一种带冷却功能的分子泵过滤保护装置的制作方法

本发明涉及分子泵，具体为一种带冷却功能的分子泵过滤保护装置。

背景技术：

1、当下随着产品工艺的不断发展，人们对真空系统的要求也越来越高，现如今已经在真空系统中采用提供更高真空压力的分子泵。常见的分子泵之所以可以提供更高的真空压力，是因为其内部用于排挤空气的转子缝隙更小，转速更快，这种设计也使得分子泵容易被由于各种原因抽进来的大颗粒卡死，所以需要对分子泵采用更加合理保护措施。

2、专利公告号为cn209838788u的专利公开了一种分子泵过滤装置，包括过滤装置本体，所述过滤装置本体上设有u型槽，所述u型槽的外环上固定连接有固定环，所述固定环用于与分子泵口法兰连接，所述u型槽的一侧内壁固定连接有若干个连接板，所述连接板连接有挡盖，所述u型槽的另一侧内壁连接有锐角折弯部。该实用新型分子泵口设置一个过滤装置，可以防止玻璃碎屑进入分子泵中，避免了分子泵的损坏，延长分子泵的使用寿命，降低了维护成本。

3、但是目前该装置还存在不足之处：该装置只是在分子泵口设置一个过滤装置，防止玻璃碎屑进入分子泵中，但是在分子泵长期工作的情况下，泵体内部会粘附脏物，长期不清理，会影响分子泵整体的使用效果和使用寿命，同时还会增加后期清洁难度和零部件更换频率，因此，我们提出了一种带冷却功能的分子泵过滤保护装置。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本发明提供了一种带冷却功能的分子泵过滤保护装置，解决了上述背景技术中提出的泵体内部会粘附脏物从而影响分子泵整体的使用效果和使用寿命问题。

2、为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种带冷却功能的分子泵过滤保护装置，包括装置主体，所述装置主体的右侧设置有管道，还包括防粘附装置、防缠绕装置防堆积装置和防堵装置，所述防粘附装置设置在装置主体内部，所述防缠绕装置设置在装置主体底部，所述防堆积装置设置在防缠绕装置两侧，所述防堵装置设置在管道右侧，所述防粘附装置包括转轴、伸缩柱、刮块，所述转轴顶部转动安装在装置主体内部上方，且转轴外侧表面固定安装有扇叶，通过外接电机输出端转动带动转轴和转轴表面扇叶转动，对装置主体内部的脏物向下吹动，防止灰尘向上飘扬进入分子泵内部从而影响分子泵正常运作，所述转轴顶部固定安装有凸块，且凸块为等距分布，所述伸缩柱底端转动安装在转轴顶部，且伸缩柱外侧表面设置有弹簧，所述刮块固定安装在扇叶外侧表面，且刮块外侧表面边缘与装置主体内壁表面接触，刮块随着扇叶转动同步转动和刮块通过扇叶的上下移动同步进行上下移动，使得对装置主体内壁的刮动范围更加广泛，使得刮除效果更好。

3、优选的，所述防粘附装置还包括固定杆和半圆块，所述固定杆顶端固定安装在装置主体内壁顶部，所述半圆块顶部与固定杆底端固定连接，且半圆块位于凸块运动轨迹上，半圆块向下移动时会压住伸缩柱同步下降，伸缩柱下降会带动转轴下降，从而带动转轴表面的扇叶同步下降，使得转轴和扇叶能够上下移动进行吹灰，使得覆盖范围更加广阔。

4、优选的，所述防缠绕装置包括圆壳、伸缩杆、方形框和刀片，所述圆壳顶部与装置主体底部固定连接，且圆壳右侧被管道左侧固定且贯穿，所述伸缩杆顶端固定安装在转轴底部表面，且伸缩杆与转轴非同圆心固定，所述方形框底部与圆壳内壁底部表面接触，且方形框左侧顶部与伸缩杆底端固定连接，若干所述刀片底部固定安装在方形框右侧顶部，转轴转动带动伸缩杆左右水平移动，伸缩杆在圆壳中进行水平移动时会带动方形框同步进行左右水平移动，方形框会对圆壳内壁底部粘附的脏物进行推动铲起，同时在方形框左右水平移动时会带动刀片同步进行左右水平移动，刀片表面为高温，刀片可以对管道中冲出的丝线或飘絮类脏物进行熔断，防止丝线缠绕在扇叶和分子泵内部造成损害。

5、优选的，所述防缠绕装置还包括加热组件、碰撞块和伸缩弹块，所述加热组件底部固定安装在方形框右侧顶部表面，且加热组件位于刀片之间，所述碰撞块左侧与方形框右侧表面固定连接，所述伸缩弹块右侧固定安装在管道左侧表面底部，且伸缩弹块位于碰撞块运动轨迹上，方形框进行左右水平移动时还会带动碰撞块同步进行左右水平移动，碰撞块在向右水平移动时会不断撞击伸缩弹块左侧表面，能够将刀片上可能缠绕的丝线或粘附的飘絮抖落，保证刀片能够长时间工作不受影响。

6、优选的，所述防堆积装置包括套环、斜杆和菱形块，所述套环固定安装在伸缩杆外侧表面上方，所述斜杆左端与套环右侧表面固定连接，所述菱形块滑动安装在方形框内部，且菱形块顶部与斜杆底端铰接，转轴上下移动带动伸缩杆进行上下移动，伸缩杆上下移动时会带动套环同步上下移动，套环上下移动时会带动斜杆左右水平移动，菱形块进行左右水平移动时会不断将方形框内部堆积的脏物向方形框两侧推动，防止脏物堆积在管道前方，从而造成堆积现象发生。

7、优选的，所述防堆积装置还包括u形架和橡胶板，所述u形架左侧底部固定安装在菱形块顶部表面，且u形架为对称分布，所述橡胶板底部与圆壳内壁顶部表面接触，且橡胶板顶部与u形架右侧底部固定连接，在菱形块进行左右水平移动时会带动u形架同步进行左右水平移动，u形架进行左右水平移动时会带动橡胶板左右水平移动，使得橡胶板与圆壳内壁底部不断摩擦使得圆壳内部产生静电，将丝线或飘絮等赃物进行吸附。

8、优选的，所述防堵装置包括方形壳、滑轨、l形杆、圆孔盘和锥形块，所述方形壳左侧与管道右侧贯穿且固定连接，所述方形壳右侧设置有圆口，且圆口表面设置有滤网，所述滑轨固定安装在方形壳内壁正面，所述l形杆左端滑动安装在滑轨内部，且l形杆左端与滑轨左端内壁之间设置有弹簧，所述圆孔盘左侧与l形杆右端固定连接，所述圆孔盘右侧表面固定安装有锥形块，且滤网位于锥形块运动轨迹上，从管道右侧传递的分子泵在工作时产生的抽力，会推动防堵装置中l形杆在方形壳内部的滑轨上向左滑动，l形杆向左滑动时会带动锥形块和圆孔盘同步向左滑动，锥形块会对圆口表面的滤网进行刺动，防止脏物堵住滤网细孔，所述防堵装置还包括t形块和方形气囊，所述t形块顶端与l形杆右侧顶部固定连接，所述方形气囊右侧固定安装在方形壳内壁右侧，且方形气囊左侧位于t形块的运动轨迹上，圆孔盘向右水平移动时会带动t形块同步向右水平移动，t形块向右水平移动时会抵触和挤压方形气囊左侧表面，方形气囊左侧表面受到抵触和挤压会向右进行收缩，从而从底部对滤网进行吹气，防止灰尘或飘絮附着在滤网表面。

9、本发明提供了一种带冷却功能的分子泵过滤保护装置。具备以下有益效果：

10、(1)、本发明通过防粘附装置的设置，通过电机、转轴、扇叶配合，使得能够对装置主体内部的脏物向下吹动，防止灰尘向上飘扬进入分子泵内部从而影响分子泵正常运作；通过转轴、凸块、半圆块，伸缩柱和刮块配合，使得转轴和扇叶能够在装置主体内部上下移动进行吹动，防止脏物粘附，还使得覆盖范围更加广阔，吹动效果更好；同时刮块随着扇叶转动同步转动，对装置主体内壁表面粘附的脏物进行刮除，保持装置主体内壁的清洁，减少后期清洁难度，同时刮块通过扇叶的上下移动同步进行上下移动，使得对装置主体内壁的刮动范围更加广泛，使得刮除效果更好。

11、(2)、本发明通过防缠绕装置的设置，通过转轴、圆壳、伸缩杆、方形框、加热组件、碰撞块、伸缩弹块和刀片配合，使得方形框能够对圆壳内壁底部粘附的脏物进行推动铲起，通过加热组件对刀片进行加热，刀片能够对管道中冲出的丝线或飘絮类脏物进行熔断，防止丝线缠绕在扇叶和分子泵内部造成损害，增加维护成本；碰撞块与伸缩弹块不断碰撞会产生振动力，从而将刀片上可能缠绕的丝线或粘附的飘絮抖落，保证刀片能够长时间工作不受影响，同时也能将管道内部粘附的脏物进行振动，防止脏物积累，从而影响分子泵正常的抽取工作。

12、(3)、本发明通过防堆积装置的设置，通过转轴、伸缩杆、套环、斜杆、菱形块、u形架和橡胶板配合，使得菱形块进行左右水平移动时会不断将方形框内部堆积的脏物向方形框两侧推动，防止脏物堆积在管道前方，从而造成堵塞现象发生；使得橡胶板不断摩擦圆壳内壁底部，橡胶板与圆壳内壁底部不断摩擦使得圆壳内部产生静电，将丝线或飘絮等赃物进行吸附，防止丝线或飘絮等赃物在分子泵内部四处飘动，对分子泵内部精密零部件造成损坏。

13、(4)、本发明通过防堵装置的设置，通过分子泵、方形壳、、滑轨、l形杆、圆孔盘、锥形块、t形块和方形气囊配合，使得当分子泵不在工作时，推力消失，l形杆通过弹簧向右形变复原的力推动向右进行水平移动，此时锥形块会对圆口表面的滤网进行刺动，防止脏物堵住滤网细孔，影响分子泵抽取风力，从而使得工作效率降低；方形气囊左侧表面受到抵触和挤压会向右进行收缩，从而从底部对滤网进行吹气，防止灰尘或飘絮附着在滤网表面，减小滤网对脏物的通过率，防止减小管道内部正常抽取风力，延缓抽取分子泵抽取速度。