一种高密封性涡旋真空泵的制作方法

本技术属于真空泵，具体而言，涉及一种高密封性涡旋真空泵。

背景技术：

1、泄露率：是指单位时间内通过主密封和辅助密封泄漏的流体总量，是评价机械密封性能的一个重要指标。

2、涡旋式真空泵是基于涡旋排气原理且具备抽空性能的干式真空泵，其主要由电机、旋转曲轴、动盘轴承、动涡盘、定涡盘、气镇阀、泵体外壳、电控部件等组成。为了保证真空泵的极限真空度及整机密封性，现有的涡旋真空泵均会在电机与旋转曲轴的直接连接处设置旋转动密封结构，并在泵体的其余3处设置边界静密封结构。目前国内及国外真空泵的旋转动密封结构和边界静密封结构均为氟橡胶圈，而在此种密封方式下，一般情况下真空泵的整体漏率最高为5×10-8pa.m3/s，即使国内及国外市场整机漏率水平最高的爱德华xds系列涡旋真空泵的漏率也只能达到1×10-7pa.m3/s(1x10-6mbar.l/s)。因此，对于有更高泄露率要求的情况下，现有的涡旋式真空泵则不能满足使用需求；同时，氟橡胶圈为聚四氟乙烯材料，高温300℃以上工作环境会造成及材料老化，低温-20℃工作环境下其弹性及透气性能均降低，即氟橡胶圈的耐高温及耐寒性较差，在温度超过300℃或低于-20℃的工作环境下密封性能大大下降，进而造成涡旋式真空泵整机漏率水平的下降。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种高密封性涡旋真空泵，通过将电机输出端与旋转曲轴之间连接改为磁耦合驱动方式，省略了电机与旋转曲轴连接处的旋转动密封，同时，将泵体上的氟橡胶圈静密封全部采用金属cf法兰静密封，使本实用新型在保证抽空性能的同时使整机泄露率降低至1×10-12pa.m3/s量级，使本实用新型可适用于高密封性、低泄漏工作需求场合。

2、为实现本实用新型目的，采用的技术方案为：一种高密封性涡旋真空泵，包括电机、泵体外壳、旋转曲轴、动涡盘、定涡盘；所述泵体外壳包括前端盖、壳体和后端盖，旋转曲轴转动安装在壳体内，旋转曲轴输入端安装有磁耦合从动盘，电机输出端安装有与磁耦合从动盘耦合传动的磁耦合主动盘，且动涡盘安装在旋转曲轴输出端，定涡盘安装在后端盖内并与动涡盘对应设置；所述前端盖与壳体之间、壳体与后端盖之间均通过cf法兰密封连接。

3、进一步的，所述前端盖的后端面、壳体的前后端面、后端盖的前端面具有法兰环，前端盖上的法兰环与壳体前端面的法兰环之间、壳体后端面的法兰环与后端盖上的法兰环之间均设有金属垫圈，且前端盖上的法兰环与壳体前端面的法兰环之间、壳体后端面的法兰环与后端盖上的法兰环之间均通过紧固螺钉锁紧固定。

4、进一步的，所述金属垫圈为铜垫圈。

5、进一步的，还包括两个支座，电机和泵体外壳分别安装在两个支座上。

6、进一步的，所述壳体内还安装有多个轴承，旋转曲轴共同安装在多个轴承上。

7、进一步的，所述动涡盘与定涡盘间隙配合。

8、进一步的，所述泵体外壳上还安装有气镇阀。

9、本实用新型的有益效果是：

10、本实用新型中的电机与旋转曲轴通过磁耦合方式传动，省略了电机与旋转曲轴连接处的旋转动密封；同时，将泵体上的氟橡胶圈静密封全部采用金属cf法兰静密封，使本实用新型在保证抽空性能的同时使整机泄露率降低至1×10-12pa.m3/s量级，使本实用新型可适用于高密封性、低泄漏工作需求场合。

11、通过采用铜垫圈作为金属垫圈，不仅具备良好的耐高温及耐低温性能，且使泵体外壳的密封部位可承受高温烘烤，使无论高温或者是低温环境对其整机泄露率的影响均较小，密封稳定性显著于常规氟橡胶圈的密封。

技术特征：

1.一种高密封性涡旋真空泵，其特征在于，包括电机(1)、泵体外壳(2)、旋转曲轴(3)、动涡盘(4)、定涡盘(5)；所述泵体外壳(2)包括前端盖(21)、壳体(22)和后端盖(23)，旋转曲轴(3)转动安装在壳体(22)内，旋转曲轴(3)输入端安装有磁耦合从动盘(7)，电机(1)输出端安装有与磁耦合从动盘(7)耦合传动的磁耦合主动盘(6)，且动涡盘(4)安装在旋转曲轴(3)输出端，定涡盘(5)安装在后端盖(23)内并与动涡盘(4)对应设置；所述前端盖(21)与壳体(22)之间、壳体(22)与后端盖(23)之间均通过cf法兰密封连接。

2.根据权利要求1所述的高密封性涡旋真空泵，其特征在于，所述前端盖(21)的后端面、壳体(22)的前后端面、后端盖(23)的前端面具有法兰环(24)，前端盖(21)上的法兰环(24)与壳体(22)前端面的法兰环(24)之间、壳体(22)后端面的法兰环(24)与后端盖(23)上的法兰环(24)之间均设有金属垫圈(8)，且前端盖(21)上的法兰环(24)与壳体(22)前端面的法兰环(24)之间、壳体(22)后端面的法兰环(24)与后端盖(23)上的法兰环(24)之间均通过紧固螺钉锁紧固定。

3.根据权利要求2所述的高密封性涡旋真空泵，其特征在于，所述金属垫圈(8)为铜垫圈。

4.根据权利要求1或2或3所述的高密封性涡旋真空泵，其特征在于，还包括两个支座(9)，电机(1)和泵体外壳(2)分别安装在两个支座(9)上。

5.根据权利要求1或2或3所述的高密封性涡旋真空泵，其特征在于，所述壳体(22)内还安装有多个轴承，旋转曲轴(3)共同安装在多个轴承上。

6.根据权利要求1或2或3所述的高密封性涡旋真空泵，其特征在于，所述动涡盘(4)与定涡盘(5)间隙配合。

7.根据权利要求1或2或3所述的高密封性涡旋真空泵，其特征在于，所述泵体外壳(2)上还安装有气镇阀。

技术总结
本技术公开了一种高密封性涡旋真空泵,属于真空泵技术领域，包括电机、泵体外壳、旋转曲轴、动涡盘、定涡盘；所述泵体外壳包括前端盖、壳体和后端盖，旋转曲轴转动安装在壳体内，旋转曲轴输入端安装有磁耦合从动盘，电机输出端安装有与磁耦合从动盘耦合传动的磁耦合主动盘，且动涡盘安装在旋转曲轴输出端，定涡盘安装在后端盖内并与动涡盘对应设置；所述前端盖与壳体之间、壳体与后端盖之间均通过CF法兰密封连接。本技术通过将电机输出端与旋转曲轴之间连接改为磁耦合驱动方式，并采用金属CF法兰静密封，使本技术在保证抽空性能的同时使整机泄露率降低至1×10<supgt;‑12</supgt;Pa.m3/s量级，使本技术可适用于高密封性、低泄漏工作需求场合。

技术研发人员：王焜,罗维祯,任元国,林红
受保护的技术使用者：成都国光电气股份有限公司
技术研发日：20230214
技术公布日：2024/1/12