专利名称：导向机构的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种引导一个部件相对于另一部件作相对移动的导向机构。
背景技术：
迄今为止，在如无杆(rodless)汽缸那样的一个部件在另一部件上作相对移动的装置中，广泛使用引导一个部件相对另一部件作移动的导向机构。所述现有技术中的导向机构是这样构成的构成导向机构的导向块被固定到借助于无杆汽缸作移动的移动部件上，上述导向块沿着纵向方向的导轨作自由滑动。
然而，对于上述现有导向机构，即使在导向块的构成应能够停止在导轨的预定部位上，以极高的定位精度把导轨预定部位安装到基座等上，以此来提高导向块的定位精度的情况下，导向块在除了上述预定部位的其它部位上滑动时，由于在上述导轨上产生的扭曲、变形、弯曲等原因，在导向块和导轨之间会发生拉伸作用和压缩作用。其结果恐怕会出现导轨摩损或者导向块上的滚轮承受过高负载，损坏导向功能的现象发生。若随着上述导轨长度的增长，导向块移动量增大，则受损概率将进一步提高。
发明目的本发明一般的目的是提供即使在导轨上发生扭曲、变形、弯曲等情况下，通过吸收施加到导向块及导轨等上的过大负荷，仍能够顺利地发挥出导向功能的导向机构。
本发明的主要目的是提供一种通过适当地吸收施加到导向块及导轨等上的过大负荷，可提高上述导向块及导轨等的耐久性的导向机构。
技术方案根据本发明，当在除了导轨的预定部件之外的其它部件的定位精度下降情况下，导块在上述其它部件上滑动时，虽然导轨部件受到作用在导轨和导向块之间的拉伸作用和压缩作用等的挤压，但因为上述导轨部件受到弹性支承部件的弹性作用而作移动，所以导轨部件阻止了较大的力作用于导向块和导轨上，从而可充分地发挥了导向功能。
图面的简单说明
图1是应用本发明第1实施例的导向机构的移动装置的立体图。
图2是沿图1的Ⅱ-Ⅱ线的纵断面图。
图3是构成上述导向机构的硬质支承部件及弹性支承部件的局部放大纵断面图。
图4是构成上述导向机构的锁定部件的局部切口放大立体图。
图5是沿图1的Ⅴ-Ⅴ线的纵断面图。
图6是应用本发明第2实施例的导向机构的汽缸组件的立体图。
图7是构成上述汽缸组件的安装部件的局部放大侧视图。
图8是上述汽缸组件的局部断面正视图。
图9是上述汽缸组件的局部放大断面图。
图10是构成上述汽缸组件的导向块的局部放大立体图。
图11是构成上述汽缸组件的保持部件的立体图。
图12是沿构成汽缸组件的无杆汽缸的汽缸套轴线方向的纵断面图。
图13是在改变上述汽缸组件的安装姿势的条件下，沿基本垂直方向施加工件载荷的局部放大断面图。
实施本发明的优选实施例关于本发明的导向机构，下面，举例优选实施例，参照附图作详细说明。
图1及图2示出应用本发明第1实施例的导向机构10的移动装置12。该移动装置12具备2个导向机构10/10，该2个导向机构10/10基本上平行固定在基座14的安装面16上，各导向机构10具有细长的导轨18和与导轨18嵌合并可在其上作滑动的导向块20。
在相隔预定间距的一组导向块20/20的上面分别固定着板状工作台22。挡块23固定在基座14上，导向块20接触到挡块23上时，工作台22停止移动，而被定位。2个导向机构10/10各自具有相同构成，对相同的构成要素组标注相同的附图标号并在下面作说明。
如图3及图4所示，在导轨18的上面，沿其长度方向形成了截面形状为梯形状的槽24a/24b，2个槽分层重叠。在槽24b的底部上形成截面略呈T字状的槽26。
如图5所示，一对由钢等的金属材料制造的截面形状呈梯形的硬质支承部件28a/28b插入在沿导轨18的轴线方向的两端侧的各槽24b内。在上述硬质支承部件28a/28b上形成了第1锥形部30，该锥形部30朝着导轨18的中央侧慢慢地变薄。在插入槽24b内的一个硬质支承部件28a和另一硬质支承部件28b之间插入由含有合成橡胶等高分子材料或海绵等具有弹性的部件形成的弹性支承部件32。在弹性支承部件32的两端上分别形成第2锥形部34，该锥形部34的厚度逐渐减少，与上述硬质持承部件28a/28b的第1锥形部30啮合。把由钢等的金属材料制作的截面呈梯状的轨道部件36插入槽24a内，因此，轨道部件36在其轴线方向的两端受到硬质支承部件28a/28b支承，在其中间位置受弹性支承部件32的支承。因而，虽然轨道部件36的两端没有挠性，但轨道部件36的中间因弹性支承部件32的弹性作用而可作适当挠曲。
如图4及图5所示，锁定部件40分别与沿导轨18的轴线方向上的两端槽24a、24b啮合。锁定部件40的中央上形成了凹部42，孔44与形成凹部42的底部联通。螺栓46插入孔44内，螺栓46与插入槽26内的呈四角形螺母48拧合，因此，锁定部件40被锁定在槽24a/24b内。在此情况下，锁定部件40起到对硬质支承部件28a/28b及轨道部件36的定位及防脱出的作用。
如图5所示，在导向块20上设置了可在轨道部件36上滚动的多个滚轮50，因此，导向块40可以尽可能小的阻力在导轨18上作移动。
第一实施例的导向机构基本上是如上构成，下面，说明其动作及作用效果。
把工件W放置于工作台22上。在导向块20如图5中实线所示地与挡块23接触，工作台22位于导向机构10一端时，导向块20上的滚轮50位于受到轨道部件36和硬质支承部件28a支承的位置上。因此，导向块20不会在垂直于其移动方向的方向上下方向上作移动，工作台22被正确地定位在预定位置上。
当用手动，或图中未出的驱动源的驱动作用下，工作台22从一端向另一端移动时，导向块20的滚轮50在轨道部件36上面移动，导向块20沿导轨18移动。因此，导向块20上的滚轮50如图5中虚线所示位于受轨道部件36及弹性支承部件32支承的位置上。
在此情况下，当导轨18上产生扭曲、变形、弯曲等现象时，导轨18中央部位的定位精度下降，在导向块20和导轨18之间产生拉伸作用和压缩作用。该拉伸作用和压缩作用将会使轨道部件36摩损或于滚轮50上施加过高的负载。若上述滚轮50所承受的负载加到轨道部件36上，则该轨道部件36因弹性支承部件32的弹性作用而发生一定的挠曲(参照图5中的虚线)。因而，即使在上述滚轮50及轨道部件36受到过载时，因为上述过载被弹性支承部件32的弹性充分地吸收，所以减轻了该滚轮50所受的负载，减少了轨道部件36的摩损。
即使随着导块18长度的延长，导向块20的移动量增大，因为弹性支承部件32的作用，施加到滚轮50及轨道部件36上的过载被充分吸收，所以能够充分地发挥导向功能。
当工作台22进一步移动，并到达导向机构10的另一端部时，滚轮50再次移动到受轨道部件36及硬质支承部件28b支承的位置上。因此，导向块20不会在垂直于其移动方向的方向上作移动，工作台22被正确地定位在预定位置上。
当工作台22移动，滚轮50从受轨道部件36和硬质支承部件28a或28b支承的位置移动到受弹性支承部件32支承的位置时，因为硬质支承部件28a/28b和弹性支承部件32相互因第1锥形部30和第2锥形部34而啮合，所以上述轨道部件36稍有弯曲，且不会因台阶而发生振动。
在第1实施例中，由于硬质支承部件28a/28b设置在导轨18的两端上，定位精度高于设置弹性支承部件32的中央部位，但并不限于上述构成。当然，例如可以将硬质支承部件28a(28b)配设在要求高定位精度的部位上，而在除了上述部位以外的其它部位上配设弹性支承部件32。
在第1实施例中，虽然把滚轮50装在导向块20上，但也可以将在轨道部件36上可作滑动的部件20(图未示出)安装到导向块20上代替滚轮50。
在第1实施例中，一组导向机构10/10配置得基本相互平行，但并不限于这样的构成，也可以使用单根导向机构10，或者并排2根以上的导向机构10。
下面，参照图6说明第2实施例的导向机构。与第1实施例相同的构成要素采用相同的附图标号，并于此处省略对它们的说明。
在图6中，附图标号100示出应用本发明第2实施例的导向机构108a/108b的汽缸组件100。汽缸组件100基本上具备板状安装部件106a/106b，导向机构108a/108b和无杆汽缸110。其中的安装部件106a/106b被固定到装着该汽缸组件100的基座102的安装面104上，导向机构108a/108b架设在各安装部件106a/106b之间，无杆汽缸110固定在上述安装部件106a/106b上与其垂直。
在安装部件106a/106b上沿其长度方向设置2条相互平行的断面呈T形的槽112。如图7所示，螺母部件114可移动地插入槽112内部。
导向机构108a/108b具有架设在安装部件106a/106b之间且与之垂直的导轨116a/116b和与导轨16a/116b啮合且可在其上滑动的导向块118a/118b。板状工作台120架设在导向块118a和118b之间。在导轨116a/116b的端部上形成切口122。安装部件106a/106b啮合切口122，导轨116a/116b被安装在与安装部件106a/106b的延伸方向垂直的方向上。
如图7所示，在导轨116a/116b上，沿其长度方向的边缘上形成薄壁部124，多根螺栓126插入薄壁部124内，螺栓126与螺母部件114拧合。因此，导向块116a/116b被固定到安装部件106a/106b上。当拧松螺栓126时，导轨16a/116b就可沿安装部件116a/116b的槽移动。在导轨116a/116b上形成可安装磁传感器等的位置检测传感器的(图未示出)槽128a/128b和安装挡块130的槽132(参照图8及图9)。
如图9所示，导向块118a/118b上形成了第1平行面134和第1斜倾面138。平行面134与安装了该汽缸组件100的基座102的安装面104平行，第1斜倾面138相对于上述第1平行面134以约45度角朝右下方倾斜。在第1平行面134和第1倾斜面138之间形成了相对于第1平行面134朝左下倾斜约45度角，与第1倾斜面138垂直(约成90度角)第2倾斜面136。
分别形成在导向块118a/118b上的上述第1平行面134，第1倾斜面138及第2倾斜面136分别对着导轨116a/116b上的第2平行面140，第3倾斜面144及第4倾斜面142。
在第1平行面134，第1倾斜面138及第2倾斜面136上分别形成凹部146，并如图10及图11所示，在凹部146上设计可嵌合到该凹部146内的具有台阶部148的保持部件150。保持部件150通过螺栓152与导向块118a/118b拧合。图9示出保持部件150嵌合第1平行面134和第1倾斜面138的凹部的状态。
在保持部件150上形成半圆形凹部114。滚轮156插入凹部154内。滚轮156通过轴158(参照图9)可转动地支承在保持部件150上。在此情况下，也可以把导轨部件36上滑动的滑动部件装在保持部件150的凹部154上来代替滚轮156。
另一方面，在上述导轨道116a/116b的第2平行面140，第3倾斜面144，第4倾斜面142中，对着安装了滚轮156的面的表面上(图9中，参照第2平行面140，第3倾斜面144)形成与第1实施例的导向机构10相同的，沿其长度方向截面形状为梯形状的槽24a/24b，2个槽分层重叠。且在槽24b的底部上形成断面呈T字状的槽部26。把一对硬质支承部件28a/28b分别插入到沿上述各导轨116a/116b的轴线方向的两端的槽24b内，将弹性支承部件32插入到硬质支承部件28a/28b之间(参照图5)。轨道部件36插入到槽24a内，因此，轨道部件36在其两端受硬质支承部件28a/28b支承，其中央受弹性支承部件32支承。滚轮156可在轨道部件36上滚动。此时，也可以将轨道部件36设在上述第2平行面140、第3倾斜面144、第4倾斜面142的全部上。
在导向块118a/118b上，沿其移动方向上形成槽164，把检测位置用的磁石166插入槽164内(参照图9)。
如图8所示，在安装部件106a/106b之间，且在与导轨116a、116b平行地设置的无杆汽缸110的侧面，形成槽168a/168b。锁定部件170a/170b与槽168a/168b啮合，锁定部件170a/170b拧紧在安装部件106a/106b上，将无杆汽缸110固定到安装部件106a/106b上。如图6所示，将端块172a/172b分别固定到无杆汽缸110的端部上，在上述端块172a/172b上分别形成高压流体出入口174a/174b(参照图6，图8及图12)。高压流体出入口174a/174b通过电磁阀与图未示出的流体供给源连接。
如图12所示，活塞180沿汽缸室181可滑动地插入无杆汽缸110内部。在活塞180的两端部上分别形成受压面182a/182b，在受压面182a/182b上沿活塞180的轴线方向形成孔184a/184b。设置了筒状部件186a/186b，筒状部件186a/186b与端块172a/172b连接，具有与高压流体出入口174a/174b连通的通孔，可插入孔184a/184b内。在构成孔184a/184b的壁部上设置环状的缓冲密封垫188a/188b。带式分离器190a/190b被固定到活塞180的上部的活塞扼圈192上，带式分离器190a/190b起到使设置在无杆汽缸110的上部的第1密封部件193和第2密封部件194相互分离的作用。滚轮198通过支承部件196可转动地由轴支承在活塞扼圈192上方。
在无杆汽缸110上部设沿轴线方向作往复运动的移动部件200。在上述移动部件200的底面上设截面呈曲线状的凹部202。支承部件196嵌合构成凹部202的图未示出的壁部，因此，移动部件200与活塞180一起移动。支承部件196起到了作为容许移动部件200移动的浮子机构的功能。在移动部件200下部设刮板204a/204b。如图8所示，移动部件200通过接头206与一个导向块118b连接。在无杆汽缸110上并非必须设置容许移动部件200移动的浮子机构。
使用第2实施例的导向机构108a/108b的汽缸组件100基本上为如上的构成，下面说明其动作及作用效果。
首先，如图8及图9所示，在把汽缸组件100水平地安装在基座102上，工件W的负载以箭头A方向作用到汽缸组件100的工作台120上时，保持部件150嵌入导向块118a/118b的第1平行面134、第1倾斜面138的凹部146，通过螺栓152把保持部件150安装到第1平行面134、第1倾斜面138上。因此，滚轮156安装到第1平行面134、第1倾斜面138上。硬质支承部件28a/28b及弹性支承部件32装在导轨116a/116b的第2平行面140、第3倾斜面144的槽24b上，轨道部件36装在槽24a上。
当从图中未示出的压力流体供给源向这样组装而成的汽缸组件100的一个压力流体出入口174a供给压缩空气等的压力流体时，压力流体经筒状部件186a的通路推压受压面182a。因此，活塞180在图12中向箭头C方向移动。此时，因为活塞180嵌合在构成移动部件200的凹部202的壁部，所以移动部件200朝箭头C方向移动。
该移动作用经接头206传送给一个导向块118b，再从导向块118b传送给工作台120及另外的导向块118a。因此，导向块118a/118b及工作台120沿无杆汽缸110的长度方向一起移动，运送工件W。
同样地，当向设置在与上述压力流体出入口174a相反侧上的另一压力流体出入口174b(参照图8)供给压力流体时，在图12中，活塞180朝箭头C｀方向移动，使工件W朝C｀方向运送。
此时，工件W的载荷朝箭头A方向作用到工作台120上。该载荷由安装在导向块118a/118b的第1平行面134上的滚轮156和设置在导向块116a/116b的第2平行面134上的轨道部件36支承。因工件W的偏载荷，有时在导向块118a/118b上作用与箭头A方向基本垂直的方向或与该方向倾斜的力。该力由安装在导向块118a/118b的第1倾斜面138上的滚轮156和设置在导向块116a/116b的第3倾斜面144上的轨道部件36支承。
当因导轨16a/116b上的扭曲、变形、弯曲等原因，导轨16a/116b的中央部位的定位精度下降，在导向块118a/118b和导轨116a/116b之间作用拉伸作用、压缩作用时，轨道部件36的摩损增加，或者对滚轮156上作用过载。若作用于滚轮156上的载荷施加到轨道部件36上时，轨道部件36因弹性支承部件32的弹性而略有挠曲。因而，作用于滚轮156及轨道部件36等上的过载由上述弹性支承部件32的弹性作用充分地吸收，能够减轻轨道部件36的摩损以及作用到滚轮156上的载荷。
这里，说明根据工件W的形状和大小等调整工作台120的宽度。
先从导向块118a/118b上取下工作台120，并把一个导轨116a固定到安装部件106a/106b上的螺栓126拧松，如图8中的虚线所示，沿安装部件106a/106b移动导轨16a。此时，螺母114与导轨116a一起在槽112内部移动。把导轨116a移动到预定位置上后，再拧紧螺栓126，将导轨116a固定到安装部件106a/106b上。此时将与导向块118a和118b间隔相对应宽度的工作台120安装到导向块118a/118b上。
若使用安装了这样宽度大小的工作台120的汽缸组件100，则工件W在与导向块118a/118b前进方向垂直的方向上的运动受到工件台120很好的支承，能够稳定地运送工件W。而且，因为没有必要使导轨116a/116b和导向块118a/118b大型化，从而，可降低成本，因为不必变更从安装面104到工作台120的高度方向的尺寸，所以可增大设计自由度。
如图13所示，变更汽缸组件100的安装姿势，将汽缸组件100安装到略垂直的壁面105上，载荷朝箭头B方向作用于导向块118a/118b的侧面上时，保持部件150嵌入到导向块118a/118b的第1倾斜面138、第2倾斜面136的凹部146内，把滚轮156安装到第1倾斜面138、第2倾斜面136上。另外，把硬质支承部件28a/28b及弹性支承部件32安装到导轨116a/116b的第3倾斜面144、第4倾斜面142的槽24b内，将轨道部件36装在槽24a上。
当工件W的载荷朝箭头B方向作用到导块118a/118b上时，该载荷由安装在导向块118a/118b的第1倾斜面138，第2倾斜面136上的滚轮156和设置在导向块116a/116b的第3倾斜面144、第4倾斜面142上的轨道部件36支承。
如上所述，即使工件W的载荷作用的方向变更了，只要改变滚轮156，硬质支承部件28a/28b，弹性支承32及轨道部件36的安装位置就可避免可能的不利因素。在导向块118a/118b的第1平行面134，第1倾斜面138，第2倾斜面136的整个面上装着滚轮156，在导轨116a/116b的第2平行面140，第3倾斜面144，第4倾斜面142的整个面上装着硬质支承部件28a/28b，弹性支承部件32及轨道部件36，则工件W的载荷方向，汽缸100的安装姿势可不受限制地良好地支承工件W的载荷。
对于适用于汽缸组件100上的第2实施例，虽然提出了将无杆汽缸110间隔开，将一组导向机构108a/108b略平行地配置，但并不限于此种构成，也可以使用单一的与无杆汽缸110平行的导向机构108a(108b)，或者并排设置2个以上的导向机构108。
应用导向机构的汽缸组件100不限于无杆汽缸110的构成，例如，在图未示出的液压缸，电驱动器等的线性驱动器附设一个或多个导向机构。
根据本发明，当导向块位于导轨的预定部位上时，因为导向块的滚轮位于由导轨的硬质支承部件支承的位置上，所以导向块不会在与其移动方向基本垂直的方向上移动，导向块被正确地定位在预定的位置上。另一方面，当导向块位于除导轨上上述预定部位的其它部位上时，即使因扭曲、变形、弯曲等原因，导轨定位精度降低时，导轨部件因弹性支承部件的弹性作用在与导向块的方向垂直的方向移动，导轨部件的摩损和作用于滚轮上的载荷减轻，能够顺利地发挥导向功能。
因为硬质支承部件和弹性支承部件的接头由于第1锥形部和第2锥形部的作用而相互啮合，所以滚轮在导轨部件的硬质支承部件支承的位置和弹性支承部件支承的位置之间转动时，导轨部件沿弹性支承部件的第2锥形部慢慢地移动，因此能够抑制因台阶而产生的振动。
权利要求
1．一种导向机构，其特征在于包括长条形导轨(18,116a/116b)；沿上述导轨(18,116a/116b)的轴线方向可自如移动的导向块(20,118a/118b)；设置在沿上述导轨(18,116a/116b)的轴线方向的滑动面上的、上述导向块(20,118a/118b)可在其上滑动的的导轨部件(36)；设置在上述导轨(18,116a/116b)的槽(24b)上的，与上述导向块(20,118a/118b)相对、支承上述导轨部件(36)的预定部位的硬质支承部件(28a,28b)；设置在上述槽(24b)上的、与上述导向块(20,118a,118b)相对、支承在除了上述导轨部件(36)的上述预定部位外的其它部位的有弹性的弹性支承部件(32)。
2．根据权利要求1所述的导向机构，其特征在于上述硬质支承部件(28a,28b)分别安装在所述导轨(18,116a/116b)的轴线方向的两端的槽(24b)内，上述弹性支承部件(32)同轴地安装在上述一组硬质支承部件(28a,28b)之间，上述硬质支承部件(28a,28b)与导向块(20,118a/118b)相对、支承导轨部件(36)的两端，而上述弹性支承部件(32)与上述导向块(20,118a/118b)相对支承上述导轨部件(36)的中央部位。
3．根据权利要求1所述的导向机构，其特征在于上述硬质支承部件具有壁厚向上述弹性支承部件侧慢慢变薄的第1锥形部(30)，上述弹性支承部件具有壁厚向上述硬质支承部件侧慢慢变薄的与上述第1锥形部(30)嵌合的第2锥形部(34)。
4．根据权利要求1所述的导向机构，其特征在于在上述导向块(20)上设置了可在上述导轨部件(36)上自如滚动的多个滚轮(50)。
5．根据权利要求1所述的导向机构，其特征在于在上述导向块(20)上设置了可在上述导轨部件(36)上自如滑动的滑动部件。
6．根据权利要求1所述的导向机构，其特征在于上述导向机构(10)设置了奇数个。
7．根据权利要求1所述的导向机构，其特征在于上述导向机构(10)平行地设置多个。
8．一种导向机构(108a,108b)，其特征在于包括长条形导轨(116a/116b)；沿上述导轨(116a/116b)的轴线方向可自如移动的导向块(118a/118b)；设置在沿上述导轨(116a/116b)的轴线方向的滑动面上的，上述导向块(118a/118b)可在其上滑动的的导轨部件(36)；设置在上述导轨(116a/116b)的槽(24b)上的，与上述导向块(118a/118b)相对支承上述导轨部件(36)的预定部位的硬质支承部件(28a,28b)；设置在上述槽(24b)上的、与上述导向块(118a,118b)相对支承在除了上述导轨部件(36)的上述预定部位外的其它部位的有弹性的弹性支承部件(32)；上述导向机构(108a,108b)被附设在包含无杆汽缸(110)的线性驱动器上。
9．根据权利要求8所述的导向机构，其特征在于上述导向机构由单数构成，配置成与线性驱动器的轴线平行。
10．根据权利要求8所述的导向机构，其特征在于上述导向机构由多个构成，配置成与线性驱动器的轴线平行。
11．根据权利要求8所述的导向机构，其特征在于在上述导向块(118a,118b)上设置与安装面基本平行的平行面(134)，相对于上述平行面(134)以预定角度倾斜的第1倾斜面(138)和形成在上述平行面(134)和上述第1倾斜面(138)之间的第2倾斜面(136)，上述平行面(134)、上述第1倾斜面(138)和上述第2倾斜面(136)上分别形成凹部(146)，在上述多个凹部(146)上有选择地设置了多个滚轮(156)，所述滚轮(156)可以在导轨(116a,116b)上的多个轨道部件(36)上滚动。
12．根据权利要求11所述的导向机构，其特征在于上述滚轮(156)可自如转动地轴支在保持部件(150)上，上述操作部件(150)可装拆地安装在凹部(146)内。
13．根据权利要求8所述的导向机构，其特征在于在上述导向机构上，在与导轨16a,116b)基本垂直的方向上设置了调整与线性驱动器(110)之间的距离的安装部件(106a,106b)，在上述安装部件(106a,106b)上，在轴线方向上形成了槽部(112)，该槽部(112)与安装在导轨(116a,116b)上的螺栓部件(126)嵌合。
14．根据权利要求13所述的导向机构，其特征在于上述安装部件(106a,106b)由相互间隔一定距离的一组构成，且被设置在与导轨16a,116b)及无杆汽缸(110)的轴线垂直的方向上。
全文摘要
当导向块20位于导轨18的每一端部时,滚轮50就位于受轨道部件36的硬质支承部件28a和28b支承的位置上,因此,导向块20被定位于预定位置上。另一方面,当导向块20位于导轨8的中心附近时,轨道部件36因弹性支承部件32的弹性作用而稍有弯曲,而不用管由于扭曲,变形和弯曲等造成的定位精度下降。从而,缓解了作用到上述轨道部件36的过载。
文档编号F15B15/08GK1302357SQ99806455
公开日2001年7月4日 申请日期1999年4月7日 优先权日1998年4月8日
发明者小山秀穗 申请人:Smc株式会社