一种具有防尘结构的隔离装置的制作方法

本技术涉及防尘转子，具体为一种具有防尘结构的隔离装置。

背景技术：

1、半导体制造领域中，需要采用多种半导体加工设备完成半导体的生产，而至少部分加工设备需要利用分子泵，使设备内部形成一个稳定的真空状态，现有的分子泵在运作时，导致内外气压具有一定差值，外界气压会通过散热孔进入分子泵内部，导致灰尘进入分子泵内部，造成分子泵损坏。

2、如公开号cn219081902u公开的一种分子泵防尘转子，该装置通过在泵体内部设置有散热孔进行通风并通过设置有过滤网对灰尘进行阻挡，并且通过将底盖安装在安装槽内，从而能够使插杆插在插槽内，然后通过卡块将底盖安装在泵体内，从而能够将过滤网进行拆卸更换。

3、但是该防尘装置在使用时实用性较差，首先该装置虽然是将底盖安装在安装槽内，然后通过卡块将底盖安装在泵体内，但是此时过滤网是滑动连接在泵体内部的，这就导致在后续拆卸时较为麻烦，从而影响该装置进行拆卸维护；鉴于此，我们提出一种具有防尘结构的隔离装置。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种具有防尘结构的隔离装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种具有防尘结构的隔离装置，包括泵体，所述泵体内部设置有套筒，所述套筒上端设置有磁浮悬电机，所述泵体内壁设置有过滤网，所述泵体内部开设有散热孔，所述泵体内部设置有调节装置，所述调节装置包括：

3、槽口，所述槽口开设在过滤网两侧侧壁，所述槽口内壁固定连接支撑弹簧一端，所述支撑弹簧另一端固定连接滑动板，所述滑动板远离支撑弹簧的一端固定连接卡块，所述泵体内壁两侧均开设有卡槽，所述泵体两侧侧壁均固定安装有挤压弹簧一端，所述挤压弹簧另一端内壁固定安装有移动杆，所述移动杆一端贯穿卡槽，所述移动杆另一端固定连接按压板；

4、遮挡装置，所述遮挡装置设置在泵体内部。

5、优选的，所述遮挡装置包括滑槽，所述滑槽开设在泵体内壁两侧，所述滑槽上下内壁固定安装有滑动杆，所述滑动杆表面滑动连接有滑动块，所述滑动块侧壁固定安装有连接块一端，所述连接块另一端下侧固定安装有挡板。

6、优选的，所述挡板和散热孔相适配。

7、优选的，所述移动杆位于卡槽内部的一端与卡块表面相接触。

8、优选的，所述卡块长度与槽口深度相适配。

9、优选的，所述挡板与泵体内壁相接触。

10、与现有技术相比，本实用新型提供了一种具有防尘结构的隔离装置，具备以下有益效果：

11、1、该具有防尘结构的隔离装置通过设置了调节装置从而方便做到对过滤网进行拆卸维护，使用者可以通过向内按压按压板使移动杆向泵体内部进行移动，移动杆向内移动对卡块进行挤压使其进入槽口内部从而做到解除卡块和卡槽的卡接，然后使用者将过滤网倾斜拿出即可。

12、2、该具有防尘结构的隔离装置通过设置了遮挡装置从而方便做到对散热孔进行遮挡，当泵体运作时会导致内外气压具有一定差值，从而能够通过外界气压挤压使挡板向上移动并漏出散热孔从而方便进行散热工作。

技术特征：

1.一种具有防尘结构的隔离装置，包括泵体(1)，所述泵体(1)内部设置有套筒(2)，所述套筒(2)上端设置有磁浮悬电机，所述泵体(1)内壁设置有过滤网(4)，所述泵体(1)内部开设有散热孔(5)，其特征在于：所述泵体(1)内部设置有调节装置(6)，所述调节装置(6)包括：

2.根据权利要求1所述的一种具有防尘结构的隔离装置，其特征在于：所述遮挡装置(7)包括滑槽(71)，所述滑槽(71)开设在泵体(1)内壁两侧，所述滑槽(71)上下内壁固定安装有滑动杆(72)，所述滑动杆(72)表面滑动连接有滑动块(73)，所述滑动块(73)侧壁固定安装有连接块(74)一端，所述连接块(74)另一端下侧固定安装有挡板(75)。

3.根据权利要求2所述的一种具有防尘结构的隔离装置，其特征在于：所述挡板(75)和散热孔(5)相适配。

4.根据权利要求1所述的一种具有防尘结构的隔离装置，其特征在于：所述移动杆(67)位于卡槽(65)内部的一端与卡块(64)表面相接触。

5.根据权利要求1所述的一种具有防尘结构的隔离装置，其特征在于：所述卡块(64)长度与槽口(61)深度相适配。

6.根据权利要求2所述的一种具有防尘结构的隔离装置，其特征在于：所述挡板(75)与泵体(1)内壁相接触。

技术总结
本技术涉及防尘转子技术领域，且公开了一种具有防尘结构的隔离装置，包括泵体，泵体内部设置有套筒，套筒上端设置有磁浮悬电机，泵体内壁设置有过滤网，泵体内部开设有散热孔，泵体内部设置有调节装置，调节装置包括：槽口、支撑弹簧、滑动板、卡块、卡槽、挤压弹簧、移动杆、按压板、遮挡装置，移动杆一端贯穿卡槽，移动杆另一端固定连接按压板，通过设置了调节装置从而方便做到对过滤网进行拆卸维护，使用者可以通过向内按压按压板使移动杆向泵体内部进行移动，移动杆向内移动对卡块进行挤压使其进入槽口内部从而做到解除卡块和卡槽的卡接，然后使用者将过滤网倾斜拿出即可。

技术研发人员：王占杰
受保护的技术使用者：上海富玖帕精密设备有限公司
技术研发日：20230608
技术公布日：2024/1/15