一种扩散泵观察窗和扩散泵的制作方法

本技术涉及油扩散泵领域，具体涉及一种扩散泵观察窗和扩散泵。

背景技术：

1、油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵，这种泵的极限真空为10-4～10-5帕，工作压力范围为10-1～10-4帕，抽速范围为几十至十几万升/秒(1升＝10-3米3)。在真空镀膜过程中，需要使用真空泵对真空镀膜设备的腔室内进行抽真空，油扩散泵通常做为后级泵对真空设备进行抽气。

2、为了方便观察扩散泵的情况，通常在扩散泵上设置观察窗，在观察窗中安装油镜，然后安装观察窗压盖，固定好油镜。现有的扩散泵在使用过程中，容易出现以下问题：(1)油镜安装在油镜座中容易发生滑动；(2)油镜的密封性不好；(3)观察窗压盖不能够紧密地安装在观察窗上，容易出现漏油。

3、综上所述，现有技术中存在以下问题：现有的扩散泵观察窗和压盖固定不紧，导致油镜发生滑动密封性不好，容易漏油。

技术实现思路

1、本实用新型提供一种扩散泵观察窗和扩散泵，以解决上述现有技术中存在的扩散泵观察窗和压盖固定不紧，导致油镜发生滑动密封性不好，容易出现漏油的问题。

2、为此，本实用新型提出一种扩散泵观察窗和扩散泵，采用如下技术方案：

3、一种扩散泵观察窗，包括位于同一竖直平面上的观察窗座、油镜和压盖，所述观察窗座和所述压盖平行设置，所述油镜设于所述观察窗座和所述压盖之间；所述扩散泵观察窗还包括能将所述观察窗座和所述压盖固定夹紧的夹紧机构，所述夹紧机构设于所述扩散泵观察窗的顶部和底部，所述夹紧机构的两端分别与所述观察窗座和所述压盖连接。

4、进一步地，所述夹紧机构包括排列在同一条直线上的左卡接块和右卡接块。

5、进一步地，所述左卡接块的侧面设有第一凸起，所述右卡接块的侧面设有第二凸起，所述第一凸起与所述观察窗座连接，所述第二凸起和所述压盖连接。

6、进一步地，所述第一凸起和所述第二凸起均为矩形或半圆形。

7、进一步地，所述观察窗座上开设有与所述第一凸起匹配的第一凹槽，所述压盖上开设有与所述第二凸起匹配的第二凹槽。

8、进一步地，所述观察窗座上设置有第一安装槽，所述压盖上设置有第二安装槽，所述油镜安装于所述第一安装槽和所述第二安装槽之间。

9、进一步地，所述观察窗座一侧设有进油管和出油管，所述观察窗座还包括与所述进油管和所述出油管连通并设在所述观察窗座中部的油腔，所述油腔与所述油镜连接。

10、进一步地，所述第一安装槽内设置有第一垫圈，所述第二安装槽内设置有第二垫圈，所述压盖中央设有与所述油镜连接的观察孔，所述第一垫圈设于所述油腔和所述油镜连接的角部缝隙处，所述第二垫圈设于所述油镜与所述观察孔连接的角部缝隙处。

11、进一步地，所述夹紧机构还包括穿设于所述左卡接块和所述右卡接块中的紧固件。

12、本实用新型还提供一种扩散泵，包括上述说明中任意一项所述的扩散泵观察窗。

13、与现有技术比，本实用新型具有如下有益效果：扩散泵观察窗上设有观察窗座和压盖，通过将观察窗座和压盖上设置夹紧机构来实现对观察窗座和压盖的固定夹紧，以便油镜与观察窗座和压盖之间的连接更加紧密和稳定，避免出现泵油泄露的情况。所述夹紧机构设于所述扩散泵观察窗的顶部和底部以保证扩散观察窗的顶部和底部同时被夹紧机构夹紧，所述夹紧机构的两端分别与所述观察窗座和所述压盖连接，以便对扩散观察窗实现双侧夹紧，固定压盖和观察窗座，防止油镜滑动出现漏油。

技术特征：

1.一种扩散泵观察窗，其特征在于，所述扩散泵观察窗包括位于同一竖直平面上的观察窗座(1)、油镜(2)和压盖(3)，所述观察窗座(1)和所述压盖(3)平行设置，所述油镜(2)设于所述观察窗座(1)和所述压盖(3)之间；所述扩散泵观察窗还包括能将所述观察窗座(1)和所述压盖(3)固定夹紧的夹紧机构(4)，所述夹紧机构(4)设于所述扩散泵观察窗的顶部和底部，所述夹紧机构(4)的两端分别与所述观察窗座(1)和所述压盖(3)连接。

2.根据权利要求1所述的一种扩散泵观察窗，其特征在于，所述夹紧机构(4)包括排列在同一条直线上的左卡接块(5)和右卡接块(6)。

3.根据权利要求2所述的一种扩散泵观察窗，其特征在于，所述左卡接块(5)的侧面设有第一凸起(7)，所述右卡接块(6)的侧面设有第二凸起(8)，所述第一凸起(7)与所述观察窗座(1)连接，所述第二凸起(8)和所述压盖(3)连接。

4.根据权利要求3所述的一种扩散泵观察窗，其特征在于，所述第一凸起(7)和所述第二凸起(8)均为矩形或半圆形。

5.根据权利要求3所述的一种扩散泵观察窗，其特征在于，所述观察窗座(1)上开设有与所述第一凸起(7)匹配的第一凹槽(9)，所述压盖(3)上开设有与所述第二凸起(8)匹配的第二凹槽(10)。

6.根据权利要求1所述的一种扩散泵观察窗，其特征在于，所述观察窗座(1)上设置有第一安装槽(11)，所述压盖(3)上设置有第二安装槽(12)，所述油镜(2)安装于所述第一安装槽(11)和所述第二安装槽(12)之间。

7.根据权利要求6所述的一种扩散泵观察窗，其特征在于，所述观察窗座(1)一侧设有进油管(13)和出油管(14)，所述观察窗座(1)还包括与所述进油管(13)和所述出油管(14)连通并设在所述观察窗座(1)中部的油腔(15)，所述油腔(15)与所述油镜(2)连接。

8.根据权利要求7所述的一种扩散泵观察窗，其特征在于，所述第一安装槽(11)内设置有第一垫圈(16)，所述第二安装槽(12)内设置有第二垫圈(17)，所述压盖(3)中央设有与所述油镜(2)连接的观察孔(18)，所述第一垫圈(16)设于所述油腔(15)和所述油镜(2)连接的角部缝隙处，所述第二垫圈(17)设于所述油镜(2)与所述观察孔(18)连接的角部缝隙处。

9.根据权利要求2所述的一种扩散泵观察窗，其特征在于，所述夹紧机构(4)还包括穿设于所述左卡接块(5)和所述右卡接块(6)中的紧固件(19)。

10.一种扩散泵，其特征在于，包括权利要求1-9任意一项所述的扩散泵观察窗。

技术总结
本技术提供了一种扩散泵观察窗和扩散泵，所述扩散泵观察窗包括位于同一竖直平面上的观察窗座、油镜和压盖，所述油镜设于所述观察窗座和所述压盖之间；所述扩散泵观察窗还包括能将所述观察窗座和所述压盖固定夹紧的夹紧机构，解决了现有技术中存在的扩散泵观察窗和压盖之间固定不紧，容易出现漏油的问题。

技术研发人员：臧世伟,刘文卿
受保护的技术使用者：深圳金美新材料科技有限公司
技术研发日：20230707
技术公布日：2024/3/12