温，以调整向上述冷却器供给的冷水的温度，上述流量控制单元控制流量，以调整向上述冷却器供给的冷水的流量，在上述收纳箱内，在高度方向的中途部载置有上述气压装置的搁板状支撑部至少设有一层，该搁板状支撑部具有开放部，以允许上述冷却用空气流的流动(参照专利文献1)。
3.另外，作为内置于封装型旋转泵单元的旋转泵的例子，如图22所示，本技术人提出了一种旋转泵(爪式泵)，其以形成使两个圆的一部分重合的截面形状的泵室10的方式具备缸筒部10a、设置于该缸筒部10a的一方的端面的一方的端壁部10b、以及设置于该缸筒部10a的另一方的端面的另一方的端壁部10c，而且，具备：两个旋转轴20a、20b，其在上述泵室10内平行地配置，且向相反方向以相同速度旋转；两个转子30a、30b，其分别设置于该两个旋转轴20a、20b并配置于上述泵室10内，且形成有钩形的爪部，以能够在相互不接触状态下旋转而将吸入的气体压缩并排出；以及排气侧开口部50，其设置为在上述一方的端壁部10b和上述另一方的端壁部10c中的至少一方的部位且面向上述泵室10内的压缩气体的部位的位置开口，其中，上述排气侧开口部50通过前级通气口51和后级排气口(排气口55)来设置，前级通气口51在通过上述两个转子30a、30b的上述爪部彼此使气体的压缩比最大化的前级与上述泵室10的外部连通，后级排气口(排气口55)以包括通过上述两个转子30a、30b的上述爪部彼此使气体的压缩比比上述前级靠最大化的阶段向上述泵室10的外部排气的方式连通，在上述后级排气口(排气口55)与上述泵室10的外部连通且气体的压缩比最大化的阶段，上述前级通气口51被上述转子30a关闭，以在泵室主体部与轴承主体部之间形成冷却用的间隙的方式，泵主体设置为分割的构造，上述泵室主体以形成上述泵室10的方式由缸筒部10a及分别设置于该缸筒部的两端面的端壁部10b、10c设置，上述轴承主体部设置有轴承部40，轴承部40以上述两个转子30a、30b分别配置于上述两个旋转轴20a、20b的一方的端以悬臂状态被支撑的方式轴支承该两个旋转轴20a、20b(参照专利文献2)。
4.根据该本技术人提出的爪式泵，排气侧开口部50由分别开口设置的前级通气口51和后级排气口(排气口55)构成。因此，在例如作为真空泵在高真空度下使用的情况下，通过
在前级通气口51向泵室10内吸入未过热的外部空气，能够在后级排气口(排气口55)抑制排气逆流，能够防止泵室10过热，由此，能够提高泵性能。
5.现有技术文献
6.专利文献
7.专利文献1：(日本)专利第5041849号公报(权利要求1、图1)
8.专利文献2：(日本)专利第6749714号公报(权利要求1、图3)


技术实现要素：

9.发明所要解决的课题
10.对于封装型旋转泵单元所要解决的问题点在于，在现有的封装型旋转泵单元中，虽然提出了从外部导入冷却用空气，将被旋转泵加热了的空气向箱体的外部排出，但未探讨如下方案，即，在旋转泵内置于密闭箱体内，被该旋转泵加热了的空气无法排出到该密闭箱体外的情况下，有效地防止该密闭箱体内过热。即，若密闭箱体内由于旋转泵的运转而过热，使内部空气的温度上升，则将会对电动马达、电气部件等带来不良影响，因此，需要合适的温度对策。
11.因此，本发明的目的在于提供一种封装型旋转泵单元，即使在内置于密闭箱体的旋转泵例如作为真空泵在真空度高的范围内使用而发热量大的情况下，也能够防止密闭箱体的内部空气过热，从而能够维持高的泵性能，能够延长装置寿命。
12.用于解决课题的技术方案
13.本发明为了实现上述目的而具备如下的结构。
14.根据本发明的封装型旋转泵单元的一方案，为一种封装型旋转泵单元，其具备：电动旋转泵，其具备吸入/排出气体的旋转泵及驱动该旋转泵的电动马达；以及密闭箱体，其内置该电动旋转泵，而且该封装型旋转泵单元具备：液冷换热器，其配置于上述密闭箱体的内部，且从配置于上述密闭箱体的外部的冷却液供给源接受冷却液的供给而被冷却；以及送风装置，其配置于上述密闭箱体的内部，且向上述液冷换热器输送包括加热空气的密闭箱体内的内部空气，以使该内部空气冷却，其中，上述加热空气通过因上述旋转泵的运转而使该旋转泵的周围的空气被加热而产生，上述旋转泵为双轴旋转泵，设置为，一方的转子旋转轴串联连接于上述电动马达的旋转轴而旋转，另一方的转子旋转轴经由齿轮向与上述一方的转子旋转轴相反的方向同步旋转，在配置有上述另一方的转子旋转轴的轴心的延长线上的空间亦即与上述电动马达和上述一方的转子旋转轴连接的部位相邻的空间，配置有上述液冷换热器及上述送风装置。
15.另外，根据本发明的封装型旋转泵单元的一方案，其特征在于，具备泵罩部，该泵罩部以配置于上述密闭箱体的内部并覆盖上述旋转泵的方式设置，且形成为，设置有：导入在上述密闭箱体的内部循环的上述内部空气的循环空气入口部；以及排出包括上述加热空气的上述内部空气的循环空气出口部。另外，该泵罩部能够特征在于，设置成覆盖上述电动旋转泵中的除了上述电动马达的上述旋转泵的周围，且上述循环空气入口部设置成将上述旋转泵的周围包围并以带状开放的形态。更具体地，能够特征在于，上述旋转泵具备轴承主体部、泵室主体部、以及第一消音器部，上述泵罩部设置为，覆盖上述轴承主体部和上述泵室主体部的周围。
16.另外，根据本发明的封装型旋转泵单元的一方案，能够特征在于，上述液冷换热器连接于上述循环空气出口部侧，上述送风装置连接于上述液冷换热器，以吸引上述内部空气，使上述内部空气从上述循环空气入口部向上述循环空气出口部流动，并通过上述液冷换热器。
17.另外，根据本发明的封装型旋转泵单元的一方案，能够特征在于，上述旋转泵连接于上述冷却液供给源，以被冷却。
18.另外，根据本发明的封装型旋转泵单元的一方案，为一种封装型旋转泵单元，其具备：电动旋转泵，其具备吸入/排出气体的旋转泵及驱动该旋转泵的电动马达；以及密闭箱体，其内置该电动旋转泵，而且，该封装型旋转泵单元具备：液冷换热器，其配置于上述密闭箱体的内部，且从配置于上述密闭箱体的外部的冷却液供给源接受冷却液的供给而被冷却；以及送风装置，其配置于上述密闭箱体的内部，且向上述液冷换热器输送包括加热空气的密闭箱体内的内部空气，以使该内部空气冷却，其中，上述加热空气通过因上述旋转泵的运转而使该旋转泵的周围的空气被加热而产生，来自上述冷却液供给源的液冷流路跨上述液冷换热器和上述旋转泵串联连接，以使上述旋转泵也被对上述液冷换热器进行了冷却的来自上述冷却液供给源的冷却液冷却。
19.另外，根据本发明的封装型旋转泵单元的一方案，能够特征在于，上述旋转泵具备轴承主体部、泵室主体部、以及第一消音器部，来自上述冷却液供给源的液冷流路串联连接，以使来自上述冷却液供给源的冷却液依次流通于上述液冷换热器、上述轴承主体部、泵室主体部以及第一消音器部。
20.另外，根据本发明的封装型旋转泵单元的一方案，能够特征在于，在上述电动马达设有以冷却该电动马达的方式送风的电动马达冷却用的送风风扇，该送风风扇设置为，配置于与连接于上述一方的转子旋转轴的侧相反的侧，向马达主体送风。
21.发明效果
22.根据本发明的封装型旋转泵单元，能够实现如下特别有益的效果：即使是在高温环境下运转的情况、内置于密闭箱体的旋转泵例如作为真空泵在真空度高的范围内使用而发热量大的情况，也能够防止密闭箱体的内部空气过热，从而能够维持高的泵性能，能够延长装置寿命。
附图说明
23.图1是示意性地表示本发明的封装型旋转泵单元的方案例的液冷流和密闭箱体的内部的循环气体(空气)流的块图。
24.图2是示意性地表示本发明的封装型旋转泵单元的方案例的液冷流和排气流的块图。
25.图3是表示本发明的封装型旋转泵单元的方案例的密闭箱体的内部的立体图。
26.图4是表示卸除了图3的方案例的泵罩部的状态的立体图。
27.图5是搭载于图3的方案例的电动旋转泵的俯视图。
28.图6是表示卸除了图5的方案例的泵罩部的状态的俯视图。
29.图7是图3的方案例的后视图。
30.图8是表示本发明的封装型旋转泵单元的两台电动旋转泵被上下两层地收纳的方
案例的外观的立体图。
31.图9是表示图8的方案例的密闭箱体的内部构造的立体图。
32.图10是表示图8的方案例的密闭箱体的内部构造的侧视图。
33.图11是表示图8的方案例的密闭箱体的内部构造的卸除了配电盘的状态的立体图。
34.图12是表示图8的方案例的密闭箱体的内部构造的卸除了配电盘的状态的主视图。
35.图13是表示为了示出搭载于本发明的封装型旋转泵单元的旋转泵(爪式泵)的方案例的内部构造而以台阶状剖开后的状态的剖视立体图。
36.图14是图13的方案例的主视侧立体图。
37.图15是图13的方案例的后视侧立体图。
38.图16是图13的方案例的主视图。
39.图17是图13的方案例的后视图。
40.图18是图13的方案例的俯视图。
41.图19是表示图13的方案例的轴承部冷却液流路的剖视立体图。
42.图20是表示图13的方案例中的作为第一流路形成部的内表面的冷却液流路形成面的分解图。
43.图21表示图1的方案例中的作为第一流路形成部的外表面的排气流路形成面的分解图。
44.图22是表示现有的旋转泵的分解图。
具体实施方式
45.以下，基于附图(图1～21)，对本发明的封装型旋转泵单元的方案例的、搭载了爪式泵作为旋转泵的一例的例子进行详细说明。此外，本发明的旋转泵的方案例是真空泵，且是水冷式的双轴旋转泵(爪式泵)。但是，本发明的旋转泵不限定于该方案例，也包括：能够用作将排出的气体作为产品气体的鼓风机等的泵、包括叶片泵等单轴的旋转泵的泵、将水以外用作冷却液的泵。
46.就本发明的封装型旋转泵单元而言，作为基本结构，具备：电动旋转泵200，其具备吸入/排出气体的旋转泵2及使该旋转泵2驱动的电动马达3；以及密闭箱体1，其内置该电动旋转泵200。
47.此外，本发明的密闭箱体1不必严格地进行气密封闭来密封，只要是形成充分限制箱体内部与外界之间的气体(本方案例中为空气)的流出/流入的封闭空间的箱体即可，只要具有使密闭箱体1内的内部空气的循环实质上不存在外气(外部空气)的影响的程度以上的密闭度即可。即，在本发明的密闭箱体1中，允许有微小的间隙，也可以不是如本方案例地使用密封材料，而是使构成箱体的钢板材等构造部件彼此抵接而充分限制空气的流通的程度的密闭度。
48.另外，本方案例的密闭箱体1是矩形的箱状，具备箱体框架部1a(参照图3、图9等)、基座部1b(参照图3、图9等)、箱体罩部1c(参照图8)。而且，该密闭箱体1通过利用由钢板等形成的箱体罩部1c覆盖由方钢管或角钢等形成为骨格构造的箱体框架部1a的方式构成。
49.在该密闭箱体1的内部配置有：具备旋转泵2及电动马达3的电动旋转泵200、液冷换热器5、送风装置6、泵罩部25、配电盘8、第一消音器部31、第二消音器部32、电气部件冷却用的送风机9、接露盘91、各种配管、各种电配线、以及它们的配件。
50.5是液冷换热器，如图1、图3～7所示，配置于密闭箱体1的内部，且设置成，从配置于密闭箱体1的外部的冷却液供给源4接收冷却液的供给而被冷却。即，冷却液供给源4经由冷却液供给连接口4a及冷却液供给配管4b连接于液冷换热器5。此外，在图1中，用双线箭头示意性地示出冷却液的流动。
51.本方案例的液冷换热器5设为所谓的翅片&管的形态，即，供冷却液流通的热交换用的管路5a以往复拉绕的状态(z字形)收纳于矩形箱状的热交换室。而且，在本方案例的上述矩形箱状的热交换室中，作为导入内部空气(循环空气)的侧的矩形的导入口连接于后述的泵罩部25的循环空气出口部25b，作为排出内部空气(循环空气)的侧的矩形的排出口连接于后述的送风装置6。由此，构成了具有液冷式换热器5的风扇冷却器。此外，液冷换热器5为通常的形式，因此省略详细图示。另外，作为该液冷换热器5，当然能够适当选择性地设定冷却液的流路的形态、通过换热被冷却的循环空气的通路的形态。
52.在此，冷却液供给源4能够使用利用制冷循环冷却液体的液冷装置。此外，根据场所条件等，当然也可以使用空气(外部空气)、淡水、海水、冰、地下水等其它冷却源，进一步地，也可以适当组合多个冷却源来使用。此外，本方案例的冷却液是冷却水，与如后所述地对从排气口55排出的排气进行冷却的冷却液相同地从冷却液供给源4供给。
53.而且，6是送风装置，配置于密闭箱体1的内部，且设为如下单元：将包含加热空气的密闭箱体1内的内部空气输送至液冷换热器5，以使该空气冷却，该加热空气是因旋转泵2的运转而使该旋转泵2的周围的空气被加热，从而产生的。此外，在图1中，用粗线箭头示意性地示出内部空气的流动。
54.本方案例的送风装置6是轴流风机，配置为沿着电动旋转泵200的长边方向将内部空气吸入并排出。此外，作为该送风装置6，并不限定于轴流风机，当然也可以适当选择性地使用离心风机(例如，西洛克鼓风机)等其它送风单元。
55.根据本发明的封装型旋转泵单元，即使是在高温环境下运转的情况、内置于密闭箱体1的旋转泵2例如作为真空泵在真空度高的范围内使用而发热量大的情况，也能够防止密闭箱体1的内部空气过热，从而能够实现如下特别有益的效果：能够维持高的泵性能，能够延长装置寿命。即，利用送风装置6使密闭箱体1内的内部空气流动，通过液冷换热器5，从而能够防止过热空气停滞于旋转泵2的周围，使该内部空气高效地循环并冷却。因此，能够适当地抑制因旋转泵2等的发热而导致的密闭箱体1内的温度上升，能够防止对电动马达3、电气部件等产生恶劣影响，因此，能够维持高的泵性能，能够延长装置寿命。
56.另外，向密闭箱体1外的排热全部或者大部分以热交换用的冷却液(冷却水)为媒介，因此，能够使向周围的散热最小化，具有对设置环境的影响极小的优点。例如，能够降低设置有本发明的封装型旋转泵单元的房间的空调负担。
57.进一步地，通过密闭箱体1形成密闭构造，因此还具有运转声降低效果大的优点。此外，根据本方案例的密闭箱体1的密闭构造的实施例，能够将噪声降低至73db。
58.而且，通过这样利用密闭箱体1形成密闭构造，能够充分限制箱体内部与外界之间的气体的流入/流出，因此，即使在高湿环境下，箱体内部的冷凝水的产生量也较少。即，若
能够供给冷却液，则密闭箱体1的内部温度不太容易受到产品设置环境(温度、湿度)的影响，因此，能够在大范围的环境温湿度范围内使用。
59.此外，如后所述，本方案例将第一消音器部31及第二消音器部32收纳于密闭箱体1内，构成为能够对包含从这些消音器部发散的热在内的密闭箱体1的内部空气进行冷却。
60.另外，在本方案例中，具备泵罩部25，该泵罩部25设置为配置于密闭箱体1的内部并覆盖旋转泵2，且形成为设置有：导入在密闭箱体1的内部循环的上述内部空气的循环空气入口部25a；以及排出包含上述加热空气的上述内部空气的循环空气出口部25b。此外，就送风装置6相对于该泵罩部25的设置位置而言，只要内部空气能够以从循环空气入口部25a导入并从循环空气出口部25b排出的方式流动，就不限定于本方案例，也可以包括与液冷换热器5的位置关系适当选择性地设定。
61.根据该泵罩部25，能够将旋转泵2的发热留在该泵罩部25的内侧，能够抑制该热向泵罩部25的外侧散发而向密闭箱体1内的整个空间分散。由此，通过使旋转泵2产生的热不分散，能够将高温空气(加热空气)以集中的状态向液冷换热器5输送，能够有效地对加热空气进行冷却。即，能够进一步增大该加热空气与液冷换热器5的温度差，高效地进行换热，能够高效地抑制密闭箱体1内的温度上升。另外，由于将高温空气以集中的状态向液冷换热器5输送，因此，循环空气出口部25b为流路缩径的形态，也能够实现液冷换热器5的小型化，也能够降低产品成本。
62.本方案例的泵罩部25设置为，在旋转泵2的排气侧(与连接有电动马达3的侧相反的侧)形成有围绕旋转泵2的周围且以带状开放的循环空气入口部25a，以通过使内部空气以与旋转泵2的整个外表面有效地接触的方式流动，从而能够将其外表面有效地冷却。而且，排出包含被旋转泵2加热了的加热空气的内部空气的循环空气出口部25b为流路缩径的形态，以将内部空气集中地向液冷换热器5引导。进一步地，在本方案例中，循环空气出口部25b以气密密封状态连接于液冷换热器5的上述热交换室的内部空气的导入口。由此，能够适当地产生内部空气的流动，使内部空气适当地循环，能够高效地进行换热，高效地抑制密闭箱体1内的温度上升。
63.另外，在本方案例中，液冷换热器5的导入口连接于循环空气出口部25b侧，送风装置6连接于该液冷换热器5，以吸引上述内部空气并使上述内部空气从循环空气入口部25a向循环空气出口部25b流动，通过液冷换热器5。此外，在本方案例中，该送风装置6的内部空气的吸入口以气密密封状态连接于液冷换热器5的上述热交换室的内部空气的排出口。
64.由此，能够合理且有效地产生内部空气的顺畅的流动，能够使内部空气有效地循环，高效地进行换热，能够高效地抑制密闭箱体1内的温度上升。另外，通过如本方案例地将送风装置6配置于液冷换热器5，该送风装置6自身吸引被液冷换热器5冷却了的空气，可防止过热，能够延长该装置寿命。
65.此外，在本方案例中，泵罩部25(参照图3～6等)设置为覆盖旋转泵2的泵室主体部110、轴承主体部120(参照图13～18等)的范围。即，如后所述地，有效地覆盖除了被液冷了的第一消音器部31的表面温度高的部位。另外，以适应性地形成循环空气入口部25a的方式，设置于泵罩部25的内表面与旋转泵2的外表面之间的间隙的大小(通气路的宽度)只要设于如下范围即可：使内部空气流动时的通气阻力尽可能不上升，并且使被旋转泵2的发热加热了的内部空气(加热空气)尽可能向泵罩部25的外侧不分散。
66.另外，在本方案例中，旋转泵2为双轴旋转泵，设定为，一方的转子旋转轴(旋转轴20a)串联连接于电动马达3的旋转轴3a而旋转，另一方的转子旋转轴(旋转轴20b)通过齿轮向与一方的转子旋转轴(旋转轴20a)相反的方向同步旋转，而且，液冷换热器5及送风装置6配置于如下空间：位于配置有另一方的转子旋转轴(旋转轴20b)的该旋转轴20b的轴心的延长线上，且与电动马达3和一方的转子旋转轴(旋转轴20a)连接的部位相邻。
67.由此，能够合适地利用密闭箱体1的内部空间，使内部空气合适地循环。
68.此外，如图4等所示，本方案例的一方的转子旋转轴(旋转轴20a)和电动马达3的旋转轴3a通过联轴器3b串联连接。另外，如图3等所示，3c为安全罩，为了安全而覆盖包括旋转驱动的联轴器3b的旋转轴(3a、20a)的连接部。进一步地，也能够构成为，在该联轴器3b与旋转轴(3a、20a)同轴地安装送风叶片，进行送风。根据该送风叶片，能够提高冷却性能。
69.另外，在本方案例中，在电动马达3设置有以冷却该电动马达3的方式送风的电动马达冷却用的送风风扇7，该送风风扇7设置为，配置于与连接于一方的转子旋转轴(旋转轴20a)的侧相反的侧的旋转轴，朝向马达主体送风。
70.由此，如图1中粗线箭头所示地，能够合理且有效地产生内部空气的顺畅的循环流，高效地进行换热，能够高效地抑制密闭箱体1内的温度上升。即，如图1所示，首先，通过被送风装置6吸引，内部空气在通过泵罩部25的内侧被加热后，通过液冷换热器5被冷却。接着，从该液冷换热器5吸引来的内部空气通过该送风装置6向从旋转泵2分离的方向(图5中从送风装置6向左方向)排出，在电动马达3的侧方(图5中电动马达3的上侧)流动。接着，被该液冷换热器5冷却并从送风装置6排出的内部空气撞击密闭箱体1的内侧面，其一部分内部空气被电动马达3的送风风扇7吸引而反转，在以冷却该电动马达3的马达主体的方式流动后，流向旋转泵2的主体侧。而且，在泵罩部25的周围流动的内部空气反转，通过送风装置6的吸入力，从循环空气入口部25a向该泵罩部25的内侧被吸入。如上所述，通过产生空气流，能够使内部空气适当地循环，高效地进行换热，能够高效地抑制密闭箱体1内的温度上升。
71.进一步地，在本方案例中，如图1、图9及图10所示，在形成于密闭箱体1的前表面部侧的配电盘8，作为使形成为小室状的配电盘8内的空气流动的空冷单元，在该配电盘8的下部安装有电气部件冷却用的送风机9。
72.根据本方案例的电气部件冷却用的送风机9，能够进行送风，以将密闭箱体1内的内部空气(冷却用气体)的一部吸引至配电盘8内，并使其在该配电盘8内从下向上流动，且从该配电盘8内的未图示的上部的开口排出。由此，能够有效地冷却设置于该配电盘8内的发热性高的电气零件82、逆变装置83等。另外，从配电盘8排出的内部空气从泵罩部25的循环空气入口部25a被吸入泵罩部25的内部。此外，如图9及图10所示，81是操作部，发热性低，因此，在本方案例中没有单独设置空冷单元，而是配置于与配电盘8分离的位置。
73.另外，在本方案例中，如基于图13～21详细说明地，旋转泵2连接于冷却液供给源4，以被液冷。此外，在本方案例中，从冷却液供给源4流通的冷却液的配管串联连接，以使冷却液首先通过液冷换热器5，然后对从排气口55(参照图13等)排出的排气进行冷却。这样，液冷换热器5及旋转泵2双方被液冷，从而能够有效地抑制密闭箱体1内的温度上升。
74.接着，关于从冷却液供给源4供给的冷却液的流路，对其具体例，基于附图(图1、图3、图7、图9～15等)进行说明。
75.冷却液供给源4连接于设置在密闭箱体1的背面的冷却液供给连接口4a，冷却液通过液流泵(未图示)从冷却液供给连接口4a通过冷却液供给配管4b，首先被供给到液冷换热器5，对该液冷换热器5进行冷却。此外，在如图9～12所示的在两层配置有电动旋转泵200的方案例中，构成为，冷却液供给配管4b分支为两根，该两层的电动旋转泵200分别被供给冷却液，且两根冷却液排出配管4c合流，排出冷却液。
76.接着，经由液冷换热器5对内部空气进行了冷却的冷却液通过冷却液连接管5b(参照图1、图7等)，为了冷却旋转泵2而被供给至冷却液入口连接部71a(参照图7、图15等)。然后，如基于图13～21后述地，冷却液通过轴承部冷却液流路71，从而旋转泵2的轴承部40及齿轮箱45被冷却，随之，齿轮箱45内的润滑油被冷却。
77.接着，如基于图13～21后述地，通过了轴承部冷却液流路71的冷却液被导入排气部冷却液流路72流动，以冷却旋转泵2的排气，且进一步通过延长部冷却液流路73，对旋转泵2的排气部且构成第一消音器部31的部分进行冷却，并从延长部冷却液出口连接部73b排出。在该延长部冷却液出口连接部73b连接有冷却液排出配管4c，该冷却液排出配管4c的出口端为连接至冷却液供给源4的冷却液排出连接口4d。
78.冷却液通过以上的流路流通，从而能够对液冷换热器5和旋转泵2进行冷却，对密闭箱体1的内部空气和旋转泵2的润滑油、排气进行了冷却的冷却液在本方案例中返回冷却液供给源4进行循环。此外，当利用地下水等时，当然可以不循环，而是向一方向流动。
79.由此，能够通过在跨液冷换热器5和旋转泵2串联连接的液冷流路中流动的冷却液，将液冷换热器5、旋转泵2的轴承部40及齿轮箱45、以及作为旋转泵2的排气部的第一消音器部31这三处依次合理地冷却。也就是说，各部分的温度为如下温度关系，即，储存于齿轮箱内的油的允许温度比密闭箱体1的内部空气的允许温度高，旋转泵的排气的允许温度比储存于该齿轮箱内的油的允许温度更高，因此，按上述顺序流动冷却液是合理的。即，在依次冷却上述三处时，该冷却液逐渐被加热，但在各个部分能够维持能够充分冷却的温度差(冷却液温度与被冷却部温度的温度差)。而且，这种串联地相连的液冷配管使配管结构简单化，具有可降低成本的优点。
80.此外，该液冷配管不限定于本方案例，也可以并联设置。根据并联地配设，可以独立地调整其流量，具有能够实现精确的冷却控制的优点。
81.接着，关于图1～7所示的方案例的密闭箱体1内的冷却效果，对具体的测定数据(验证值)进行说明。
82.作为最高的假设温度的条件的例，将冷却液(冷却水)的温度设定为32℃，通过测定各部分的温度，得到数据。
83.作为比较数据，在未设置液冷换热器5的情况且如图13～21所示的方案例那样设置旋转泵2进行水冷的情况下，密闭箱体1的内部空气上升至80℃。
84.相对于此，在如本方案例地将旋转泵2如上述地水冷并且设置液冷换热器5对内部空气进行了水冷的情况下，泵罩部25的循环空气出口部25b处的内部空气的温度为55℃，通过液冷换热器5从送风装置6排出并在电动马达3及配电盘8循环的内部空气的温度为45℃。由此，能够充分地低于电动马达3、电气零件82等的耐热温度。另外，返回冷却液供给源4的冷却水的温度为40～45℃。
85.此外，旋转泵2的吸气配管设为吸气导入管连接口16能够连接于外部的吸气用的
配管，且构成为能够经由该外部的吸气用的配管吸入外部空气。另外，止回阀17连接于吸气导入管连接口16与旋转泵2的吸气口15之间，且设置为能够限制从泵2向吸气导入管连接口16的气体的流动。
86.另外，90是冷凝水排出连接口，是能够将冷凝水排出至外部的排出口。配置于旋转泵2下的接露盘91、配置于液冷换热器5的换热器用接露盘93通过冷凝水配管92、换热器用冷凝水配管94连接于该冷凝水排出连接口90，能够承接产生的冷凝水，并将其适当地排出。
87.接着，基于附图(图1～21)，详细说明本发明的封装型旋转泵单元的消音构造。如上所述，作为基本结构，本发明的封装型旋转泵单元具备：电动旋转泵200，其具备吸入/排出气体的旋转泵2及使该旋转泵2驱动的电动马达3；以及密闭箱体1，其内置该电动旋转泵200。
88.在搭载于本发明的封装型旋转泵单元的旋转泵2设有第一消音器部31，第一消音器部31兼作通过从配置于密闭箱体1的外部的冷却液供给源4供给的冷却液冷却排气的排气冷却部，并产生消音效果。而且，在密闭箱体1的内部，在电动旋转泵200的上方配置有将通过了该第一消音器部31的排气导入进行消音的第二消音器部32。
89.根据本发明的封装型旋转泵单元，在旋转泵2内置于密闭箱体1内的情况下，能够起到如下特别有益的效果：能够更合理且有效地降低因该旋转泵2的运转而产生的噪声。即，具备利用冷却液冷却旋转泵2的排气的第一消音器部31，并且在电动旋转泵200的上部配置第二消音器部32，从而能够利用上述的密闭型的箱体(密闭箱体1)有效地覆盖电动旋转泵200及消音器(第一消音器部31及第二消音器部32)整体。因此，包括从消音器、途中的配管等漏出的声音，能够将该噪声屏蔽及吸收，能够有效地提高消音效果。而且，配置于电动旋转泵200上方的第二消音器部32自身也具有屏蔽从电动旋转泵200产生的噪声的效果。根据本方案例的封装型旋转泵单元的实施例，能够将噪声降低至73db，能够实现高的静音性。另外，通过在电动旋转泵200的上部配置第二消音器部32，能够抑制脚部空间。此外，为了提高吸音性能，当然也可以为在构成密闭箱体1的部件的内表面贴附吸音材料的方式。
90.另外，在本方案例中，第二消音器部32由多个降噪室构成，该多个降噪室设置为在与旋转泵2与电动马达3的连接方向相同的方向、且密闭箱体1的长边方向上串联地配置。
91.由此，能够将多个降噪室适当地配置于有限的空间，能够得到充分的降噪效果。即，本方案例的电动旋转泵200为将旋转泵2和电动马达3串联连接的方式，因此，为横长的形状，如本方案例地，密闭箱体1也形成为横长。而且，第二消音器部32能够按照电动旋转泵200的形态合适地配置于设为横长的密闭箱体1的内部，能够紧凑地设置整体结构。
92.此外，作为第二消音器部32的内部构造，能够适当选择性地设计提高膨胀、屏蔽、吸音等的降噪(消音)效果的形式。例如，通过采用将降噪室设为三个室且将该三个室串联配置的形式，能够实现紧凑且降噪性能高的构造。
93.更具体而言，例如在本方案例中，第二消音器部32具备轴向细长的筒体状的外形，在其长边方向上具备一端侧的降噪室、中间部的降噪室以及另一端侧的降噪室，在上述一端侧的降噪室中，使由从第一消音器部的排气口57延长的排气管导入的排气以从成为该排气管的前端侧的开孔管的部分膨胀的方式排出，从而进行降噪。然后，以从上述一端侧的降噪室向上述另一端侧的降噪室输送排气的方式将管路连通，使排气排出至上述另一端侧的降噪室，从而通过膨胀进行降噪。进一步地设置成，以使导入到上述另一端侧的降噪室的排
气反转的方式，经由设置于上述另一端侧的降噪室与上述中间部的降噪室的隔壁的通气孔将排气排出至上述中间部的降噪室，从而通过膨胀进行降噪，且能够将该排气从上述中间部的降噪室经由第二消音器部的排气排出口35排出至外部。
94.另外，在本方案例中，第二消音器部32以悬吊的状态设置于密闭箱体1的内部。即，如图3、图9等所示，本方案例的形成为圆筒型的第二消音器部32固定于吊挂部件37，且设置为从密闭箱体1的上部悬垂到内侧的状态，该吊挂部件37固定于箱体框架部1a的上部并向下方延伸。
95.由此，通过利用电动旋转泵200的上方的空间，能够具有因膨胀而带来的消音效果较高的合适的容积，并且与其它结构装置相比，能够适当且简便地配置轻量的消音器(第二消音器部32)。此外，当然也能够在第二消音器部32的上述的各降噪室的内表面适当地粘贴吸音材料，从而得到由吸音而带来的消音效果。
96.另外，在本方案例中，如图3、图4、图7、图9～12所示，电动旋转泵200经由减振部件300设置于密闭箱体1内，第一消音器部31和第二消音器部32经由振动缓冲配管33连接。即，在本方案例中，设置成，电动旋转泵200经由具备防震橡胶的减振部件300设置于密闭箱体1内的基座部1b上，在第一消音器部的排气口57与第二消音器部的排气导入口34之间连接有振动缓冲配管33，排气从第一消音器部31流向第二消音器部32。
97.由此，电动旋转泵200通过减振部件300设置，与第二消音器部32之间通过振动缓冲配管33连接，因此，能够降低电动旋转泵200的振动向密闭箱体1侧传递，能够合适地得到防振及消音的效果。另外，由于能够降低电动旋转泵200的振动向第二消音器部32传递，因此，能够将该第二消音器部32适当且更简便地设置于密闭箱体1内。
98.另外，在本方案例中，如图8～12记载的以在多层(本方案例中为两层)搭载有电动旋转泵200的封装型旋转泵单元所示地，第二消音器部32配置于密闭箱体1的内部的背面部侧，配电盘8配置于前表面部侧。由此，配电盘8成为屏蔽部，能够进一步降低向前表面侧透过的噪声。由此，能够进一步改善作业环境。
99.接着，作为用于本发明的封装型旋转泵单元的旋转泵的一例，基于图13～21对爪式泵的方案例进行说明。
100.如图13等所示，在该爪式泵中，110是泵室主体部，以形成使两个圆的一部分重合的剖面形状的泵室10(参照图22)的方式具备缸筒部10a、设置于该缸筒部10a的一方的端面的一方的端壁部10b、以及设置于该缸筒部10a的另一方的端面的另一方的端壁部10c。
101.另外，两个旋转轴20a、20b在泵室10内平行地配置，并设置为通过一对齿轮21a、21b向相反方向以同一速度旋转。在本方案例中，在这两个旋转轴20a、20b分别一体地固定设置有齿轮21a(驱动侧齿轮)、21b(从动侧齿轮)。该一对齿轮21a、21b在由轴承主体部120构成的齿轮箱45内啮合。
102.另外，两个转子30a、30b与两个旋转轴20a、20b对应地设置并配置于泵室10内，且设置为形成有钩形的爪部，以能够在相互不接触的状态下旋转而将吸入的气体压缩并排出(参照图22)。而且，泵室主体部110的一方的端壁部10b位于内置一对齿轮21a、21b的齿轮箱45侧，在泵室主体部110的至少另一方的端壁部10c设置有排出气体的排气口55。由此，构成了作为双轴旋转泵的一种的封装型旋转泵单元。
103.在本方案例中，以两个转子30a、30b与两个旋转轴20a、20b各自的一端(一方的前
端)对应地配置且以悬臂的状态被支撑的方式，两个旋转轴20a、20b被轴承部40轴支承，泵室主体部110的一方的端壁部10b位于轴承部40侧，在泵室主体部110的另一方的端壁部10c设置有排出气体的排气口55。此外，15是吸气口，在面向泵室10内的气体未被压缩的部位的位置开口设置。本方案例的吸气口15设置为在泵室主体部110的上部的角部、且跨缸筒部10a的上壁部和一方的端壁部10b的上部切口的形态。另外，14是吸气连接口，设置为下端连接于吸气口15，上端经由管路连接于空压设备(未图示)。
104.而且，在本发明的封装型旋转泵单元中，在泵室主体部110的另一方的端壁部10c侧设置有用于使冷却液通过的排气部冷却液流路72，以冷却从排气口55排出的排气。此外，在本方案例(用作真空泵的情况的例子)中，所谓从排气口55排出排气的状态是泵室10与作为外部空气的大气(空气)连通而开放的状态，该排气被放出至大气(空气)中。另外，所谓冷却液的液体，虽然以冷却水为代表，但不言而喻，也能够包括防冻液那样的与水的混合液(水溶液)、油等，使用水以外的其它液体。
105.根据本发明的封装型旋转泵单元，即使在作为真空泵而在极限真空度为接近绝对真空的值的真空度较高的范围中使用的情况下，也能够更积极且有效地防止泵室10过热，能够显著提高泵性能。
106.即，通过在泵室主体部110的另一方的端壁部10c侧设置排气部冷却液流路72，能够通过冷却液有效地冷却从排气口55刚排出的排气。由此，即使是在真空度为一定以上的高的范围内使用的真空泵，即使在由于排气逆流而被加热的情况下，也能够抑制泵室10的内部温度的上升。因此，能够将使泵室10的壁内表面和两个转子30a、30b不接触的间隙设定得较小，能够减少因该间隙而导致的气体的泄漏，因此能够提高泵效率。
107.另外，根据本发明的封装型旋转泵单元，通过能够如上述地将间隙设定得较小，从而能够进一步提高极限真空度，并且，通过即使存在排气的逆流也能够防止过热，从而能够将排气口55的开口面积设定得更大，能够构成处理风量更大的真空泵。
108.而且，根据本方案例的封装型旋转泵单元，为将设置有最被加热的排气口55的另一方的端壁部10c侧局部且积极地冷却的形态。即，构成为，对于产生较大温度梯度(温度差)的泵室主体部110，以降低其温度差的方式优先冷却泵室主体部110的壁部中的以排气口55为中心的另一方的壁部10c侧，从而冷却排气。通过这样冷却排气防止泵室10的过热，确认了在实施例中内部温度差降低了约140℃，而且，也确认了将极限真空度提高至97kpa，能够显著提高泵性能。此外，以往，作为进行极限连续运转的限度，只能进行极限真空度到达90kpa左右的运转，以避免产生泵室10的壁内表面及两个转子30a、30b彼此间的接触(内部干扰)。相对于此，根据本发明，能够连续进行极限真空度更高的断路运转。
109.此外，在封装型旋转泵单元中，气体的压缩率高，且气体被加热而排出，因此，排气口55的部分最容易过热，且形成有该排气口55的另一方的端壁部10c的部分比其它部分温度高。而且，若与该另一方的端壁部10c比较，则泵室主体部110的其它部分温度低。因此，如果包含缸筒部10a等将泵室主体部110整体同样地冷却，则会维持另一方的端壁部10c的排气口55与其它部位的温度差，无法消除因热膨胀而产生作为动作部的转子30a、30b的干涉的问题。
110.另外，根据本方案例，向排气部冷却液流路72导入冷却液的冷却液导入口72b(参照图20)设置于排气口55附近，在形成有排气部冷却液流路72的部位以使冷却液先在排气
口55的附近环绕的方式设置有对导入的冷却液的流动进行限制的冷却液流限制部61b。此外，如图20所示，本方案例的冷却液流限制部61b设置为在后述的第一流路形成部61的冷却液流路形成面61a的多处(本方案例中为两处)以肋状突起的形态。
111.由此，通过对泵室主体部110的以作为最被加热的部分的排气口55为中心的部位(排气口55的周围)进行冷却，能够有效地冷却刚出排气口的排气，降低该排气口55的周围与排气的温度，从而能够均衡地抑制该排气口55的周围被过度加热而因热膨胀不平衡地变形。这样，能够均衡地抑制泵室主体部110及两个转子30a、30b的热膨胀，因此，能够减小它们相互的间隙，能够提高泵效率。
112.此外，在封装型旋转泵单元中，从驱动安定性方面考虑，通常将排气口55设置于与泵室10的下部对应的部位(在本方案例中，另一方的端壁部10c的下部)。于是，在本方案例中为如下形态，如上所述地配置冷却液导入口72b，先利用温度更低的冷却液冷却排气部冷却液流路72中的位于另一方的端壁部10c的下部的排气口55附近的部分，将这样对另一方的端壁部10c进行了冷却的冷却液以通过排气部冷却液出口连接部72d的方式向上方排出。此时，冷却液被进行热交换而温度升高，从而比重变小，产生朝向上方的流动的矢量。根据该冷却液的流动，能够有效地冷却下部的排气口55的部分，并且能够使冷却液的温度上升引起的流动的方向性和用于使冷却液向上方排出的流动的方向性一致。因此，能够使冷却液顺畅地通过，能够有效地提高其冷却效率。
113.另外，根据本方案例，排气部冷却液流路72通过在泵室主体部110的另一方的端壁部10c配置第一流路形成部61而设置，该第一流路形成部61具备冷却液流路形成面61a，该冷却液流路形成面61a为以覆盖该另一方的端壁部10c的外表面侧的方式配置的部位，且设置为在与该另一方的端壁部10c的外表面之间形成上述排气部冷却液流路72。由此，能够有效且合理地构成排气部冷却液流路72。
114.此外，如图13、20、21所示，本方案例的第一流路形成部61通过以在两面形成有流路的方式形成有凹凸的盘状的部件设置，且设置为，通过螺栓固定于另一方的端壁部10c的外表面，通过密封部件65将接合部水密密封而形成排气部冷却液流路72。本方案例的接合部由内环接合部61c和外环接合部61d构成，该内环接合部61c以将排气口55的排气路延长的方式形成为包围该排气口55的矩形的环形框状，外环接合部61d形成为以环形框状抵接于另一方的端壁部10c的周缘部。于是，成为如下形态：在该内环接合部61c与外环接合部61d之间形成有排气部冷却液流路72，并被充满冷却液。由此，成为如下形态：对于另一方的端壁部10c的外侧的壁面，能够使冷却液整面地接触而高效地冷却。另外，该构造为将层状的排气部冷却液流路72向泵室主体部110的外端面外侧平面地层叠的形态，结构紧凑。
115.另外，在本方案例的第一流路形成部61中，设置为如下形态：在作为面向另一方的端壁部10c的外表面的面(对面)的冷却液流路形成面61a，以形成排气部冷却液流路72的一部分且为槽状的通路的排气口周围流路部72c的方式突起有构成冷却液流限制部61b的通路形成壁。即，在本方案例中，另一方的端壁部10c的外表面是平坦的面，如图13及20所示，在第一流路形成部61的冷却液流路形成面61a侧设置有用于适当弯曲引导排气部冷却液流路72的通路形成壁(冷却液流限制部61b)。此外，本发明不限定于此，也能够在另一方的端壁部10c的外表面侧适当地设置通路形成壁。
116.另外，根据本方案例，在第一流路形成部61的与冷却液流路形成面61a相反的面且
作为第一流路形成部61的外表面的排气流路形成面61e侧设置有供排气通过的排气流路56，以使排气被第一流路形成部61冷却。即，排气流路56是连接于排气口55的流路，是流通从排气口55排出的排气的流路。
117.根据该排气流路56，能够有效地冷却过热的排气，降低该排气的温度，从而降低泵室10内的温度，能够均衡地抑制形成该泵室10的泵室主体部110、两个转子30a、30b这些构成部件过热而热膨胀。
118.另外，该排气流路56能够适当限制排气的流动方向，为促进排气的冷却的形态，并且兼做降低排气音的消音器的构造。即，由形成有该排气流路56的构造构成了第一消音器部31。此外，57是第一消音器部的排气口，设置为在第一流路形成部61的上壁部开口，成为排气流路56的排气口，而且通过该第一消音器部的排气口57向外部排气。如图21所示，本方案例的第一消音器部的排气口57设置为流路在内部侧缩径的形状，且形成为能够提高消音效果。
119.另外，根据本方案例，排气流路56通过在第一流路形成部61配置第二流路形成部62而设置，该第二流路形成部62具备排气流路形成面62a，该排气流路形成面62a为以覆盖该第一流路形成部61的外表面侧的方式配置的部位且设置为在与该第一流路形成部61的外表面之间形成上述排气流路56。由此，能够有效且合理地构成排气流路56，能够在排气流路形成面61e及排气流路形成面62a这两面有效地冷却仅靠排气口后的排气。另外，该构造成为将层状的排气流路56向泵室主体部110的外端面外侧平面地层叠的形态，结构紧凑。
120.此外，如图13等所示，本方案例的第二流路形成部62通过平坦地形成有作为内表面(抵接于第一流路形成部61的外表面侧的面)的排气流路形成面62a的盘状的部件设置，且通过螺栓固定于第一流路形成部61的外表面(排气流路形成面61e)侧。另外，设置为如下形态，相对于该排气流路形成面62a(平坦的面)，在第一流路形成部61的外表面(排气流路形成面61e)侧突起有排气通路形成壁61f，以形成成为排气流路56的槽状的通路。而且，作为第一流路形成部61的外表面侧的外周部的环形框状接合部61g或排气通路形成壁61f和第二流路形成部62的内表面能够通过紧贴固定实质上成为气密状态，或者设置密封部件而形成气密状态。此外，本发明不限定于此，也可以在排气流路形成面62a侧设置排气通路形成壁。而且，如图21所示，排气流路56形成为复杂地弯曲的流路，从而能够进一步促进排气的冷却，并且能够作为消音器室适当地发挥功能，进一步降低排气音。
121.进一步地，根据本方案例，与排气部冷却液流路72连续的延长部冷却液流路73通过在第二流路形成部62配置第三流路形成部63而设置，该第三流路形成部63具备延长流路形成面63a，该延长流路形成面63a为以覆盖该第二流路形成部62的外表面(延长流路形成面62b)侧的方式配置的部位，且设置为在与该第二流路形成部62的外表面(延长流路形成面62b)之间形成上述延长部冷却液流路73。由此，能够有效且合理地构成延长部冷却液流路73。另外，该构造为将层状的延长部冷却液流路73向泵室主体部110的外端面外侧平面地层叠的形态，结构紧凑。进一步地，根据该层状的延长部冷却液流路73和构成该延长部冷却液流路73的构造壁，能够降低噪声。即，形成该延长部冷却液流路73、上述的排气部冷却液流路72的结构为屏蔽声音而降低噪声的构造，也是第一消音器部31的构成要素。
122.此外，如图13等所示，本方案例的第三流路形成部63通过平坦的平板状的部件(板状部件)而设置，且设置为，通过螺栓固定于第二流路形成部62的外表面侧，通过密封部件
65水密密封于在第二流路形成部62的外表面以环形框状所设置的周缘接合部62c，形成了延长部冷却液流路73。另外，在本方案例中，延长部冷却液流路73为使冷却液滞留于形成为扁平的层状的空间的形态，但并不限定于此，当然也可以将流路设定为适当的形态。进一步地，也可以将延长部冷却液流路73多层化，提高冷却性能。另外，在该延长部冷却液流路73中，经由该第二连接配管72e从设于第二连接配管72e的上部并与排气部冷却液流路72连接的排气部冷却液出口连接部72d连通至设于第二连接配管72e的下部的延长部冷却液入口连接部73a，且以使流过延长部冷却液流路73的冷却液排出至外部的方式，在上部设有延长部冷却液出口连接部73b，以与排气部冷却液流路72同样地使冷却液以产生从下部向上部的流动的方式流动。
123.此外，在本方案例中，泵室10通过将缸筒壳体11和作为另一方的端壁部10c而设置的侧板12以密封状态固定而形成，缸筒壳体11一体地设有缸筒部10a及一方的端壁部10b和设有第一轴承部40a的一方的构造壁部121a。这样，在本方案例中，泵室10由分割成两个的部件形成，但不限定于此，当然也可以例如由主要分割成缸筒部10a、一方的端壁部10b、以及另一方的端壁部10c这三个的部件形成。
124.接着，基于附图(图13～21)，对本发明的双轴旋转泵的冷却对两个旋转轴20a、20b进行轴支承的轴承部40的结构的方案例进行详细说明。此外，如以上所说明地，本方案例的双轴旋转泵为封装型旋转泵单元，但本发明并不限定于此，也能够应用于罗茨泵、螺杆泵等其它双轴旋转泵。另外，在本发明的双轴旋转泵中，并不限定于本方案例这样的两个转子30a、30b以悬臂状态被轴支承/支撑的形态，该结构也能够应用于将旋转轴20a、20b在两端旋转自如地轴支承的形态的双轴旋转泵。
125.在本发明的双轴旋转泵中，如图13所示，具备轴承主体部120，该轴承主体部120构成构造壁部121，该构造壁部121设有轴支承两个旋转轴20a、20b的轴承部40，并且作为齿轮箱45，该齿轮箱45内置与两个旋转轴20a、20b对应地设置且啮合的一对齿轮21a、21b。此外，在本方案例的轴承主体部120中设置有轴支承旋转轴20a、20b的轴承部40，以使两个转子30a(驱动侧转子)、30b(从动侧转子)分别配置于两个旋转轴20a(驱动侧旋转轴)、20b(从动侧旋转轴)的一端且以悬臂状态被支撑。由该轴承主体部120和泵室主体部110构成了双轴旋转泵的泵主体100。
126.而且，以在泵室主体部110与轴承主体部120之间形成有能够抑制热传导的冷却用的间隙60的方式，泵主体100划分成泵室主体部110和轴承主体部120而设置，在轴承主体部120的位于泵室主体部110侧的构造壁部121(在本方案例中，一方的构造壁部121a)设置有用于通过冷却液的轴承部冷却液流路71。
127.由此，通过降低因两个转子30a、30b的驱动而产生的压缩气体(排气)的热传递至轴承主体部120的传热防止效果和通过轴承部冷却液流路71的冷却液的冷却效果，起到能够延长构成轴承部40等的功能部件的寿命的特别有益的效果。即，根据本发明，通过划分成泵室主体部110和轴承主体部120，并设置冷却用的间隙60，能够抑制热传导，以使传热量为最小限，并且利用通过轴承部冷却液流路71的冷却液能够更积极地冷却轴承主体部120，因此，能够提高装置的可靠性。在该实施例中，确认了能够将润滑油的温度上升降低约40℃。
128.此外，功能部件是包括轴承41、油封42的构成部件，作为消耗部件处理。通过实现这些功能部件的长寿命化，能够降低运转成本。
129.此外，本方案例的轴承部40由第一轴承部40a和第二轴承部40b构成，第一轴承部40a以在两个齿轮21a、21b与两个转子30a、30b之间轴支承两个旋转轴20a、20b的方式设于轴承主体部120的泵室主体部110侧的构造壁部(一方的构造壁部121a)，第二轴承部40b设置为在与该第一轴承部40a相反的构造壁部且配置于连结有驱动马达(电动马达3(参照图3等))的侧的构造壁部(另一方的构造壁部121b)轴支承两个旋转轴20a、20b。此外，电动马达3的旋转轴3a经由旋转轴20a(驱动侧旋转轴)和联轴器3b(参照图4等)连结。
130.另外，在本方案例中，通过将两个旋转轴20a、20b水平配置而设为横置型，轴承部冷却液流路71以通过比静止时的储存状态的上述润滑油的液面靠下侧的方式设置于轴承主体部120的构造壁部121的下部，以冷却储存于齿轮箱45内的润滑油。此外，润滑油静止时的液面设定为位于齿轮箱45(油室)的内底面与水平配置的上述旋转轴20a、20b之间。由此，能够有效地冷却润滑油，通过该润滑油被旋转的两个齿轮21a、21b扬起，能够对齿轮21a、21b及轴承41进行润滑，并且将齿轮箱45内冷却。
131.此外，在本方案例中为如下形态：轴承部冷却液流路71在轴承主体部120中的第一轴承部40a的下部(第一轴承部40a的轴承41的下侧)以一条直线的贯通孔的形状设置，且局部配置。由此，具有如下效果：积极地冷却容易进行来自泵室主体部110侧的热传导的轴承主体部120的部分，并且能够有效地冷却润滑油。
132.进一步地，在本方案例中，泵室10的排气口55设置于泵室主体部110的下部。由此，在轴承部冷却液流路71如上所述地设置于轴承主体部120的构造壁部121的下部时，热传导被有效地抑制，能够抑制轴承部40过热。
133.另外，除了如本方案例地通过水平配置两个旋转轴20a、20b而设为横置型，也可以在冷却用的间隙60设置以从下侧朝向上侧逃逸的方式使空气流动的送风单元。由此，能够有效地对泵室主体部110和轴承主体部120进行空冷，能够进一步提高双轴旋转泵的可靠性。即，能够在泵室主体部110与轴承主体部120之间适当地流动冷却风，因此能够更有效地抑制热传递，能够促进散热带来的冷却。由此，能够抑制轴承主体部120的温度上升，能够实现功能部件的长寿命化。
134.而且，根据本发明的双轴旋转泵，能够使其特征在于，轴承部冷却液流路71连接于设置于泵室主体部110的冷却液流路，以使对轴承主体部120进行了冷却的冷却液对泵室主体部110进行冷却。由此，能够使以不会使润滑油沸腾而过热的方式流通于轴承部冷却液流路71的冷却液的温度比流通于设置于泵室主体部110的冷却液流路的冷却液的温度低，能够有效地利用冷却液。
135.另外，在本方案例中，在轴承部冷却液流路71连接有排气部冷却液流路72，以使冷却液按照从轴承部冷却液流路71到排气部冷却液流路72的顺序流动。由此，能够通过一个冷却液供给源4(图1、图2)直接依次有效地冷却轴承主体部120的构成轴承部40(第一轴承部40a)的构造壁部121(一方的构造壁部121a)和泵室主体部110的另一方的端壁部10c侧。此外，本方案例的冷却液从冷却液供给源4(图1、图2)供给，按照冷却液入口连接部71a(图15、图17、图19)、轴承部冷却液流路71(图13、图19)、轴承部冷却液出口连接部71b(图14、图16、图18、图19)的顺序流动，然后按照第一连接配管71c(图14、图16、图18、图19)、排气部冷却液入口连接部72a(图14、图16、图18)、冷却液导入口72b(图20)的顺序流动，供给至排气部冷却液流路72(图13、图20)，流经延长部冷却液流路73排出到泵2的外部。不限定于此，当
然也可以不连接轴承部冷却液流路71和排气部冷却液流路72，而分别供给冷却液，也可以通过独立地调整冷却液的供给来进行优化。
136.另外，在本方案例的由轴承部冷却液流路71、排气部冷却液流路72以及延长部冷却液流路73构成的流路中，构成为，排气部冷却液流路72配置于比轴承部冷却液流路71靠上侧，在排气部冷却液流路72及延长部冷却液流路73中，冷却液从下向上流动，通过使冷却液的温度上升引起的流动的方向性和冷却液的流动的方向性一致，能够使冷却液顺畅地流动，能够有效地对轴承部40及排气进行冷却。
137.根据以上所说明的双轴旋转泵的冷却构造，能够合理地对应于封装型旋转泵单元而提高冷却性能，能够提高泵性能。另外，在本发明的封装型旋转泵单元中，如上所述地适当地形成泵室10的下侧容易过热且能够从其下侧冷却的构造。因此，能够高效地冷却泵室10，能够提高泵性能，并且能够如上所述地起到能够实现功能部件的长寿命化的特别有益的效果。
138.另外，在本方案例中，如图13～19所示，泵室主体部110与轴承主体部120之间的冷却用的间隙60为通过多个柱状部115将一方的端壁部10b与设有面向该一方的端壁部10b的第一轴承部40a的一方的构造壁部121a之间一体化的形态，且设置成，在未设置该柱状部115的部分形成有上述冷却用的间隙60。关于这样的形状，例如在通过铸件成型制造的情况下，只要通过型芯形成冷却用的间隙60即可。另外，本发明不限定于此，不言而喻，也能够如图22所示地，将包括一方的端壁部10b的泵室主体部110侧的部件和构成面对该一方的端壁部10b的轴承部40的构造壁部121的轴承主体部120侧的部件由不同的部件构成，且利用形成于双方的柱状连结部111、122连结，从而能够形成冷却用的间隙60。
139.另外，在本发明的封装型旋转泵单元中，除了以上说明了的结构，还能够设置为，在一方的端壁部10b和另一方的端壁部10c的至少任一个部位且面向泵室10内的气体被压缩的部位的位置开口而设置的排气侧开口部50通过前级通气口51和后级排气口设置，前级通气口51在通过两个转子30a、30b的爪部彼此使气体的压缩比最大化的前级与泵室10的外部连通，后级排气口以包括通过上述两个转子30a、30b的爪部彼此使气体的压缩比比上述前级靠最大化的阶段向泵室10的外部排气的方式被连通，该后级排气口为设置于另一方的端壁部10c的排气口55，在该排气口55与泵室10的外部连通而气体的压缩比最大化的阶段，前级通气口51被上述转子关闭。
140.由此，能够防止排气逆流，抑制泵室10的过热，能够提高泵性能。通过该排气的逆流防止效果与上述的冷却液的冷却效果等的倍增效应，能够更有效地防止泵室10的过热，提高泵性能。
141.此外，在本方案例中，两个转子30a、30b以悬臂状态被支撑，但本发明不限定于此，在如专利文献1公开那样的将两个转子30a、30b通过两个旋转轴20a、20b从两侧支撑的结构的封装型旋转泵单元中，也能够有效地应用。另外，在如专利文献1公开那样的在泵室主体部的一方的端壁部和另一方的端壁部这双方具备排气口的封装型旋转泵单元中，也能够有效地应用，只要在取得与设置于另一方的端壁部侧的排气部冷却液流路的平衡的基础上，在一方的端壁部侧也设置排气部冷却液流路即可。
142.另外，在本发明中，例如，能够通过调整管理冷却液的温度来对应寒冷地区的使用，扩大本发明的使用范围，也能够构成为以使冷却液循环方式使用换热器将该冷却液冷
却等，不言而喻，能够适当选择性地采用用于液冷式的附属的管理方法和结构。
143.以上对本发明列举了适合的方案例进行了各种说明，但本发明不限定于该方案例，不言而喻，能够在不脱离发明的精神的范围内实施很多改变。
144.符号说明
145.1—密闭箱体，1a—箱体框架部，1b—基座部，1c—箱体罩部，2—旋转泵，3—电动马达，3a—旋转轴，3b—联轴器，3c—安全罩，4—冷却液供给源，4a—冷却液供给连接口，4b—冷却液供给配管，4c—冷却液排出配管，4d—冷却液排出连接口，5—液冷换热器，5a—热交换用的管路，5b—冷却液连接管，6—送风装置，7—送风风扇，8—配电盘，9—电气部件冷却用的送风机，10—泵室，10a—缸筒部，10b—一方的端壁部，10c—另一方的端壁部，11—缸筒壳体，12—侧板，14—吸气连接口，15—吸气口，16—吸气导入管连接口，17—止回阀，20a—旋转轴(驱动侧旋转轴)，20b—旋转轴(从动侧旋转轴)，21a—齿轮(驱动侧齿轮)，21b—齿轮(从动侧齿轮)，25—泵罩部，25a—循环空气入口部，25b—循环空气出口部，30a—转子(驱动侧转子)，30b—转子(从动侧转子)，31—第一消音器部，32—第二消音器部，33—振动缓冲配管，34—第二消音器部的排气导入口，35—第二消音器部的排气排出口，37—吊挂部件，40—轴承部，40a—第一轴承部，40b—第二轴承部，41—轴承，42—油封，45—齿轮箱，50—排气侧开口部，51—前级通气口，55—排气口，56—排气流路，57—第一消音器部的排气口，60—冷却用的间隙，61—第一流路形成部，61a—冷却液流路形成面，61b—冷却液流限制部，61c—内环接合部，61d—外环接合部，61e—排气流路形成面，61f—排气通路形成壁，61g—环形框状接合部，62—第二流路形成部，62a—排气流路形成面，62b—延长流路形成面，62c—周缘接合部，63—第三流路形成部，63a—延长流路形成面，65—密封部件，71—轴承部冷却液流路，71a—冷却液入口连接部，71b—轴承部冷却液出口连接部，71c—第一连接配管，72—排气部冷却液流路，72a—排气部冷却液入口连接部，72b—冷却液导入口，72c—排气口周围流路部，72d—排气部冷却液出口连接部，72e—第二连接配管，73—延长部冷却液流路，73a—延长部冷却液入口连接部，73b—延长部冷却液出口连接部，81—操作部，82—电气零件，83—逆变装置，90—冷凝水排出连接口，91—接露盘，92—冷凝水配管，93—换热器用接露盘，94—换热器用冷凝水配管，100—泵主体，110—泵室主体部，115—柱状部，120—轴承主体部，121—构造壁部，121a—一方的构造壁部，121b—另一方的构造壁部，200—电动旋转泵，300—减振部件。