一种用于输送液化后高纯电子气体的磁力齿轮泵的制作方法

本发明属于电子气体输送设备，具体涉及一种用于输送液化后高纯电子气体的磁力齿轮泵。

背景技术：

1、半导体工业用的气体统称电子气体，电子气体是电子工业领域的重要原材料之一。电子气体的品质控制主要分为两个方面，系统纯度控制以及系统密封性能的控制；而系统的密封性能，更直接关系到设备装置的稳定运行。

2、目前阶段电子气体的提纯难度大，微小的纯度差异将极大的影响产品品质，尤其是电子气体中的金属元素更要求净化至9-12级，所以对设备系统密封性能的要求尤为重要。

3、传统电子气体的输送主要以柱塞泵与隔膜压缩机为主。柱塞泵在低温液体输送应用广泛，流量可控，扬程高，容易检修，但是存在泵填料泄漏的问题，适用介质多为低温可液化的惰性气体(液氮、液氩等)，如输送液化硅烷等危险介质存在泄漏后物料爆燃的安全风险，对装置的稳定运行留下安全隐患；隔膜压缩机输送量大，运行稳定，但是存在占地面积过大，结构复杂，在低温使用工况下膜片存在易疲劳寿命低的安全问题。

4、因此，如何提供一种用于输送液化后高纯电子气体的磁力齿轮泵是本领域技术人员亟需解决的问题。

技术实现思路

1、有鉴于此，本发明提供了一种用于输送液化后高纯电子气体的磁力齿轮泵，适宜在0.1～1.6mpa压力差的工况下进行连续运行，在保证密封安全下，实现液化电子气体的低流量(2-2000l/h)的输送，减少电子气体液化后因输送过程导致的污染。

2、为了达到上述目的，本发明采用如下技术方案：一种用于输送液化后高纯电子气体的磁力齿轮泵，其包括：

3、泵体，所述泵体内同轴设有连通的齿轮腔和轴承腔，所述齿轮腔内转动连接有一对齿轮转子，所述齿轮腔对应齿轮转子转动的两侧形成有低压区和高压区，所述泵体上设有连通低压区的进液口和连通高压区的出液口；所述齿轮转子的两端均安装有轴承，所述轴承固定在对应端的轴承腔内；

4、密封垫套，所述密封垫套安装在所述齿轮转子的端部边缘并隔离所述轴承腔与齿轮腔；

5、驱动部，所述驱动部固定在所述泵体的一端，所述驱动部的输出轴连接磁性外转子和磁性内转子，所述磁性外转子与磁性内转子之间固定有承压的隔离套，所述磁性内转子与所述齿轮转子传动连接。

6、本发明的有益效果是：本发明改变原有齿轮泵的内部零件结构，加装了密封垫套，实现轴承腔与齿轮腔的隔离，另外，密封垫套有齿轮转子轴向定位的作用，利用密封垫套与齿轮转子之间的油膜形成隔离密封，磁性内外转子间设置有承压的隔离套，隔离套可以保障泵体内介质不泄漏，本发明改进轴密封机构，使用了适用低温性能的磁力隔离套密封结构与抗磨损的齿轮转子，在整机低温的条件下，保证密封性能良好，使得液化电子高纯气体得到加压计量输送，达到低流量工艺控制性能，流量控制范围在2～2000l/h。

7、优选的，所述泵体的外周侧设有冷却套，所述冷却套的内部设有冷却管路，所述冷却管路的一端为冷媒进口，另一端为冷媒出口。

8、由此产生的技术效果是：冷却套可以对泵体进行预冷作用，也能用于泵体运行过程中的温度控制，防止物料气化泵体无法吸入液化液体。

9、优选的，所述泵体上设有温度传感器。

10、由此产生的技术效果是：利用温度传感器辅助实现泵体的恒温控制。

11、优选的，所述齿轮转子包括主动齿轮轴和从动齿轮轴，所述齿轮腔包括一侧连通的主动齿轮腔和从动齿轮腔，所述主动齿轮腔和从动齿轮腔的两端均设有轴承腔，所述主动齿轮轴转动连接在所述主动齿轮腔内并与磁性内转子固连，所述从动齿轮轴转动连接在从动齿轮腔内。

12、由此产生的技术效果是：主动齿轮腔与从动齿轮腔均适应主动齿轮轴与从动齿轮轴的形状，轴承腔可以理解为齿轮腔的端部部分，使得轴承和齿轮转子装配方便。

13、优选的，所述主动齿轮轴的中部设有主动齿轮，所述从动齿轮轴的中部设有适配啮合主动齿轮的从动齿轮，所述主动齿轮与从动齿轮上均设有特氟龙涂层。

14、由此产生的技术效果是：主动齿轮与从动齿轮带有特氟龙涂层，会减少齿轮运行的磨损，减少对物料的污染，延长使用寿命。

15、优选的，所述泵体的一端固定连接有前端盖，所述泵体的另一端固定有后压盖，所述驱动部靠近后压盖的一端固定有连接筒座，所述后压盖与所述连接筒座之间固定连接有过渡转接盘；所述后压盖上设有避位主动齿轮轴的轴孔。

技术特征：

1.一种用于输送液化后高纯电子气体的磁力齿轮泵，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种用于输送液化后高纯电子气体的磁力齿轮泵，其特征在于，所述泵体(7)的外周侧设有冷却套(15)，所述冷却套(15)的内部设有冷却管路，所述冷却管路的一端为冷媒进口(18)，另一端为冷媒出口(19)。

3.根据权利要求2所述的一种用于输送液化后高纯电子气体的磁力齿轮泵，其特征在于，所述泵体(7)上设有温度传感器。

4.根据权利要求1所述的一种用于输送液化后高纯电子气体的磁力齿轮泵，其特征在于，所述齿轮转子包括主动齿轮轴(1)和从动齿轮轴(2)，所述齿轮腔包括一侧连通的主动齿轮腔和从动齿轮腔，所述主动齿轮腔和从动齿轮腔的两端均设有轴承腔，所述主动齿轮轴(1)转动连接在所述主动齿轮腔内并与磁性内转子固连，所述从动齿轮轴(2)转动连接在从动齿轮腔内。

5.根据权利要求4所述的一种用于输送液化后高纯电子气体的磁力齿轮泵，其特征在于，所述主动齿轮轴(1)的中部设有主动齿轮，所述从动齿轮轴(2)的中部设有适配啮合主动齿轮的从动齿轮，所述主动齿轮与从动齿轮上均设有特氟龙涂层。

6.根据权利要求5所述的一种用于输送液化后高纯电子气体的磁力齿轮泵，其特征在于，所述泵体(7)的一端固定连接有前端盖(3)，所述泵体(7)的另一端固定有后压盖(13)，所述驱动部(14)靠近后压盖(13)的一端固定有连接筒座(12)，所述后压盖(13)与所述连接筒座(12)之间固定连接有过渡转接盘(8)；所述后压盖(13)上设有避位主动齿轮轴(1)的轴孔。

技术总结
本发明公开了一种用于输送液化后高纯电子气体的磁力齿轮泵，其包括：泵体，泵体内同轴设有连通的齿轮腔和轴承腔，齿轮腔内转动连接有一对齿轮转子，齿轮腔对应齿轮转子转动的两侧形成有低压区和高压区，泵体上设有连通低压区的进液口和连通高压区的出液口；齿轮转子的两端均安装有轴承，轴承固定在对应端的轴承腔内；密封垫套安装在齿轮转子的端部边缘并隔离所述轴承腔与齿轮腔，驱动部，驱动部固定在泵体的一端，驱动部的输出轴连接磁性外转子和磁性内转子，磁性外转子与磁性内转子之间固定有承压的隔离套，磁性内转子与齿轮转子传动连接，本发明在现有齿轮计量泵的基础上，改进轴密封机构，在整机低温的条件下，保证密封性能良好，安全性能高。

技术研发人员：杜晓辉,侯龙,戚渊,王小雨,周新军,陶巧强
受保护的技术使用者：内蒙古兴洋科技股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15