压电陶瓷泵的制作方法

本申请涉及流体泵，尤其涉及一种压电陶瓷泵。

背景技术：

1、目前已有的无阀压电陶瓷泵主要是利用mems(microelectromechanicalsystems，微机电加工)技术在泵体的两侧或同一侧加工出扩张型和收缩型的通孔，或加工出具有特斯拉阀作用的流道结构。其中，隔膜振动使得泵腔体积变大时，进口侧进入泵腔的流量大于出口侧进入泵腔的流量；隔膜振动使得泵腔体积变小时，进口侧流出泵腔的流量小于出口侧流出泵腔的流量；从而，利用两个口的流量差可实现泵送流体的单向迁移。

2、但是，这种压电陶瓷泵中流体的流动很紊乱，导致其效率不高。

技术实现思路

1、本申请提供的压电陶瓷泵，旨在解决流体流速不稳定性的问题。

2、为解决上述技术问题，本申请采用的一个技术方案是：提供一种压电陶瓷泵。压电陶瓷泵包括基座、至少两个叠置的环形压电陶瓷片、压罩和隔膜片。基座包括基体和延伸部，延伸部自基体向外凸伸设置，基体和延伸部内部中空且相互贯通形成第一通孔，第一通孔用于提供流体通道。至少两个叠置的环形压电陶瓷片环绕于延伸部的外侧。环形压电陶瓷片具有第一侧和第二侧，环形压电陶瓷片的第一侧和第二侧各设置有一个电极片。压罩与延伸部连接，至少两个环形压电陶瓷片被夹持在基体和压罩之间。隔膜片开设有节流孔，保持于压罩或者基座的延伸部上，隔膜片上开设有多个供液体流经的节流孔。节流孔具有开口和收口，开口朝向第一通孔，收口背离第一通孔，开口的横截面积大于收口的横截面积。

3、在一些实施例中，隔膜片基本平行于环形压电陶瓷片布置。

4、在一些实施例中，压罩内部开设有第二通孔，第一通孔和第二通孔连通，隔膜片设置于压罩远离基座的一端且覆盖第二通孔。

5、在一些实施例中，至少两个环形压电陶瓷片的数量为偶数；和/或，压电陶瓷泵还包括绝缘层。绝缘层位于延伸部和至少两个环形压电陶瓷片之间，以使得延伸部和至少两个环形压电陶瓷片被绝缘。

6、在一些实施例中，基座还包括进液管部，进液管部连接于基体远离延伸部的一端，进液管部的通道与第一通孔连通。

7、在一些实施例中，基体的周向外侧设置有防滑结构；和/或，压罩的周向外侧设置有防滑结构。

8、在一些实施例中，延伸部包括依次首尾连接的第一部分和第二部分；至少两个环形压电陶瓷片位于第一部分的外周，压罩的内周套设于第二部分的外周。

9、在一些实施例中，电极片沿径向外侧延伸有焊脚。

10、在一些实施例中，绝缘层沿其轴向的长度大于或等于至少两个环形压电陶瓷片的总厚度。

11、在一些实施例中，压罩包括相互连接的第一段和第二段。第一段设置有内螺纹，延伸部设置有与内螺纹对应的外螺纹，以使得压罩和延伸部通过内螺纹和外螺纹连接。

12、在一些实施例中，压罩的第二通孔内形成有沿径向的止挡面；和/或，第二段的远离第一段的端面为环形平面，用于支撑隔膜片。

13、在一些实施例中，多个节流孔的数量为多个，且沿隔膜片的径向呈放射状布置。

14、在一些实施例中，压电陶瓷泵还包括输出接头。输出接头连接于压罩，且输出接头开设有与节流孔的收口连通的出雾通道。

15、本申请实施例的有益效果：区别于现有技术，本申请实施例提供的压电陶瓷泵包括基座、至少两个环形压电陶瓷片、压罩和隔膜片。基座形成第一通孔，第一通孔用于提供流体通道。至少两个环形压电陶瓷片被夹持在基体和压罩之间。隔膜片开设有节流孔，且隔膜片保持于压罩或者基座的延伸部上。节流孔具有开口和收口，开口朝向第一通孔，收口背离第一通孔，开口的横截面积大于收口的横截面积。本申请提供的压电陶瓷泵充分利用压罩聚能和放大振幅的特点，隔膜片的受迫振动将使流体不断通过隔膜片的节流孔朝向背离第一通孔的方向流动。本申请提供的压电陶瓷泵能够提高流体流速的稳定性和一致性。

技术特征：

1.一种压电陶瓷泵，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的压电陶瓷泵，其特征在于，所述隔膜片基本平行于所述环形压电陶瓷片布置。

3.如权利要求1所述的压电陶瓷泵，其特征在于，所述压罩内部开设有第二通孔，所述第一通孔和第二通孔连通，所述隔膜片设置于所述压罩远离所述基座的一端且覆盖所述第二通孔。

4.如权利要求1所述的压电陶瓷泵，其特征在于，

5.如权利要求1所述的压电陶瓷泵，其特征在于，

6.如权利要求1所述的压电陶瓷泵，其特征在于，

7.如权利要求1所述的压电陶瓷泵，其特征在于，

8.如权利要求4所述的压电陶瓷泵，其特征在于，

9.如权利要求3所述的压电陶瓷泵，其特征在于，

10.如权利要求9所述的压电陶瓷泵，其特征在于，

11.如权利要求1-10中任一项所述的压电陶瓷泵，其特征在于，

12.如权利要求1-10中任一项所述的压电陶瓷泵，其特征在于，还包括：

技术总结
本申请涉及流体泵技术领域，提供一种压电陶瓷泵，其包括基座、至少两个叠置的环形压电陶瓷片、压罩和隔膜片。基座包括基体和延伸部，基体和延伸部相互贯通形成第一通孔。至少两个环形压电陶瓷片环绕于延伸部的外侧。环形压电陶瓷片的第一侧和第二侧各设置有一个电极片。压罩与延伸部连接。至少两个环形压电陶瓷片被夹持在基体和压罩之间。隔膜片保持于压罩或者基座的延伸部上，且开设有节流孔，其开口朝向第一通孔，其收口背离第一通孔。该压电陶瓷泵能够提高流体流速的稳定性和一致性。

技术研发人员：卢志明,胡瑞龙,李永海,徐中立
受保护的技术使用者：深圳市合元科技有限公司
技术研发日：20230615
技术公布日：2024/1/15