一种可定量调节流量的风囊泵的制作方法

本发明涉及风囊泵，尤其涉及一种可定量调节流量的风囊泵。

背景技术：

1、在半导体行业中通常需要一种用于输送酸碱等强腐蚀液体的输送泵，其中包括一种依靠可变体积的囊物在泵缸内做工作容积增大和缩小交替来输送特殊液体的泵种。风囊气缸泵采用压缩空气为动力，风囊泵中两个风囊将泵腔分为两个工作腔，每个工作腔分为气相工作腔和液相工作腔两部分，压缩空气进入泵的气相工作腔后，压缩风囊变形移动，通过换向阀控制压缩空气依次进入两个气相工作腔工作，利用液相腔的交替吸液排液，实现对液体的输送。

2、申请人检索后发现，公开号为cn115076076a的中国发明专利申请公开了一种精确控制流量的风囊泵。该现有技术中的风囊泵通过控制压力的变化和速度，以控制鼓液容器的收缩和展开的幅度，实现输出可控的液体，适合输送流量在几十至几百毫升的液体。该现有技术中的风囊泵在通过调节压力的变化和速度以控制液体输出流量的过程中存在流量控制精度低的缺陷，从而无法精准的定量增加或减少输送液体的流量，难以在流量精度要求较高的环境中应用。

3、有鉴于此，有必要对现有技术中的风囊泵予以改进，以解决上述问题。

技术实现思路

1、本发明的目的在于揭示一种可定量调节流量的风囊泵，用于解决现有技术中的风囊泵无法精准的定量增加或减少输送液体的流量的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供了一种可定量调节流量的风囊泵，包括：具有气腔的泵体，形成于所述气腔内的囊体，以及配置于所述泵体以调节所述囊体容积的限位机构；

3、所述限位机构包括：

4、导引件，活动连接于所述导引件并与所述导引件围合形成限位通道的调节件，横向贯穿所述泵体并连接所述囊体的导杆；

5、所述导引件横向设置多条刻度线，所述刻度线用于指示所述囊体所要增加或减少的容积；

6、所述导杆部分横向延伸入所述限位通道，所述调节件沿所述导引件横向运动以调节所述限位通道长度，控制所述导杆在所述限位通道内的横向运动距离。

7、作为本发明的进一步改进，所述导引件周向外侧形成圆弧面和至少一用于设置所述刻度线的平面，所述平面平行于所述导引件轴线。

8、作为本发明的进一步改进，所述导引件周向外侧形成至少一用于设置所述刻度线的圆弧面和/或平面，所述圆弧面和/或所述平面平行于所述导引件轴线。

9、作为本发明的进一步改进，所述圆弧面被构造出外螺纹段，所述调节件套设于所述导引件并与所述外螺纹段螺纹连接。

10、作为本发明的进一步改进，所述导引件内壁面被构造出内螺纹段；

11、所述调节件轴向延伸形成内嵌于所述导引件并与所述内螺纹段螺纹连接的调节段，以及与所述调节段延伸方向一致并形成于所述导引件周向外侧的指示段，所述指示段长度与所述调节段长度相同。

12、作为本发明的进一步改进，所述调节件沿所述导引件横向向外运动以增加所述限位通道长度，增加所述囊体带动所述导杆在所述限位通道内的横向运动距离；

13、所述调节件沿所述导引件横向向内运动以减少所述限位通道长度，减少所述囊体带动所述导杆在所述限位通道内的横向运动距离。

14、作为本发明的进一步改进，所述泵体内设将所述气腔分隔形成第一驱动腔与第二驱动腔的泵头，所述泵体开设分别连通所述第一驱动腔与所述第二驱动腔的第一进气口与第二进气口。

15、作为本发明的进一步改进，所述囊体包括：

16、密封连接于所述泵头的可伸缩的弹性侧壁，所述弹性侧壁径向延伸形成端盖，所述弹性侧壁、所述端盖与所述泵头围合形成供液体流通的囊室，所述端盖自侧壁径向向内凹陷形成环形凹槽，以及嵌设于所述环形凹槽的传动环。

17、作为本发明的进一步改进，所述传动环径向向外延伸过所述弹性侧壁，所述传动环外径小于所述气腔内径。

18、作为本发明的进一步改进，所述泵头被构造出径向延伸出所述泵体的吸入管与吐出管，所述泵头内设分别连通所述吸入管与所述吐出管的进液通道与出液通道；

19、横向对称设置于所述泵头并与所述泵头密封连接的两组呈并列设置的吸入阀与吐出阀，所述吸入阀连通所述进液通道以供液体从所述吸入管引导至所述囊室，所述吐出阀连通所述出液通道以供所述囊室内液体流入所述出液通道引导至所述吐出管。

20、作为本发明的进一步改进，所述泵体沿所述囊体周向配置若干组横向贯穿所述泵头的传动杆，所述传动杆与所述泵头形成滑动连接；

21、所述传动杆两端横向延伸形成贯穿所述传动环的固定段，所述固定段外径小于所述传动杆外径，所述固定段轴向套设用于供所述传动环抵持所述传动杆的固定栓。

22、作为本发明的进一步改进，所述导杆靠近所述囊体的一端径向向外延伸形成抵持所述端盖的传动盘，所述传动盘沿所述固定段延伸方向对应开设若干贯穿孔，所述贯穿孔数量与所述固定段数量相同，所述贯穿孔内径大于所述固定段外径。

23、与现有技术相比，本发明的有益效果是：

24、通过多条刻度线指示所述囊体所要增加或减少的容积，控制调节件沿导引件横向运动至囊体所要增加或减少的容积所对应的刻度线处，调节限位通道长度，以控制导杆在限位通道内的横向运动距离，使得囊体在气腔内横向向外发生形变进行膨胀并同步带动导杆在限位通道运动的过程中，通过导杆远离囊体的一端抵持调节件，以限制囊体横向向外的膨胀变化，从而控制囊体的膨胀体积，以达到调节囊体容积的作用，使风囊泵能够实现精准的定量增加或减少输送液体的流量，进而能够在流量精度要求较高的环境中应用，扩大了风囊泵的应用范围。

技术特征：

1.一种可定量调节流量的风囊泵，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述可定量调节流量的风囊泵，其特征在于，所述导引件周向外侧形成圆弧面和至少一用于设置所述刻度线的平面，所述平面平行于所述导引件轴线。

3.根据权利要求1所述可定量调节流量的风囊泵，其特征在于，所述导引件周向外侧形成至少一用于设置所述刻度线的圆弧面和/或平面，所述圆弧面和/或所述平面平行于所述导引件轴线。

4.根据权利要求2所述可定量调节流量的风囊泵，其特征在于，所述圆弧面被构造出外螺纹段，所述调节件套设于所述导引件并与所述外螺纹段螺纹连接。

5.根据权利要求2或3所述可定量调节流量的风囊泵，其特征在于，所述导引件内壁面被构造出内螺纹段；

6.根据权利要求2所述可定量调节流量的风囊泵，其特征在于，所述调节件沿所述导引件横向向外运动以增加所述限位通道长度，增加所述囊体带动所述导杆在所述限位通道内的横向运动距离；

7.根据权利要求1所述可定量调节流量的风囊泵，其特征在于，所述泵体内设将所述气腔分隔形成第一驱动腔与第二驱动腔的泵头，所述泵体开设分别连通所述第一驱动腔与所述第二驱动腔的第一进气口与第二进气口。

8.根据权利要求7所述可定量调节流量的风囊泵，其特征在于，所述囊体包括：

9.根据权利要求8所述可定量调节流量的风囊泵，其特征在于，所述传动环径向向外延伸过所述弹性侧壁，所述传动环外径小于所述气腔内径。

10.根据权利要求8所述可定量调节流量的风囊泵，其特征在于，所述泵头被构造出径向延伸出所述泵体的吸入管与吐出管，所述泵头内设分别连通所述吸入管与所述吐出管的进液通道与出液通道；

11.根据权利要求8所述可定量调节流量的风囊泵，其特征在于，所述泵体沿所述囊体周向配置若干组横向贯穿所述泵头的传动杆，所述传动杆与所述泵头形成滑动连接；

12.根据权利要求11所述可定量调节流量的风囊泵，其特征在于，所述导杆靠近所述囊体的一端径向向外延伸形成抵持所述端盖的传动盘，所述传动盘沿所述固定段延伸方向对应开设若干贯穿孔，所述贯穿孔数量与所述固定段数量相同，所述贯穿孔内径大于所述固定段外径。

技术总结
本发明提供了一种可定量调节流量的风囊泵，包括：具有气腔的泵体，形成于所述气腔内的囊体，以及配置于所述泵体以调节所述囊体容积的限位机构；所述限位机构包括：导引件，活动连接于所述导引件并与所述导引件围合形成限位通道的调节件，横向贯穿所述泵体并连接所述囊体的导杆；所述导引件横向设置多条刻度线，所述刻度线用于指示所述囊体所要增加或减少的容积；所述导杆部分横向延伸入所述限位通道，所述调节件沿所述导引件横向运动以调节所述限位通道长度，控制所述导杆在所述限位通道内的横向运动距离。通过本申请，实现了精准的定量增加或减少输送液体的流量。

技术研发人员：戴文海,黄兆明,华斌
受保护的技术使用者：苏州智程半导体科技股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13