本发明涉及例如涡轮分子泵等真空泵、真空泵用旋转体。
背景技术：
1、一般，作为真空泵的一种而已知有涡轮分子泵。在该涡轮分子泵中，借助向泵主体内的马达的通电而使旋转叶片旋转，通过将吸入到泵主体的气体(工艺气体)的气体分子弹飞而将气体排出。此外，在这样的涡轮分子泵中，在形成有旋转叶片的旋转体结合着旋转轴(转子轴)，由马达使旋转轴和旋转体旋转而进行排气(专利文献1)。
2、现有技术文献
3、专利文献
4、专利文献1：日本特开2008-286013号公报
技术实现思路
1、发明要解决的课题
2、可是，在上述的各种涡轮分子泵那样的真空泵中，一般越是提高旋转叶片的转速则排气性能越改善。但是，发明人等着眼于旋转体与旋转轴的结合部位进行构造解析而获知，在该结合部位容易产生应力集中。
3、而且，为了降低在这样的旋转体与旋转轴的结合部位产生的应力，可以考虑将额定运转时的转速设定得较低，但在使转速下降了的情况下，排气性能的改善变得困难。另一方面，在不考虑上述那样的应力集中的对策，为了改善排气性能而提高了转速的情况下，在旋转体与旋转轴的结合部位产生较高的应力，可靠性下降。而且，由于旋转体与旋转轴的结合部位是与真空泵的可靠性较大地相关的部位，所以该结合部位的较大的设计变更并不容易。
4、本发明的目的在于提供能够将在旋转体产生的应力集中、特别是在旋转体与旋转轴的结合部位产生的应力降低的真空泵及真空泵用旋转体。
5、用来解决课题的手段
6、(1)为了达成上述目的，本发明在于一种真空泵，具备旋转体，所述旋转体在圆筒部分的外周具有旋转叶片，且被紧固机构紧固于旋转轴，能够与前述旋转轴一起旋转，所述真空泵的特征在于，前述旋转体的与前述旋转轴嵌合的嵌合孔部或供前述紧固机构贯通的贯通孔部的至少一方是应力降低对象部，在前述旋转体，形成有降低在前述旋转体的旋转中在前述应力降低对象部产生的应力的槽部。
7、(2)此外，为了达成上述目的，另一本发明在于如(1)所述的真空泵，其特征在于，前述槽部设置在比前述嵌合孔部或前述贯通孔部靠外周侧。
8、(3)此外，为了达成上述目的，另一本发明在于如(1)或(2)所述的真空泵，其特征在于，前述槽部设置在前述旋转体的内周面或外周面的至少一方。
9、(4)此外，为了达成上述目的，另一本发明在于如(1)至(3)的任一项所述的真空泵，其特征在于，前述槽部具有至少内周侧平缓的倾斜构造。
10、(5)此外，为了达成上述目的，另一本发明在于如(1)至(4)的任一项所述的真空泵，其特征在于，前述槽部配置在前述旋转体的紧固面或其延长面上。
11、(6)此外，为了达成上述目的，另一本发明在于如(1)至(5)的任一项所述的真空泵，其特征在于，在前述旋转体实施了表面处理；在前述嵌合孔部或前述贯通孔部的至少一方的周缘部，具有避免与前述旋转轴的抵接的锪孔部。
12、(7)此外，为了达成上述目的，另一本发明在于一种真空泵用旋转体，在圆筒部分的外周具有旋转叶片，且被紧固机构紧固于旋转轴，其特征在于，与前述旋转轴嵌合的嵌合孔部或供前述紧固机构紧固的紧固部的至少一方是应力降低对象部，具备降低在旋转中在前述应力降低对象部产生的应力的槽部。
13、发明效果
14、根据上述发明，能够提供能够降低在旋转体与旋转轴的结合部位产生的应力的真空泵及真空泵用旋转体。
1.一种真空泵，具备旋转体，所述旋转体在圆筒部分的外周具有旋转叶片，且被紧固机构紧固于旋转轴，能够与前述旋转轴一起旋转，所述真空泵的特征在于，
2.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，
3.如权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，
4.如权利要求1～3中任一项所述的真空泵，其特征在于，
5.如权利要求1～4中任一项所述的真空泵，其特征在于，
6.如权利要求1～5中任一项所述的真空泵，其特征在于，
7.一种真空泵用旋转体，在圆筒部分的外周具有旋转叶片，且被紧固机构紧固于旋转轴，其特征在于，