专利名称：气密阀的密合结构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种气密阀，尤指一种于阀门关闭时，可确实阻隔各腔室连通 的气密阀的密合结构。
背景技术：
按，习知的溅镀机，其包括有数个腔室，各腔室间连接有一阀门，该阀门一侧 设有一控制装置，藉以控制各腔室的连通或关闭。其中请参阅公开编号第200700570号「气密阀的密合结构」的发明专利，装设 于溅镀机上，用于作为各腔室间的区隔，包含有 一转轴，穿设于溅镀机腔室开口 的一侧。二支臂，以一端固设于该转轴上，可随该转轴的转动而摆动。 一阀门板， 枢设于两支臂，并可做一预定角度的偏摆。二弹性件，分别设于二支臂及阀门板之 间。由于转轴、支臂及阀门板间的配合，会有累积公差产生，因此转轴转动时，可 带动支臂偏摆角度，并由支臂压抵弹性元件，使弹性元件压抵阀门板，使阀门板达 到密合的效果；然而，由于弹性元件仅能利用其弹力压抵阀门板，其密合的效果仍 有不足，故本实用新型人针对上述所存在的问题点，藉由多年从事相关领域的研究 与制造开发经验，经审慎评估后，终于创作出一种可改进上述缺点的气密阀的密合 结构。发明内容本实用新型的目的在于，提供一种气密阀的密合结构，以克服上述传统结构的 缺陷，通过螺栓及螺杆调整阀门的密合度，使阀门调整到最密合的状态。 解决问题的技术特点 一种气密阀的密合结构，其特征在于，包括 一阀门本体，该阀门本体设有一通孔，该阀门本体外侧，相对于通孔的内壁面 位置设有一气压缸；一连接杆，该连接杆枢设于通孔两端，该连接杆一端穿出通孔与该气压缸相连结；数挡板，各挡板的一端部固设于该连接杆上，而另一端则朝下延伸；其中该各 挡板上设有一固定孔及数螺孔；该固定孔穿设一螺栓，该螺栓上螺设有一螺帽，该3固定孔与螺栓通过插销穿设组接，且该螺孔可螺设螺杆，该螺杆上位于挡板的两面 分别螺设有螺帽；一阀门，该阀门设于各挡板与抵压面间，各挡板的两螺杆压抵于阀门上，而该 阀门上，相对于各挡板的固定孔，分别设有一可供螺栓螺设，并使螺栓可穿入阀门的固定座，该固定座的周缘设有一压板，该压板设于阀门上；另该阀门相对于抵压 面一面的周缘，设有一O型环，O型环密实压抵于抵压面上。 其中，各挡板呈等间隔的设置于该连接杆上。其中，该各挡板上设有前述的固定孔，该固定孔的上方及下方分别设有前述的 螺孔。藉此本实用新型的阀门与各挡板间，设有螺栓及螺杆，可利用螺栓及螺杆调整 阀门的密合度，使阀门调整到最密合的状态，改良习知仅利用弹性元件弹力压抵的 缺点。对照先前技术的功效本实用新型一种气密阀的密合结构，由于藉由螺栓及螺 杆调整阔门的密合度，可使阀门调整到最密合的状态，改良习知仅利用弹性元件弹 力压抵的缺点。有关本实用新型所采用的技术、手段及其功效，兹举一较佳实施例并配合图式 详细说明于后，相信本实用新型上述的目的、构造及特征，当可由的得一深入而具 体的了解。
图1是本实用新型的立体外观示意图。图2是本实用新型的立体分解示意图。 图3是本实用新型的侧视示意图。 图4是本实用新型的剖面示意图。
具体实施方式
本实用新型提供一种气密阀的密合结构，如图1至图4所示，其包括一阀门本体l 0，该阀门本体l o锁设于一溅镀机的两腔室间，该阀门本体 IO设有一通孔I 1，使得该阀门本体l 0位于通孔1 1的两端分别形成有内壁面， 而通孔l l两侧可连通两腔室，且该通孔l l一侧的内周缘设有抵压面l 1 1;其中该阀门本体l O外侧，相对于通孔l 1的内壁面位置设有一气压缸l 2;一连接杆2 0，该连接杆2 0枢设于通孔1 l两端，并使该连接杆2 0—端穿 出内壁面，而与该气压缸l 2形成连结，且由该气压缸1 2驱使该连接杆2 O转动；数挡板3 0 ，各挡板3 Q呈等间隔的设置于该连接杆2 0上，各挡板3 0的一端部固设于该连接杆2 0上，而另一端则朝下延伸；其中该各挡板3 O上设有一固 定孔3 0 1 ，该固定孔3 0 1的上方及下方分别设有一螺孔3 0 2 (如图2所示)；其中该固定孔3 0 l可穿设一螺栓3 0 3，该螺栓3 0 3上螺设有一螺帽304， 并使该挡板3 0旁侧设有一穿过该固定孔3 0 1及该螺栓3 0 3的插销3 0 5 ，而 让螺栓3 0 3可以插销3 0 5做支点旋转；其中该螺孔3 0 2可螺设螺杆3 0 6，该螺杆3 0 6上位于挡板3 0的两面设 有螺帽3 0 7;一阀门4 0 ，该阀门4 0设于各挡板3 0与抵压面1 1 1间，使得各挡板3 0 的两螺杆3 0 6可压抵于阀门4 0上，而该阀门4 0上，相对于各挡板3 O的固定 孔3 0 1 ,分别设有一固定座4 1 ，该固定座4 1的周缘设有一压板4 2 ，该压板 4 2锁设于阀门4 0上；且该固定座4 l可供螺栓3 0 3螺设，并使螺栓3 0 3可 穿入阀门4 0 ;另该阀门4 0相对于抵压面1 1 l一面的周缘，设有一0型环4 3， 使得该阀门4 O作动时，0型环4 3确实压抵于抵压面1 1 1 。藉由上述的设计，当阀门需要密合时(如图3、图4所示)，可驱动气压缸12, 使气压缸1 2作动连接轴2 0 ，使挡板3 0推动阀门4 0朝抵压面1 1 1压合，而 由0型环3 l确实达到密合；其中可调整各挡板3 G上的螺杆3 0 6，使螺杆306 可压抵于阀门4 0上，而让螺栓3 0 3往各挡板3 0的方向压抵，且螺栓3 0 3可 以插销3 0 5做支点摆转，使阀门4 O达到紧密贴合的效果；其中调整上下螺杆3 0 6时，上下两螺杆3 0 6螺入螺孔3 0 2的深度可分别 调整，使螺栓3 0 3以插销3 0 5做支点摆转时，阀门4 0可适时的产生左右偏摆， 让阀门4 0的O型环4 3确实压抵于抵压面1 1 1，并达到紧密贴合的状态。由于本实用新型的阀门4 0与各挡板3 0间，设有螺栓3 0 3及螺杆3 0 6， 可利用螺栓3 0 3及螺杆3 0 6调整阀门4 0的密合度，可将阀门4 0调整到最密 合的状态，改良习知阀门与各挡板间，仅利用弹性元件压抵阀门板的缺点。归纳上述所说，本实用新型同时具有上述众多效能与实用价值，并可有效提升 整体的经济效益，因此本实用新型确实为一创意极佳的创作，且在相同技术领域中 未见相同或近似的产品公开使用，应已符合创作专利的要件，乃依法提出申请，并 请赐予本实用新型专利。
权利要求1.一种气密阀的密合结构，其特征在于，包括一阀门本体，该阀门本体设有一通孔，该阀门本体外侧，相对于通孔的内壁面位置设有一气压缸；一连接杆，该连接杆枢设于通孔两端，该连接杆一端穿出通孔与该气压缸相连结；数挡板，各挡板的一端部固设于该连接杆上，而另一端则朝下延伸；其中该各挡板上设有一固定孔及数螺孔；该固定孔穿设一螺栓，该螺栓上螺设有一螺帽，该固定孔与螺栓通过插销穿设组接，且该螺孔可螺设螺杆，该螺杆上位于挡板的两面分别螺设有螺帽；一阀门，该阀门设于各挡板与抵压面间，各挡板的两螺杆压抵于阀门上，而该阀门上，相对于各挡板的固定孔，分别设有一可供螺栓螺设，并使螺栓可穿入阀门的固定座，该固定座的周缘设有一压板，该压板设于阀门上；另该阀门相对于抵压面一面的周缘，设有一O型环，O型环密实压抵于抵压面上。
2. 如权利要求l所述的气密阀的密合结构，其特征在于，各挡板呈等间隔的 设置于该连接杆上。
3. 如权利要求l所述的气密阀的密合结构，其特征在于，该各挡板上设有前 述的固定孔，该固定孔的上方及下方分别设有前述的螺孔。
专利摘要一种气密阀的密合结构，其于溅镀机腔室通孔的一侧枢设有一连接轴，该连接轴可枢设有数挡板，各挡板连接有一阀门；其中该各挡板上设有一固定孔及数螺孔；而该固定孔可穿设一螺栓，该螺栓上螺设有一螺帽，且该固定孔与螺栓穿设有插销，另该螺孔可螺设螺杆，该螺杆上位于挡板的两面设有螺帽；其中该阀门上相对于各挡板的固定孔分别设有一固定座，该固定座的周缘设有一压板，该压板设于阀门上；且该固定座可供螺栓螺设，并使螺栓可穿入阀门；藉此阀门与各挡板间，可利用螺栓及螺杆调整阀门的位置，使阀门调整到最密合的状态。
文档编号F16K1/20GK201106687SQ200720175938
公开日2008年8月27日 申请日期2007年9月13日 优先权日2007年9月13日
发明者刘镒诚 申请人:建铯科技股份有限公司