一种抽真空装置的制作方法

本技术涉及抽真空，具体涉及一种抽真空装置。

背景技术：

1、在抽真空技术领域中，如何提高对于密闭腔体的抽真空效率，一直是行业研究的重点。为了提高抽真空效率，授权公告号为cn212867906u的中国专利公开了一种抽气量大的高效水环真空泵，该真空泵包括泵体、泵盖和电机，电机安装在泵体的左侧，泵盖安装在泵体的右侧，泵盖的顶部固定连接有进气口和出气口，进气口和出气口分别安装在泵盖顶部的前后两端，进气口横截面的形状为长方形，出气口的形状为圆柱形，进气口的顶部安装有涡轮增压器。该方案通过在进气口的顶部安装涡轮增压器，以及将进气口的横截面形状改为长方形，增大了进气量，提高从抽真空的效率。但上述真空泵需要为增加的涡轮增压器提供动力，能耗增加多。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是提供一种抽真空装置，用于解决现有技术中提高抽真空效率的同时增加能耗多的问题。

2、根据第一方面，一种实施例中提供一种抽真空装置，包括：

3、真空泵，所述真空泵具有真空泵进气口和真空泵出气口；

4、涡轮增压器，所述涡轮增压器包括涡轮腔、压气腔、处于所述涡轮腔中的涡轮和处于所述压气腔中的压气轮，所述涡轮与所述压气轮同轴布置，所述压气轮由所述涡轮带动旋转；所述涡轮腔具有废气进口和废气出口，所述压气腔具有压气腔进口和压气腔出口；

5、所述真空泵出气口与所述废气进口连接，以使所述真空泵出气口排出的废气进入所述涡轮腔中驱动所述涡轮运转后从所述废气出口排出；所述压气腔进口用于与待抽真空腔体连接，以在所述压气轮被所述涡轮带动运转后，能够从待抽真空腔体中抽气；所述压气腔出口与所述真空泵进气口连接，用于使进入所述压气腔的气体被压缩后通过所述真空泵进气口进入所述真空泵。

6、进一步的，一种实施例中，所述抽真空装置还包括消音器，所述消音器连接在所述真空泵出气口与所述废气进口之间。

7、进一步的，一种实施例中，所述抽真空装置还包括冷却器，所述冷却器连接在所述压气腔出口与所述真空泵进气口之间。

8、更进一步的，一种实施例中，所述冷却器具有冷却器进气口，所述冷却器包括设于所述冷却器进气口处的冷却器过滤网，所述冷却器过滤网用于过滤进入所述冷却器的气体。

9、更进一步的，一种实施例中，在所述涡轮的轴向上，所述涡轮增压器布置在所述冷却器与所述真空泵之间，所述压气腔出口背向所述真空泵并朝向所述冷却器。

10、进一步的，一种实施例中，所述抽真空装置还包括过滤器，所述过滤器连接在所述压气腔进口的上游，用于过滤进入所述压气腔的气体。

11、进一步的，一种实施例中，所述真空泵为螺杆真空泵，所述螺杆真空泵包括壳体和能够相对所述壳体转动的转子，所述转子包括转轴和配置在所述转轴外周的螺旋齿，所述螺旋齿环绕所述转子的轴线螺旋延伸，所述螺旋齿的外缘设有螺旋槽，所述螺旋槽随着所述螺旋齿的延伸方向环绕所述转子的轴线螺旋延伸；所述螺杆真空泵包括金属密封条，所述金属密封条配置在所述螺旋槽中，所述金属密封条的热膨胀系数大于所述转子的热膨胀系数。

12、进一步的，一种实施例中，所述螺旋槽具有与所述螺旋槽的槽底相对的槽口，所述槽口背向该槽口所在转子的轴线；所述金属密封条的一部分在受热膨胀前处于所述螺旋槽内且在受热膨胀后从所述槽口膨出所述螺旋槽外。

13、进一步的，一种实施例中，所述槽口为缩口或扩口。

14、进一步的，一种实施例中，所述金属密封条可拆卸安装在所述螺旋槽中，或者所述金属密封条的熔点小于所述螺旋槽的槽壁的熔点，所述金属密封条热熔在所述螺旋槽内。

15、根据上述实施例的抽真空装置，真空泵出气口与涡轮增压器的废气进口连接，真空泵排出的废气进入涡轮增压器中，驱动涡轮旋转，进而通过涡轮带动压气轮旋转，压气轮旋转时能够对待抽真空腔体抽气，由于压气轮能够增大气体压力和流量，通过压气腔处理的气体进入真空泵提高了真空泵的抽真空效率，同时无需增加动力驱动涡轮增压器，减少了抽真空装置的能耗。综上分析，本申请利用真空泵排出的废气驱动涡轮增压器，减少了能耗，同时能够增大了真空泵进气口在单位时间内的进气量，增大了通过真空泵进气口进入真空泵的气体压力，提高了对待抽真空腔体的抽气速度。

技术特征：

1.一种抽真空装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的抽真空装置，其特征在于，所述抽真空装置还包括消音器，所述消音器连接在所述真空泵出气口与所述废气进口之间。

3.如权利要求1所述的抽真空装置，其特征在于，所述抽真空装置还包括冷却器，所述冷却器连接在所述压气腔出口与所述真空泵进气口之间。

4.如权利要求3所述的抽真空装置，其特征在于，所述冷却器具有冷却器进气口，所述冷却器包括设于所述冷却器进气口处的冷却器过滤网，所述冷却器过滤网用于过滤进入所述冷却器的气体。

5.如权利要求3所述的抽真空装置，其特征在于，在所述涡轮的轴向上，所述涡轮增压器布置在所述冷却器与所述真空泵之间，所述压气腔出口背向所述真空泵并朝向所述冷却器。

6.如权利要求1所述的抽真空装置，其特征在于，所述抽真空装置还包括过滤器，所述过滤器连接在所述压气腔进口的上游，用于过滤进入所述压气腔的气体。

7.如权利要求1-6任意一项所述的抽真空装置，其特征在于，所述真空泵为螺杆真空泵，所述螺杆真空泵包括壳体和能够相对所述壳体转动的转子，所述转子包括转轴和配置在所述转轴外周的螺旋齿，所述螺旋齿环绕所述转子的轴线螺旋延伸，所述螺旋齿的外缘设有螺旋槽，所述螺旋槽随着所述螺旋齿的延伸方向环绕所述转子的轴线螺旋延伸；所述螺杆真空泵包括金属密封条，所述金属密封条配置在所述螺旋槽中，所述金属密封条的热膨胀系数大于所述转子的热膨胀系数。

8.如权利要求7所述的抽真空装置，其特征在于，所述螺旋槽具有与所述螺旋槽的槽底相对的槽口，所述槽口背向该槽口所在转子的轴线；所述金属密封条的一部分在受热膨胀前处于所述螺旋槽内且在受热膨胀后从所述槽口膨出所述螺旋槽外。

9.如权利要求8所述的抽真空装置，其特征在于，所述槽口为缩口或扩口。

10.如权利要求7所述的抽真空装置，其特征在于，所述金属密封条可拆卸安装在所述螺旋槽中，或者所述金属密封条的熔点小于所述螺旋槽的槽壁的熔点，所述金属密封条热熔在所述螺旋槽内。

技术总结
本技术涉及抽真空技术领域，具体涉及一种抽真空装置。真空泵出气口与涡轮增压器的废气进口连接，真空泵排出的废气进入涡轮增压器中，驱动涡轮旋转，进而通过涡轮带动压气轮旋转，压气轮旋转时能够对待抽真空腔体抽气，由于压气轮能够增大气体压力和流量，通过压气腔处理的气体进入真空泵提高了真空泵的抽真空效率，同时无需增加动力驱动涡轮增压器，减少了抽真空装置的能耗。综上分析，本申请利用真空泵排出的废气驱动涡轮增压器，增大了真空泵进气口在单位时间内的进气量，同时也增大了通过真空泵进气口进入真空泵的气体压力，提高了对待抽真空腔体的抽气速度。

技术研发人员：乔中涛,丁德甲,尚允坤,范庭瑞
受保护的技术使用者：常州市大成真空技术有限公司
技术研发日：20230816
技术公布日：2024/2/21