一种用于dns设备平衡调节的垫脚螺栓的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及垫脚螺栓【技术领域】，公开了一种用于DNS设备平衡调节的垫脚螺栓，包括螺杆，设于螺杆一端的螺栓头部，以及套设于螺杆上的螺母，所述螺杆上还设有限制所述螺母沿螺杆长度方向移动的限位机构。本实用新型采用限位机构，可保证DNS设备在安装时，保证多个垫脚螺栓的螺母高度一致，提高了安装精度，降低了安装的偏差。
【专利说明】一种用于DNS设备平衡调节的垫脚螺栓
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及垫脚螺栓【技术领域】，更具体地说，特别涉及一种用于DNS设备平衡调节的垫脚螺栓。
【背景技术】
[0002]在进行DNS设备(DNS设备是大日本网屏公司DAINIPPON SCREEN开发的适用于6英寸和8英寸半导体晶圆片的旋转涂布系统。)安装时，需要保证设备的平衡，传统的方法是:一、先将带垫脚螺栓的螺杆旋入设备，再使用卷尺等辅助工具将各垫脚螺栓的螺母调整至同一高度；二、先将各地脚螺栓的螺母旋至同一高度，再将螺杆旋入设备。第一种方法由于设备底部的空间有限，不便于进行准确的高度测量和调节，精度偏差较大；而第二种方法在旋转螺杆时会带动螺母运动，导致各地脚螺栓之间的高度偏差，往往又要使用卷尺等辅助工具反复调整。因此，有必要设计一种新型结构的垫脚螺栓。
实用新型内容
[0003]本实用新型的目的在于提供一种精度高、偏差小的用于DNS设备平衡调节的垫脚螺栓。
[0004]为了解决以上提出的问题，本实用新型采用的技术方案为:一种用于DNS设备平衡调节的垫脚螺栓，包括螺杆，设于螺杆一端的螺栓头部，以及套设于螺杆上的螺母，所述螺杆上还设有限制所述螺母沿螺杆长度方向移动的限位机构。
[0005]根据本实用新型的一优选实施例:所述限位机构包括设于螺杆长度方向上的多个销钉孔，以及与多个销钉孔相配合的定位销钉。
[0006]根据本实用新型的一优选实施例:所述限位机构包括设于螺杆长度方向上的多个环状卡槽，以及与多个环状卡槽相配合的环状卡块。
[0007]根据本实用新型的一优选实施例:所述定位销钉的头部直径大于销钉孔的直径。
[0008]与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于:本实用新型采用限位机构，可保证DNS设备在安装时，保证多个垫脚螺栓的螺母高度一致，提高了安装精度并且降低了安装的偏差。
【专利附图】
【附图说明】
[0009]图1为本实用新型的用于DNS设备平衡调节的垫脚螺栓实施例一的结构示意图。
[0010]图2为本实用新型的用于DNS设备平衡调节的垫脚螺栓实施例二的结构示意图。
[0011]附图标记说明:1、螺栓头部，2、螺杆，3、螺母，4、销钉孔，5、定位销钉，6、环状卡槽，7、环状卡块。
【具体实施方式】
[0012]下面结合实施例及附图对本实用新型作进一步详细的描述，但本实用新型的实施方式不限于此。
[0013]实施例一:
[0014]参阅图1所示，本实施例提供一种用于DNS设备平衡调节的垫脚螺栓，包括螺杆2，设于螺杆2 —端的螺栓头部1，以及套设于螺杆2上的螺母3，所述螺杆2上还设有限制所述螺母3沿螺杆2长度方向移动的限位机构。
[0015]在本实施例中，限位机构包括设于螺杆2长度方向上的多个销钉孔4，以及与多个销钉孔4相配合的定位销钉5。
[0016]作为优选，上述的螺杆2上有螺纹，螺母3与螺栓头部I均为外六角。
[0017]作为优选，本实施例在螺杆2上分布有4个销钉孔4，直径均为2_，可用于阻止螺母3向螺栓头部I旋动，以确定螺母3与螺栓头部I的距离，可根据需要调整四个销钉孔4的高度。
[0018]作为优选，定位销钉5的头部直径需要略大于销钉孔4的直径，以确保定位销钉5在安装入销钉孔4后的稳定。
[0019]本实施例的垫脚螺栓的安装方法如下:首先确定垫脚高度h(—般略大于设备底部轮子的高度)，其次确定在此高度下的销钉孔4的位置(螺母3与螺栓头部I的距离> h)，然后将各垫脚螺栓的螺母3远离螺栓头部I旋至对应销钉孔4以上，并插上定位销钉5，再将螺母3向定位销钉5方向轻轻旋转，待螺母3触碰定位销钉5后停止旋转，最后将螺杆2旋入机器的底部。
[0020]本实施例的操作简单，安装效率高，省掉了反复测量与调节螺栓高度的过程；同时安装精确度高，同一销钉孔4与螺栓头部I的距离相同，定位销钉5定位后螺母3与螺栓头部I的距离固定。
[0021]实施例二:
[0022]参阅图2所示，本实施例其他与实施例一相同，不同之处在于:本实施例所采用的限位机构包括设于螺杆2长度方向上的多个环状卡槽6，以及与多个环状卡槽6相配合的环状卡块7。在使用时，需要将环状卡块7卡入相应位置的环状卡槽6内，即可保证螺母3旋入位置的高度一致。
[0023]上述实施例为本实用新型较佳的实施方式，但本实用新型的实施方式并不受上述实施例的限制，其他的任何未背离本实用新型的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本实用新型的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种用于DNS设备平衡调节的垫脚螺栓，包括螺杆(2)，设于螺杆(2)—端的螺栓头部(1)，以及套设于螺杆(2)上的螺母(3)，其特征在于:所述螺杆(2)上还设有限制所述螺母(3 )沿螺杆(2 )长度方向移动的限位机构。
2.根据权利要求1所述的用于DNS设备平衡调节的垫脚螺栓，其特征在于:所述限位机构包括设于螺杆(2)长度方向上的多个销钉孔(4)，以及与多个销钉孔(4)相配合的定位销钉(5)。
3.根据权利要求1所述的用于DNS设备平衡调节的垫脚螺栓，其特征在于:所述限位机构包括设于螺杆(2)长度方向上的多个环状卡槽(6)，以及与多个环状卡槽(6)相配合的环状卡块(7)。
4.根据权利要求2所述的用于DNS设备平衡调节的垫脚螺栓，其特征在于:所述定位销钉(5)的头部直径大于销钉孔(4)的直径。
【文档编号】F16B13/10GK203743156SQ201420000222
【公开日】2014年7月30日 申请日期:2014年1月1日 优先权日:2014年1月1日
【发明者】邓丹, 张菊, 魏伟, 汪已琳 申请人:长沙创芯集成电路有限公司