专利名称：气动放大器的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种进行气动型的调节阀(阀)的开度控制的定位器等所使用的气动放大器。
背景技术：
以往，在进行阀驱动控制、过程自动化、以及其他的一般工业设备的驱动控制时，都采用定位器，通过将该定位器安装到阀上，使得阀的开度控制成为可能。图3示出能够进行该阀的开度控制的定位器的主要部分的构成。在该图中，100是定位器，该定位器100具有将从上位控制器200以电信号发送来的阀开度信号变换为气压信号Pn的电空变换部101，和将通过电空变换部101变换后的气压信号(输入气压)Pn放 大作为输出气压信号(输出气压)Po输出给阀300的气动放大器(压力信号放大器)102。关于这样的定位器100所使用的气动放大器102，存在有对于一个输入气压Pn输出一个输出气压Po的单动型和对于一个输入气压Pn输出两个输出气压Pol、Po2的双动型。双动型的气动放大器102具有两个输出端口，在使阀300正作用的情况下使得第I端口的输出气压Pol比第2端口的输出气压Po2高，在使阀300反作用的情况下使得第2端口的输出气压Po2比第I端口的输出气压Pol高。图4示出专利文献I所示的双动型的气动放大器的结构。在该图中，401是外壳，在外壳401内形成有输入气压室402、第I供给气压室403、第2供给气压室404、第I输出气压室405、第2输出气压室406、排气室407以及偏压室408。又,在外壳401内，设置有由于被导入输入气压室402中的输入气压(喷嘴背压)Pn而发生位移的隔膜409，阀塞(移动体)410能向箭头A方向以及B方向移动地支撑在该隔膜409上。阀塞410具有位于第I输出气压室405的第I开口 410a、位于第2输出气压室406的第2开口 410b、使第I开口 410a以及第2开口 410b与排气室407连通的排气通路 410c。在第I供给气压室403和第I输出气压室405之间，在外壳401的内壁形成有环状壁411。该环状壁411起到区划第I供给气压室403和第I输出气压室405的第I隔壁的作用。在第2供给气压室404和第2输出气压室406之间，在外壳401的内壁形成有环状壁412。该环状壁412起到区划第2供给气压室404和第2输出气压室406的第2隔壁的作用。又，在第I供给气压室403和第I输出气压室405之间设有第I提升阀413，该第I提升阀413贯通环状壁411的中心孔411a能够左右移动。第I提升阀413 —体地具有开闭阀塞410的第I开口 410a的排气阀413a和开闭环状壁411的中心孔(第I连通孔)411a的供气阀413b。在第2供给气压室404和第2输出气压室406之间设有第2提升阀414，该第2提升阀414贯通环状壁412的中心孔412a能够左右移动。第2提升阀414 一体地具有开闭阀塞410的第2开口 410b的排气阀414a和开闭环状壁412的中心孔(第2连通孔)412a的供气阀414b。又，第I供给气压室403中设有向箭头B方向、即供气阀413b关闭第I连通孔411a的方向推压第I提升阀413的第I弹簧415。第2供给气压室404中设有向箭头A方向、SP供气阀414b关闭第2连通孔412a的方向推压第2提升阀414的第2弹簧416。 在该双动型的气动放大器中，供给气压Ps通过空气供给管417被供给至第I供给气压室403以及第2供给气压室404，输入气压Pn通过喷嘴背压导入管418被导入至输入气压室402中。又，输出气压Pol从第I输出气压室405通过第I空气输出管419被输出给阀300，输出气压Po2从第2输出气压室406通过第2空气输出管420被输出给阀300。另外，偏压室408形成在支承阀塞410的隔膜409和421之间，供给气压Ps通过空气供给管417被供给至该偏压室408。又，排气室407与大气连通。在该双动型的气动放大器中,减少输入气压Pn时，隔膜409向箭头A侧移动，被支承在隔膜409上的阀塞410也随之向箭头A侧移动。这样的话，阀塞410随着该移动抵抗 第I弹簧415的推压力而压下第I提升阀413，第I提升阀413的供气阀413b随之打开第I连通孔411a。此时，阀塞410的第I开口 410a由第I提升阀413的排气阀413a关闭。另一方面，第2提升阀414由于第2弹簧416的推压力而被提升，第2提升阀414的供气阀414b随之关闭第2连通孔412a。此时，阀塞410的第2开口 410b由第2提升阀414的排气阀414a打开。由此，通过空气供给管417被供给至第I供给气压室403的空气通过第I连通孔411a被导入到第I输出气压室405内之后，通过第I空气输出管419被供给至阀300。另一方面，来自阀300的空气通过第2空气输出管420返回到第2输出气压室406内之后，从阀塞410的第2开口 410b进入排气通路410c，被排出到排气室407中。另一方面，使输入气压Pn增加时，隔膜409向箭头B侧移动，被支承在隔膜409上的阀塞410也随之向箭头B侧移动。这样的话，阀塞410随着该移动抵抗第2弹簧416的推压力而压下第2提升阀414，第2提升阀414的供气阀414b随之打开第2连通孔412a。此时，阀塞410的第2开口 410b由第2提升阀414的排气阀414a关闭。另一方面，第I提升阀413由于第I弹簧415的推压力而被提升，第I提升阀413的供气阀413b随之关闭第I连通孔411a。此时，阀塞410的第I开口 410a由第I提升阀413的排气阀413a打开。由此，通过空气供给管417被供给至第2供给气压室404的空气通过第2连通孔412a被导入到第2输出气压室406内之后，通过第2空气输出管420被供给至阀300。另一方面，来自阀300的空气通过第I空气输出管419返回到第I输出气压室405内之后，从阀塞410的第I开口 410a进入排气通路410c，被排出到排气室407中。这样，阀塞410以及一对提升阀412、413根据被导入至输入气压室402中的输入气压Pn来动作，通过该动作，被放大的输出气压Pol以及Po2通过空气输出管419以及420被输出给阀300。此时，通过调整输入气压Pn的减少方向的压力，来调整使阀300正作用时的输出气压Pol，通过调整输入气压Pn的增加方向的压力，来调整使阀300反作用时的输出气压Po2。现有技术文献专利文献
专利文献I日本特开2005-282718号公报
专利文献2日本特开2008-95847号公报
发明内容
发明要解决的课题但是，采用上述专利文献I所示的气动放大器的话，第I输出气压室405和输入气压室402相邻，通过0型环422密封该第I输出气压室405和输入气压室402之间，因此存在输入输出特性的滞后变大这样的问题。因此，为了解决该问题，考虑使用隔膜来代替0型环422，但由于输入气压室402和第I输出气压室405的压力的大小关系频繁变化，即时而Pol >Pn，时而Pol <Pn，发生所谓的压力的反转，因此导致施加于隔膜上的压力的正负的变化剧烈，成为使隔膜的耐久性降低的原因。又，采用上述专利文献I所示的气动放大器的话，由于在阀塞410中形成贯通其轴心的排气通路410c，因此无法通过螺旋夹等的简易的方法将阀塞410组装为分开结构，生
产率变差。另外，专利文献2中揭示了以下的实例，即为了不使压力的变动剧烈的输出气压室、输入气压室(喷嘴背压室)、反馈室互相相邻，在这些室之间配置偏压室、排气室、大气室，从而抑制施加于隔膜的压力的正负的变化。但是，在该专利文献2所示的结构中，阀塞只具有一个贯穿其中心轴的排气通路，不能将阀塞做成分割结构，因此残留有生产率差这样的问题。又，采用专利文献2所示的结构的话，设置在外壳内的室的数量大幅增加，需要11个室。室的数量增加的话，隔膜的片数等构成部件也增加，气动放大器的容积也变大，从而导致收容该气动放大器的定位器的大型化 成本提高。本发明正是为了解决这样的课题而做出的，其目的在于提供一种能够提高隔膜的耐久性，且能够将阀塞(移动体)做成分割结构从而提高生产率的气动放大器。解决课题的手段为了达成这样的目的，本发明的气动放大器，其特征在于，包括形成在外壳内的输入气压室、第I供给气压室、第2供给气压室、第I输出气压室、第2输出气压室、第I排气室、第2排气室以及偏压室；由于被导入至输入气压室中的输入气压而发生位移的隔膜；移动体，所述移动体具有位于第I输出气压室的第I开口、位于第2输出气压室的第2开口、使第I开口与第I排气室连通的第I排气通路、和使第2开口与第2排气室连通的第2排气通路，所述移动体由隔膜支承，并在外壳内移动；第I提升阀，所述第I提升阀贯穿过形成在区划第I供给气压室和第I输出气压室的第I隔壁上的第I连通孔，并被设置为能够移动，所述第I提升阀一体地具有开闭移动体的第I开口的第I排气阀以及开闭第I连通孔的第I供气阀；第2提升阀，所述第2提升阀贯穿过形成在区划第2供给气压室和第2输出气压室的第2隔壁上的第2连通孔，并被设置为能够移动，所述第2提升阀一体地具有开闭移动体的第2开口的第2排气阀以及开闭第2连通孔的第2供气阀；第I弹簧构件，所述第I弹簧构件向第I供气阀关闭第I连通孔的方向推压第I提升阀；和第2弹簧构件，所述第2弹簧构件向第2供气阀关闭第2连通孔的方向推压第2提升阀，输入气压室与第I输出气压室和第2输出气压室都不相邻。
采用本发明，在移动体(阀塞)中设置有使位于第I输出气压室的第I开口与第I排气室连通的第I排气通路和使位于第2输出气压室的第2开口与第2排气室连通的第2排气通路。由此，在移动体的中央设置将第I排气通路和第2排气通路截断的非通路部分，通过该非通路部分分割移动体，使利用螺旋夹等的简易的方法来组装移动体成为可能。又，采用本发明，由于输入气压室与第I输出气压室和第2输出气压室都不相邻，因此不存在分隔输入气压室和输出气压室之间的隔膜。因此，没有压力的正负变化剧烈的隔膜，能够提高隔膜的耐久性。例如，作为本发明的第一例，使第I排气室隔着第I隔膜与第I输出气压室相邻，且隔着第2隔膜与偏压室相邻，使输入气压室隔着第3隔膜与偏压室相邻，且隔着第4隔膜与第2排气室相邻,使第2排气室隔着第5隔膜与第2输出气压室相邻。此时,第I输出气压室隔着第I隔膜与第I排气室相邻，第I排气室隔着第2隔膜与偏压室相邻。又，输入气压室隔着第3隔膜与偏压室相邻，第2输出气压室隔着第5隔膜与第2排气室相邻。例如，作为本发明的第二例，使偏压室隔着第I隔膜与第I输出气压室相邻，且隔着第2隔膜与第I排气室相邻，使输入气压室隔着第3隔膜与第I排气室相邻，且隔着第4隔膜与所述第2排气室相邻，使所述第2排气室隔着第5隔膜与第2输出气压室相邻。此时，第I输出气压室隔着第I隔膜与偏压室相邻，输入气压室隔着第3隔膜与第I排气室相邻。又，输入气压室隔着第4隔膜与第2排气室相邻，第2输出气压室隔着第5隔膜与第2排气室相邻。发明的效果采用本发明，由于在移动体(阀塞)中设置使位于第I输出气压室的第I开口与第I排气室连通的第I排气通路和使第2开口与第2排气室连通的第2排气通路，所以在移动体的中央设置将第I排气通路和第2排气通路截断的非通路部分，通过该非通路部分分割移动体，利用螺旋夹等的简易的方法来组装移动体，从而能够提高生产率。又，采用本发明，由于输入气压室与第I输出气压室和第2输出气压室都不相邻，因此不存在分隔输入气压室和输出气压室的隔膜，没有压力的正负变化剧烈的隔膜，从而能够提闻隔I旲的耐久性。
图I为示出本发明所涉及的气动放大器(双动型的气动放大器)的一实施形态(实施形态I)的结构的图。图2为示出本发明所涉及的气动放大器(双动型的气动放大器)的其他实施形态(实施形态2)的结构的图。图3为使用气动放大器的定位器的主要部分的构成图。图4为示出专利文献I所示的双动型的气动放大器的结构的图。符号说明I…外壳，2…输入气压室，3…第I供给气压室，4…第2供给气压室，5…第I输出气压室，6…第2输出气压室,7…排气室,8…偏压室,9-1…第I隔膜,9-2…第2隔膜,9-3…第3隔膜,9-4…第4隔膜,9-5…第5隔膜，10…阀塞(移动体),IOa…第I开口, IOb…第2开口，IOcl…第I排气通路，10c2…第2排气通路，IOd…非通路部分，11…通路，Ila…开口、部，12…第I提升阀组装体安装部，13…通路，13a…开口部，14…第2提升阀组装体安装部，15…第I提升阀组装体，16…第2提升阀组装体，17…阀座部，17a…上表面，17b…第I连通 L 18…阀座保持部，18a…底面，19…内部空间，20…第I弹簧，21…第I提升阀，21a…排气阀，21b…供气阀，21c…贯通孔，21d…微细连通路，22...阀座部，22a…上表面，22b…第2连通孔，23…阀座保持部,23a…底面,24…内部空间，25…第2弹簧,26…第2提升阀,26a…排气阀，26b…供气阀，26c…贯通孔，26d…微细连通路，27、28…挡板，29…空气供给管，30...喷嘴背压导入管，31…第I空气输出管，32…第2空气输出管，33 38…O型环。
具体实施例方式以下，基于附图对本发明的实施形态进行详细的说明。(实施形态I)图I为示出本发明所涉及的气动放大器(双动型的气动放大器)的一实施形态的 结构的图。在该图中，I是外壳，在外壳I内形成有输入气压室2、第I供给气压室3、第2供给气压室4，第I输出气压室5、第2输出气压室6、第I排气室7-1、第2排气室7-2以及偏压室8。在该外壳I中，第I排气室7-1隔着第I隔膜9-1与第I输出气压室5相邻，且隔着第2隔膜9-2与偏压室8相邻。又，输入气压室2隔着第3隔膜9-3与偏压室8相邻，且隔着第4隔膜9-4与第2排气室7-2相邻。又，第2排气室7_2隔着第5隔膜9_5与第2输出气压室6相邻。第I 第5隔膜9-1 9-5被设置在外壳I和阀塞(移动体)10之间，阀塞10能够向A方向以及B方向移动地由该第I 第5隔膜9-1 9-5支承着。阀塞10具有位于第I输出气压室5的第I开口 10a、位于第2输出气压室6的第2开口 10b、使第I开口 IOa与第I排气室7-1连通的第I排气通路lOcl、以及使第2开口 IOb与第2排气室7-2连通的第2排气通路10c2。在阀塞10中，第I排气通路IOcl与第2排气通路10c2由非通路部分IOd截断。又，在外壳I的一侧的端部，设置有通路11作为第I提升阀组装体安装部12，该通路11的开口部Ila朝向外壳I的外侧，在外壳I的另一侧的端部，设置有通路13作为第2提升阀组装体安装部14，该通路13的开口部13a朝向外壳I的外侧。在第I提升阀组装体安装部12，从朝向外壳I的外侧的通路11的开口部11a，沿着该通路11的内壁面，能够滑动地安装有第I提升阀组装体15，剩余在该通路11的底部的空间被作为第I输出气压室5。又，在第2提升阀组装体安装部14，从朝向外壳I的外侧的通路13的开口部13a，沿着该通路13的内壁面，能够滑动地安装有第2提升阀组装体16，剩余在该通路13的底部的空间被作为第2输出气压室6。第I提升阀组装体15被做成圆筒状的阀座部17与圆柱状的阀座保持部18分开的分割结构，该阀座部17能够拆装地安装在阀座保持部18的前面，在阀座部17和阀座保持部18之间形成有内部空间19。在阀座部17的上表面17a形成有使内部空间19和第I输出气压室5连通的第I连通孔17b。该阀座部17的上表面17a起到区划第I供给气压室3和第I输出气压室5的第I隔壁的作用。第I弹簧20被收容在阀座部17和阀座保持部18之间的内部空间19中，在被该第I弹簧20推压的状态下，第I提升阀21被保持在阀座部17和阀座保持部18之间。内部空间19与第I供给气压室3连通。在第I提升阀21的顶端部具有排气阀21a，在排气阀21a的后方具有供气阀21b。又，第I提升阀21具有贯通其轴心的贯通孔21c。在该保持状态下，第I提升阀21贯通被形成在阀座部17上的第I连通孔17b，能够左右移动地被第I弹簧20推压。又,供气阀21b被推向关闭第I连通孔17b的方向，排气阀21a从第I连通孔17b突出。另外，在第I提升阀21的排气阀21a和供气阀21b之间，形成有微细连通路21d，该微细连通路21d与形成在第I提升阀21内部的贯通孔21c连通。在该第I提升阀组装体15中，做成阀座部17与阀座保持部18分开的分割结构，因此第I弹簧20以及第I提升阀21的组装作业比较容易。
第2提升阀组装体16也具有与第I提升阀组装体15相同的构成。即，第2提升阀组装体16被做成圆筒状的阀座部22与圆柱状的阀座保持部23分开的分割结构，该阀座部22能够拆装地安装在阀座保持部23的前面，在阀座部22和阀座保持部23之间形成有内部空间24。在阀座部22的上表面22a形成有使内部空间24和第2输出气压室6连通的第2连通孔22b。该阀座部22的上表面22a起到区划第2供给气压室4和第2输出气压室6的第2隔壁的作用。第2弹簧25被收容在阀座部22和阀座保持部23之间的内部空间24中，在被该第2弹簧25推压的状态下，第2提升阀26被保持在阀座部22和阀座保持部23之间。内部空间24与第2供给气压室4连通。在第2提升阀26的顶端部具有排气阀26a，在排气阀26a的后方具有供气阀26b。又，第2提升阀26具有贯通其轴心的贯通孔26c。在该保持状态下，第2提升阀26贯通被形成在阀座部22上的第2连通孔22b，能够左右移动地被第2弹簧25推压。又,供气阀26b被推向关闭第2连通孔22b的方向，排气阀26a从第2连通孔22b突出。另外，在第2提升阀26的排气阀26a和供气阀26b之间，形成有微细连通路26d，该微细连通路26d与形成在第2提升阀26内部的贯通孔26c连通。在该第2提升阀组装体26中，也做成阀座部22与阀座保持部23分开的分割结构，因此第2弹簧25以及第2提升阀26的组装作业比较容易。对于第I提升阀组装体15，在将该第I提升阀组装体15安装于第I提升阀组装体安装部12中之后，即在将第I提升阀组装体15从朝向外壳I的外侧的开口部Ila推至通路11内之后，将环状的挡板27安装于该通路11的开口部11a。即，使挡板27的环状面与第I提升阀组装体15的朝向外壳I外侧的面(阀座保持部18的底面18a)面接触，限制第I提升阀组装体安装部12中的第I提升阀组装体15的位置。对于第2提升阀组装体16也一样，在将该第2提升阀组装体16安装于第2提升阀组装体安装部14中之后，即在将第2提升阀组装体16从朝向外壳I的外侧的开口部13a推至通路13内之后，将环状的挡板28安装于该通路13的开口部13a。S卩，使挡板28的环状面与第2提升阀组装体16的朝向外壳I外侧的面(阀座保持部23的底面23a)面接触，限制第2提升阀组装体安装部14中的第2提升阀组装体16的位置。在该双动型的气动放大器中，供给气压Ps通过空气供给管29被供给至第I供给气压室3、第2供给气压室4以及偏压室8，输入气压Pn通过喷嘴背压导入管30被导入至输入气压室2中。又,输出气压Pol从第I输出气压室5通过第I空气输出管31被输出给阀300，输出气压Po2从第2输出气压室6通过第2空气输出管32被输出给阀300。
另外，第I排气室7-1以及第2排气室7-2与大气连通，在第I提升阀组装体15的阀座部17以及阀座保持部18上，在外壳I与阀座部17以及阀座保持部18之间分别安装有0型环33、34。又，在第2提升阀组装体16的阀座部22以及阀座保持部23，在外壳I与阀座部22以及阀座保持部23之间也分别安装有0型环35、36。又，对于第I提升阀组装体15，在第I提升阀21和阀座保持部18之间安装有0形环37，对于第2提升阀组装体16，在第2提升阀26和阀座保持部23之间安装有0型环38。在该双动型的气动放大器中，增加输入气压Pn时，隔膜9-1 9-5向箭头A侧移动，被支承在隔膜9-1 9-5上的阀塞10也随之向箭头A侧移动。这样的话，阀塞10随着该移动抵抗第I弹簧20的推压力而压下第I提升阀21，第I提升阀21的供气阀21b随之打开第I连通孔17b。此时，阀塞10的第I开口 IOa由第I提升阀21的排气阀21a关闭。另一方面，第2提升阀26由于第2弹簧25的推压力而被提升，第2提升阀26的供气阀26b随之关闭第2连通孔22b。此时，阀塞10的第2开口 IOb由第2提升阀26的排气阀26a打开。 由此，通过空气供给管29被供给至第I供给气压室3的空气进入第I提升阀组装体15的内部空间19，在通过第I连通孔17b被导入第I输出气压室5内之后，通过第I空气输出管31被供给至阀300。另一方面，来自阀300的空气通过第2空气输出管32返回到第2输出气压室6内之后，从阀塞10的第2开口 IOb进入排气通路10c，被排出到排气室7中。另一方面，使输入气压Pn减少时，隔膜9-1 9-5向箭头B侧移动，被支承在隔膜9-1 9-5上的阀塞10也随之向箭头B侧移动。这样的话，阀塞10随着该移动抵抗第2弹簧25的推压力而压下第2提升阀26，第2提升阀26的供气阀26b随之打开第2连通孔22b。此时，阀塞10的第2开口 IOb由第2提升阀26的排气阀26a关闭。另一方面，第I提升阀21由于第I弹簧20的推压力而被提升，第I提升阀21的供气阀21b随之关闭第I连通孔17b。此时，阀塞10的第I开口 IOa由第I提升阀21的排气阀21a打开。由此，通过空气供给管29被供给第2供给气压室4的空气进入第2提升阀组装体16的内部空间24，在通过第2连通孔22b被导入第2输出气压室6内之后，通过第2空气输出管32被供给阀300。另一方面，来自阀300的空气通过第I空气输出管31返回到第I输出气压室5内之后，从阀塞10的第I开口 IOa进入排气通路10c，被排出到排气室7中。这样，阀塞10以及一对提升阀21、26根据被导入至输入气压室2中的输入气压Pn来动作，通过该动作，被放大的输出气压Pol以及Po2通过空气输出管31以及32被输出给阀300。此时，通过调整输入气压Pn的增加方向的压力，来调整使阀300正作用时的输出气压Pol，通过调整输入气压Pn的减少方向的压力，来调整使阀300反作用时的输出气压Po20另外，形成于第I提升阀21中的微细连通路21d，在该第I提升阀21的供气阀21b将要关闭第I连通孔17b的情况下，起到如下的作用，即，使第I输出气压室5的空气通过形成于第I提升阀21中的贯通孔21c，将该空气导向阀塞10的第I排气通路IOcl，使其流出到第I排气室7-1中，还将该空气导入收容有第I弹簧20的阀座保持部18的室内，对第I提升阀21进一步施加推压力，从而迅速地进行第I提升阀21的供气阀21b对第I连通孔17b的闭塞。形成在第2提升阀26上的微细连通路26d也起到相同的作用。
关于该双动型的气动放大器，在阀塞10中设置有使第I开ロ IOa与第I排气室7-1连通的第I排气通路10cl、和使第2开ロ IOb与第2排气室7-2连通的第2排气通路10c2，第I排气通路IOcl和第2排气通路10c2由非通路部分IOd截断。关于该结构，阀塞10可以由非通路部分IOd上下分割或者左右分割，通过螺旋夹等的简单的方法来组装阀塞10,从而能够提闻生广率。又，在该双动型的气动放大器中，第I输出气压室5隔着第I隔膜9-1与第I排气室7-1相邻，第I排气室7-1隔着第2隔膜9-2与偏压室8相邻。又，输入气压室2隔着第3隔膜9-3与偏压室8相邻，第2输出气压室6隔着第5隔膜9_5与第2排气室7_2相邻。从这样的各个室的配置可知，由于输入气压室2 与第I输出气压室5和第2输出气压室6都不相邻，因此不存在分隔输入气压室2和输出气压室5、6之间的隔膜。因此，隔膜9-1 9-5中没有压カ的正负变化剧烈的隔膜，隔膜的耐久性提高。(实施形态2) 在实施形态I (图I)中，是将偏压室8设置在输入气压室2和第I排气室7-1之间，但也可以在第I输出气压室5和第I排气室7-1之间设置偏压室8。图2示出在第I输出气压室5和第I排气室7-1之间设置偏压室8的实例作为实施形态2。在该实例中，偏压室8隔着第I隔膜9-1与第I输出气压室5相邻，且隔着第2隔膜9-2与第I排气室7-1相邻。又，输入气压室2隔着第3隔膜9-3与第I排气室7_1相邻，且隔着第4隔膜9-4与第2排气室7-2相邻。又，第2排气室7_2隔着第5隔膜9_5与第2输出气压室6相邻。在本实施形态2中，在阀塞10中设置有使位于第I输出气压室5的第I开ロ IOa与第I排气室7-1连通的第I排气通路10cl、和使位于第2输出气压室6的第2开ロ IOb与第2排气室7-2连通的第2排气通路10c2，第I排气通路IOcl和第2排气通路10c2由非通路部分IOd截断。在该结构中，第I排气通路IOcl在阀塞10的中央部分朝第I排气室7-1开ロ，但和实施形态I相同地，阀塞10可以由非通路部分IOd上下分割或者左右分割，通过螺旋夹等的简单的方法来组装阀塞10，从而能够提高生产率。又，在该双动型的气动放大器中，第I输出气压室5隔着第I隔膜9-1与偏压室8相邻，输入气压室2隔着第3隔膜9-3与第I排气室7-1相邻。又，输入气压室2隔着第4隔膜9-4与第2排气室7-2相邻，第2输出气压室6隔着第5隔膜9_5与第2排气室7_2相邻。从这样的各个室的配置可知，在实施形态2中，由于输入气压室2与第I输出气压室5和第2输出气压室6都不相邻，因此不存在分隔输入气压室2和输出气压室5、6之间的隔膜。因此，隔膜9-1 9-5中没有压カ的正负变化剧烈的隔膜，隔膜的耐久性提高。又，如上述那样，采用专利文献2所示的结构的话，设置在外壳内的室的数量大幅増加，需要11个室。室的数量増加的话，隔膜的片数等构成部件也増加，气动放大器的容积也变大，从而产生导致收容该气动放大器的定位器的大型化 成本提高这样的问题。相对于此,在上述实施形态1、2中所不的结构中，设在外壳I内的室为输入气压室2、第I供给气压室3、第2供给气压室4、第I输出气压室5、第2输出气压室6、第I排气室7-1、第2排气室7-2以及偏压室8这八个室，隔膜的数量为五个，数量也较少。因此，能够减小气动放大器的容积，能够促进收容该气动放大器的定位器的小型化。另外，在上述实施形态1、2中，在第I提升阀21的内部形成贯通孔21c，形成与该贯通孔21c连通的微细连通路21d，但未必一定要在第I提升阀21中形成这样的贯通孔21c、微细连通路21d。关于第2提升阀26也是同样的。产业上的可利用性 本发明的气动放大器可以作为放大输入气压信号的压力信号放大器利用于进行气动型的调节阀的开度控制的定位器等中。
权利要求
1.一种气动放大器，其特征在于，包括 形成在外壳内的输入气压室、第I供给气压室、第2供给气压室、第I输出气压室、第2输出气压室、第I排气室、第2排气室以及偏压室； 由于被导入至所述输入气压室中的输入气压而发生位移的隔膜； 移动体，所述移动体具有位于所述第I输出气压室的第I开口、位于所述第2输出气压室的第2开口、使所述第I开口与所述第I排气室连通的第I排气通路、和使所述第2开口与所述第2排气室连通的第2排气通路，所述移动体由所述隔膜支承，并在所述外壳内移动； 第I提升阀，所述第I提升阀贯穿过形成在区划所述第I供给气压室和所述第I输出气压室的第I隔壁上的第I连通孔，并被设置为能够移动，所述第I提升阀一体地具有开闭所述移动体的第I开口的第I排气阀以及开闭所述第I连通孔的第I供气阀； 气压室的第2隔壁上的第2连通孔，并被设置为能够移动，所述第2提升阀一体地具有开闭所述移动体的第2开口的第2排气阀以及开闭所述第2连通孔的第2供气阀； 第I弹簧构件，所述第I弹簧构件向所述第I供气阀关闭所述第I连通孔的方向推压所述第I提升阀；和 第2弹簧构件，所述第2弹簧构件向所述第2供气阀关闭所述第2连通孔的方向推压所述第2提升阀， 所述输入气压室与所述第I输出气压室和所述第2输出气压室都不相邻。
2.如权利要求I所述的气动放大器，其特征在于， 所述第I排气室隔着第I隔膜与所述第I输出气压室相邻，且隔着第2隔膜与所述偏压室相邻， 所述输入气压室隔着第3隔膜与所述偏压室相邻，且隔着第4隔膜与所述第2排气室相邻， 所述第2排气室隔着第5隔膜与所述第2输出气压室相邻。
3.如权利要求I所述的气动放大器，其特征在于， 所述偏压室隔着第I隔膜与所述第I输出气压室相邻，且隔着第2隔膜与所述第I排气室相邻， 所述输入气压室隔着第3隔膜与所述第I排气室相邻，且隔着第4隔膜与所述第2排气室相邻， 所述第2排气室隔着第5隔膜与所述第2输出气压室相邻。
全文摘要
本发明的气动放大器提高隔膜的耐久性。将阀塞(移动体)做成分割结构，从而使得生产率提高。在阀塞(10)中设置有使第1开(10a)与第1排气室(7-1)连通的第1排气通路(10c1)、和使第2开(10b)与第2排气室(7-2)连通的第2排气通路(10c2)，做成第1排气通路(10c1)和第2排气通路(10c2)由非通路部分(10d)截断的结构。使第1输出气压室(5)隔着第1隔膜(9-1)与第1排气室(7-1)相邻，使第1排气室(7-1)隔着第2隔膜(9-2)与偏压室(8)相邻，使偏压室(8)隔着第3隔膜(9-3)与输入气压室(2)相邻，使输入气压室(2)隔着第4隔膜(9-4)与第2排气室(7-2)相邻，使第2排气室(7-2)隔着隔膜(9-5)与第2输出气压室(6)相邻。
文档编号F16K15/12GK102734509SQ20121008125
公开日2012年10月17日 申请日期2012年3月23日 优先权日2011年3月30日
发明者稻垣洋辅 申请人:阿自倍尔株式会社