一种真空阀及抽真空设备的制作方法

一种真空阀及抽真空设备的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供一种真空阀及抽真空设备，包括：腔体，所述腔体包括第一接口和第二接口；与所述腔体相对设置的气缸；阀座，连接所述腔体和气缸，并与所述第一接口相对设置，所述阀座包括通孔；轴体，包括连杆，以及分别位于所述连杆两端的密封盘和活塞，所述连杆穿过所述通孔，所述密封盘、活塞分别位于所述腔体、气缸内；弹簧，所述弹簧两端分别与所述密封盘和阀座连接，所述连杆穿过所述弹簧；第一密封圈，设置于所述通孔中，所述连杆穿过所述第一密封圈。本实用新型提供的真空阀，具有较长的使用寿命，并降低成本支出。
【专利说明】
【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及一种阀门，更具体的说，尤其涉及一种真空阀及包括该真空阀的 抽真空设备。 一种真空阀及抽真空设备

【背景技术】
[0002] 真空阀是指工作压力低于标准大气压的阀门。都是由普通阀门改进演变而来，不 同点在于其工作时压力小于大气压，比普通阀门的气密性要好，适用于介质为水和蒸汽的 真空管道上，在火电厂汽机冷凝和真空负压系统中使用最为广泛，主要的作用为启闭装置， 起到真空隔离密封的作用，具有开启速度快，适用范围广的优点。
[0003] 目前，市场上的真空阀大多采用波纹管贯穿腔体的形式来达到密封效果，如图1 所示，图1为现有技术中真空阀的剖视结构示意图。如图所示，真空阀由腔体11和气缸12 组成，通常所述腔体11表面设置有第一接口 1101和第二接口 1102,所述汽缸12中还包含 通气孔1201和出气孔1202。在腔体11内部通过波纹管19控制气体的隔绝和流通，在波纹 管19内部还设置有一弹簧15。当真空阀在工作时，空气由所述通气孔1201向气缸12充 气，轴体14带动弹簧15和波纹管19 一起向气缸12方向运动，此时密封盘1402和第一接 口 1101分离，腔室（未示出）内的空气从第二接口 1102被吸入腔体11进而通过第一接口 1101被抽出，随后所述弹簧15带动所述轴体14和所述波纹管19 一起向第一接口 1101的 方向移动，一次抽真空动作完成。真空阀由此通过所述轴体14的往复运动来实现腔室（未 示出）的抽真空，但轴体14的往复运动容易造成气缸12内的气体逸出，进入腔体11和腔 室（未示出），因此在弹簧15的外围设置可以与轴体14和弹簧15共同运动的波纹管19， 与弹簧15和轴体14共同形成一个密闭空间，用来防止气缸12中的气体逸出进入腔体11 进而进入腔室（未示出），影响真空阀的抽真空效果。但是长期使用后的真空阀在波纹管 19的周期性伸缩后，会出现老化漏气现象，气体从波纹管19逸出进入腔体11，降低抽真空 设备的抽真空能力。在目前抽真空设备使用中的统计情况，该类型真空阀平均每年会因老 化漏气更换一次，由此带来了成本增加的问题。 实用新型内容
[0004] 有鉴于此，本实用新型提供一种真空阀，包括：
[0005] 腔体，所述腔体包括第一接口和第二接口；
[0006] 与所述腔体相对设置的气缸；
[0007] 阀座，连接所述腔体和气缸，并与所述第一接口相对设置，所述阀座包括通孔；
[0008] 轴体，包括连杆，以及分别位于所述连杆两端的密封盘和活塞，所述连杆穿过所述 通孔，所述密封盘、活塞分别位于所述腔体、气缸内；
[0009] 弹簧，所述弹簧两端分别与所述密封盘和阀座连接，所述连杆穿过所述弹簧；
[0010] 第一密封圈，设置于所述通孔中，所述连杆穿过所述第一密封圈。
[0011] 优选地，所述密封盘与所述第一接口匹配设置。
[0012] 优选地，所述阀座在通孔位置有圆环形突出。
[0013] 优选地，所述气缸包括通气孔和出气孔。
[0014] 优选地，所述阀座与所述腔体之间设置有第二密封圈。
[0015] 优选地，所述真空阀包含慢抽真空阀，所述慢性真空阀包括腔体、气缸、阀座、轴 体、弹簧、密封圈、通气孔、出气孔。
[0016] 优选地，所述真空阀还包括法兰盘，所述法兰盘用于连接所述气缸和所述腔体。
[0017] 优选地，一种抽真空设备，包括所述的真空阀。
[0018] 优选地，所述抽真空设备还包括真空泵和腔室，所述真空泵与所述第一接口连接， 所述腔室与所述第二接口连接。
[0019] 本实用新型提供的真空阀，通过使用密封圈的结构可以使阀座与轴体形成一个单 独的密封空间并减少密封空间的范围，而且无需使用波纹管进行密封，因此可以有效避免 因波纹管漏气而导致的真空阀抽真空能力下降。从而延长真空阀的使用寿命，降低成本支 出。

【专利附图】

【附图说明】
[0020] 图1为现有技术中真空阀的剖视结构示意图；
[0021] 图2为本实用新型实施例一提供的真空阀的剖视结构示意图；
[0022] 图3为本实用新型实施例一中气缸与腔体连接的示意图；
[0023] 图4为本实用新型实施例一中气缸与腔体的法兰盘的示意图；
[0024] 图5为本实用新型实施例二提供的真空阀的剖视结构示意图；
[0025] 图6为本实用新型实施例二提供的慢抽真空阀局部放大图。

【具体实施方式】
[0026] 本实用新型提供一种真空阀，包括：腔体，所述腔体包括第一接口和第二接口； 与所述腔体相对设置的气缸；阀座，连接所述腔体和气缸，并与所述第一接口相对设置，所 述阀座包括通孔；轴体，包括连杆，以及分别位于所述连杆两端的密封盘和活塞，所述连杆 穿过所述通孔，所述密封盘、活塞分别位于所述腔体、气缸内；弹簧，所述弹簧两端分别与所 述密封盘和阀座连接，所述连杆穿过所述弹簧；第一密封圈，设置于所述通孔中，所述连杆 穿过所述第一密封圈。
[0027] 本实用新型提供的真空阀，通过密封圈的结构可以使气缸形成一个单独的密闭空 间，从而无需使用波纹管进行密封，因此可以有效避免由于波纹管漏气而导致的干泵抽真 空能力下降的现象。从而减少真空阀的损耗，延长真空阀的使用寿命，降低生产成本。
[0028] 为了使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图来进一步做 详细说明。
[0029] 实施例一
[0030] 请参考图2,图2为本实用新型实施例一提供的真空阀的剖视结构示意图。如图2 所示，所述真空阀包括：腔体21、气缸22、阀座23、轴体24、弹簧25和第一密封圈2601，以 下详细介绍各部件的作用和相互之间的连接关系。
[0031] 腔体21，所述腔体21包括第一接口 2101和第二接口 2102,所述第一接口 2101用 于和一真空泵（未示出）连接，所述第二接口 2102用于和一需要被抽真空的腔室（未示 出）连接。
[0032] 气缸22,所述气缸22与所述腔体21相对设置。
[0033] 阀座23,连接所述腔体21和气缸22,并与所述第一接口 2101相对设置，所述阀座 23包括一通孔2301，所述通孔2301沿腔体21至气缸22的方向设置并贯通所述阀座23。
[0034] 轴体24,所述轴体24包括连杆2401，以及分别位于所述连杆2401两端的密封盘 2402和活塞2403,所述连杆2401穿过所述通孔2301，所述密封盘2402位于所述腔体21 内，而且与所述第一接口 2101匹配设置，也就是说所述密封盘2402可以将第一接口 2101 堵塞住，使其和腔体21可以相互之间不通气。所述活塞2403位于所述气缸22内，并将所 述气缸22分成两部分空间，在阀座23和所述活塞2403之间的空间中，气缸22的壁上还设 置有一通气孔2201，并且所述活塞2403在气缸22的通气孔2201至汽缸22的底部之间的 范围内可以前后活动，所述两部分空间的大小也会随之改变。通气孔2201用于向气缸22 输入气体以推动活塞2403运动进而带动轴体24向气缸22方向运动，气缸22内的气体也 可以通过所述通气孔2201排出气缸22,进而使轴体24向腔体21方向移动。在活塞2403 和气缸22的底部形成的另一空间中，气缸22的壁上还设置有一出气孔2202,用于保证当气 缸22通过通气孔2201充气时，活塞2403带动轴体24向气缸21底部方向移动，此时活塞 2403与气缸22的底部空间中的空气可以通过出气孔2202排出，减小压强，便于活塞2403 运动。
[0035] 弹簧25,所述弹簧25的两端分别与所述密封盘2402和所述阀座23连接，所述连 杆2401穿过所述弹簧25。
[0036] 第一密封圈2601，设置于所述通孔2301中，所述连杆2401穿过所述第一密封圈 2601，在实施例一中设置有3个第一密封圈2601，在其他实施方式中所述第一密封圈2601 的数量并不作出限制。所述第一密封圈2601为氟橡胶类材质，具有良好的耐磨性、耐高温 性、耐老化性能和良好的弹性及稳定性，可以在使轴体24在通孔2301内前后移动的同时保 证轴体24与阀座23之间密封性。以下结合图2说明实施例一提供的真空阀的工作原理： [0037] 真空阀工作时，所述第一接口 2101与一真空泵（未示出）连接，所述第二接口 2102与一需要被抽真空的腔室（未示出）连接。在初始状态下，所述通气孔2201未通入气 体，所述出气孔2202未向气缸外排出气体，所述弹簧25处于未压缩状态，所以连杆2401 - 端的密封盘2402和第一接口 2101接触，将第一接口 2101和腔体21气密隔绝。所述第二 接口 2102和腔体21是连通的，两者的气压相同。
[0038] 当真空阀开始抽真空时，气体通过所述通气孔2201进入所述气缸22中，并且是进 入阀座23和活塞2403之间的部分，所述气缸22中的阀座23和活塞2403之间部分的气体 压强逐渐变大，所述气体可以推动活塞2403向气缸22的底部运动，所述活塞2403和气缸 22底部之间的气体压强逐渐变大，气体通过出气孔2202排出，进而活塞2403带动所述连杆 2401、密封盘2402和弹簧25 -起向所述气缸22的底部方向运动，此时，所述密封盘2402 和第一接口 2101分离，所述弹簧25逐渐被压缩。因为在真空阀开始抽真空动作后，所述密 封盘2402和第一接口 2101分离，因此第一接口 2101和腔体21也变为连通的，进而和第二 接口 2102也是连通的，真空泵可以通过第一接口 2101、腔体21和第二接口 2102将需要被 抽真空的腔室中的气体抽出。随着气缸22中的阀座23和活塞2403之间部分的气体压强 逐渐变大，活塞2403和气缸底部之间的气体逐渐通过出气孔2202排出，最终弹簧逐渐地被 压缩到最大压缩量的位置。
[0039] 随后，气体不再通过通气孔2201向气缸22传输气体，在弹簧25的弹力回复作用 下带动所述轴体24包括活塞2403、密封盘2402和连杆2401 -起向远离气缸22的方向移 动，并且此时所述气缸22中的阀座23和活塞2403之间的气体通过所述通气孔2201排出， 大气中的气体通过出气孔2202进入活塞2403与气缸22底部的空间。随着弹簧25的回复， 所述密封盘2402最后将会与所述第一接口 2101紧密贴合，将第一接口 2101和腔体21、第 二接口 2102气密隔绝，即真空阀又回到了初始状态，完成了一次抽真空运动。
[0040] 本实用新型实施例一提供的真空阀就是通过如上所述的从初始状态开始抽完一 次真空后又回到初始状态，通过所述轴体24和所述弹簧25的共同往复运动来实现腔室的 抽真空效果。实施例一提供的真空阀可通过多次抽真空将腔室内的气压从高气压降至低气 压或者真空，即腔室内的气压是逐渐下降的。因为很多抽真空腔室需要气压平稳和缓慢地 下降，比如器件真空吸附等，如果气压快速的下降可能会对器件造成损伤。实施例一提供的 真空阀是通过轴体24和所述弹簧25的多次共同往复运动来实现腔室气压的逐渐下降，因 此不会对腔室或者腔室内的器件造成损伤。
[0041] 实施例一提供的真空阀，在对腔室进行抽真空时，通过设置在通孔2301中的连杆 2401穿过的第一密封圈2601对腔体21进行小范围的密封，而不需要传统工艺中使用波 纹管对整个腔体进行的大范围密封，简化工艺步骤，又由于第一密封圈2601为氟橡胶类材 质，具有良好的耐磨性、耐高温性、耐老化性能和良好的弹性及稳定性，可以在保证轴体24 与阀座23之间的密封性的同时，维持较长的使用寿命，降低生产成本，解决配置有波纹管 的真空阀在工作时由于长期处于往复运动状态而带来的漏气问题，保持长期使用后仍然较 好的密闭性能。
[0042] 优选地，在实施例一中，所述第二接口 2102的位置位于腔体21的侧壁，但是只要 起到和腔体21的气体连通的作用，所述第二接口 2102位于所述腔体21的任何不与其它器 件重合的位置都可以，实施例一并不对此作出限制。
[0043] 优选地，在实施例一中，在所述阀座23朝向第一接口 2101 -侧设置有圆柱形突出 部2302,所述通孔2301也贯通所述圆柱形突出部2302,所述连杆2401嵌合在所述圆柱形 突出部2302中。所述圆柱形突出部2302可以更好的保证连杆2401运动方向的精确性， 进而保证密封盘2402将第一接口 2101和腔体21、第二接口 2102气密隔绝的作用，同时还 可以起到固定弹簧25的作用。
[0044] 优选地，实施例一中，所述通孔2301内部为每隔15±10%mm设置一个第一密封圈 2601，第一密封圈2601若设置的间隔小于此范围，会导致由于设置的过于紧密而造成不必 要的材料浪费，若设置的间隔大于此范围，则会引起由于第一密封圈2601设置的过于疏松 而造成的密封效果下降，出现漏气现象。
[0045] 优选地，所述真空阀还包括一第二密封圈2602,所述第二密封圈2602设置于所述 阀座23与所述腔体21之间，用以防止气缸22和阀座23漏气，保持腔体21的密闭性，从而 避免气体从所述气缸22逸出进入所述腔体21，影响真空阀的抽真空效果。
[0046] 实施例一中，所述腔体21和气缸22是通过法兰接口连接的，但是腔体21和气缸 22还可以有其他连接方式，实施例一并不对此作出限定。请参考图3和图4,图3为本实用 新型实施例一中气缸与腔体连接的示意图，图4为本实用新型实施例一中气缸与腔体的法 兰盘的不意图。
[0047] 实施例一中，所述腔体21与所述气缸22均为中空的圆柱形结构，在腔体21靠近 气缸22的一端设置有法兰盘2103,气缸22靠近腔体21的一端还设置有法兰盘2203,且在 法兰盘2103、法兰盘2203和阀座23的外沿上都平均分布有8个孔眼2702,用来连接腔体 21、阀座23和气缸22,此处优选使用六角螺栓2701作为紧固件，所述六角螺栓2701穿过所 述法兰盘2103、法兰盘2203和阀座23中的孔眼2702,将腔体21、阀座23和气缸22固定在 一起。
[0048] 请参考图4,图4是从气缸22 -侧的法兰盘示意图，因此图4中只能看见气缸22 的法兰盘2203,但实质上此处是气缸22的法兰盘2203、阀座23的外沿和腔体21的法兰盘 2103三者叠加在一起的结构。
[0049] 通过使用孔眼2702、法兰盘2103和法兰盘2201来连接腔体21、阀座23和气缸22， 可以使所述真空阀具有便于安装拆卸、方便维修的优点，同时增强连接的稳定性，长期使用 后连接处不易松动。
[0050] 实施例一还提供一种抽真空设备，所述抽真空设备包括所述真空阀，而且所述抽 真空设备还包括真空泵和腔室，所述真空泵与所述第一接口连接，所述腔室与所述第二接 口连接。
[0051] 实施例二
[0052] 请参考图5和图6,图5为本实用新型实施例二提供的真空阀的剖视结构示意图， 图6为本实用新型实施例二提供的慢抽真空阀局部放大图。图5所示实施例二与图2所示 实施例一仅有微小的区别，因此图2的标号被沿用来表示相同的结构元件。
[0053] 本实施例中所述真空阀除了包括实施例一中真空阀的结构外，还包括一慢抽真空 阀28,所述慢抽真空阀28位于腔体21的外壁上，靠近第一接口 2101处，与所述腔体21相 连通，用于将腔体21内的空气以较低的速率从腔体21抽出并导入真空泵（未示出），保持 腔室（未示出）的真空效果。请参考图6,所述慢抽驱动阀28包括：腔体61，气缸62,轴体 64,弹簧65和第一密封圈6601，以下详细介绍各部件的作用和相互之间的连接关系。
[0054] 腔体61，所述腔体61包括第一接口 6101和第二接口 6102,第一接口 6101和所述 真空阀的第一接口 2101连接，进而所述慢抽真空阀28和真空阀可以使用同一真空泵将腔 室（未示出）内的气体通过所述第一接口 6101进而通过所述真空阀的第一接口 2101抽入 真空泵（未示出），第二接口 6102和所述真空阀的腔体21连接，与所述真空阀的腔体21和 需要被抽真空的腔室（未示出）均处于连通状态。
[0055] 气缸62,所述气缸62与所述腔体61相对设置；阀座63,连接所述腔体61和气缸 62,并与所述第一接口 6101相对设置，所述阀座63包括一通孔6301，所述通孔6301沿腔体 61至气缸62的方向设置并贯通所述阀座63。
[0056] 轴体64,所述轴体64包括连杆6401，以及分别位于所述连杆6401两端的密封盘 6402和活塞6403,所述连杆6401穿过所述通孔6301，所述密封盘6402位于所述腔体61 内，而且与所述第一接口 6101匹配设置，也就是说所述密封盘6402可以将第一接口 6101 堵塞住，使其和腔体61可以相互之间不通气，所述活塞6403位于所述气缸62内，并将所述 气缸62分成两部分空间。在阀座63和所述活塞6403之间的空间中，气缸62的壁上还设 置有一通气孔6201，并且所述活塞6403在气缸62的通气孔6201至汽缸62的底部壁之间 的范围内可以前后活动，所述两部分空间的大小也会随之改变。通气孔6201用于向气缸62 输入气体以推动活塞6403运动进而带动轴体64向气缸62方向运动。气缸62内的气体也 可以通过所述通气孔6201排出气缸62,进而使轴体64向腔体61方向移动。在活塞6403 和气缸62的底部形成的另一空间中，气缸62的壁上还设置有一出气孔6202,用于保证当 气缸62通过通气孔6201充气时，活塞6403带动轴体64向气缸62底部方向移动，此时活 塞6403与气缸62的底部的空间中的空气可以通过出气孔6202排出，减小压强，便于活塞 运动。
[0057] 弹簧65,所述弹簧65的两端分别与所述密封盘6402和所述阀座63连接，所述连 杆6401穿过所述弹簧65。
[0058] 第一密封圈6601，设置于所述通孔6301中，所述连杆6401穿过所述第一密封圈 6601，在实施例二中设置有3个第一密封圈6601，在其他实施方式中所述第一密封圈6601 的数量还可以为其他数量，在此不做限制。所述第一密封圈6601为氟橡胶类材质，具有良 好的耐磨性、耐高温性和、耐老化性能，而且橡胶还具有和良好的弹性和及稳定性，可以使 轴体64在通孔6301内前后移动的同时保证轴体64与阀座63之间密封性，并延长真空阀 的使用寿命。
[0059] 本实施例中的真空阀与实施例一中的真空阀的工作原理相同，仅在结构上有微小 的不同，此处不加以一一描述。不同之处在于所述慢抽真空阀的通气孔6201直径小于实施 例一中所述真空阀的通气孔2201的直径，因此所述慢抽驱动阀28的进气速率小于所述真 空阀，所以可以降低抽真空的速率，以更加平缓的速率对腔室（未示出）进行抽真空，保护 器件不受损害。当腔室（未示出）对抽真空的速率要求降低，同时对器件的保护要求提高 时，需要对腔室（未示出）以较慢的速率进行抽真空，此时可采用所述慢抽驱动阀28对腔 室（未示出）进行抽真空，进而慢抽真空阀28开始工作，所述真空阀停止工作。腔室（未 示出）内的气体通过第二接口 6102被吸入慢抽真空阀28的腔体61，通过慢抽真空阀28的 往复运动将吸入的气体通过第一接口 6101进而通过所述真空阀的第一接口 2101排出至真 空泵（未示出），真空阀和慢抽真空阀28均为独立工作，不能同时使用，需根据产品的具体 要求进行选择。
[0060] 实施例二提供的真空阀，在对腔室进行抽真空时，通过设置在通孔2301中的连杆 2401穿过的第一密封圈2601对腔体进行小范围的密封，而不需要传统工艺中使用波纹管 对整个腔体进行的大范围密封。同时因配置有慢抽驱动阀28,可以根据生产的产品情况选 择抽真空的速率，当产品需要以较为平缓的速率抽真空以保证气压平稳下降时，可选择使 用慢抽驱动阀28进行抽真空，而当需要对腔室进行快速的抽真空时，可以选择使用真空阀 对腔室进行抽真空，具有较大的选择范围。又由于第一密封圈2601为氟橡胶类材质，具有 良好的耐磨性、耐高温性、耐老化性能和良好的弹性及稳定性，可以在保证轴体24与阀座 23之间的密封性的同时，维持较长的使用寿命，降低生产成本，解决配置有波纹管的真空 阀在工作时由于长期处于往复运动状态而带来的漏气问题，保持长期使用后仍然较好的密 闭性能。
[0061] 优选地，在实施例二中，所述慢抽驱动阀28的位置位于所述腔体21的侧壁且靠近 第一接口 2101，但是只要起到和腔体21以及第一接口 2101的气体连通的作用，所述慢抽驱 动阀28位于所述腔体21的任何不与其它器件重合的位置都可以，实施例二并不对此作出 限制。
[0062] 优选地，在实施例二中，所述第二接口 6102的位置位于腔体61的侧壁，但是只要 起到和腔体61的气体连通的作用，所述第二接口 6102位于所述腔体61的任何不与其它器 件重合的位置都可以，实施例二并不对此作出限制。
[0063] 优选地，在实施例二中，在所述阀座63朝向第一接口 6101 -侧设置有圆柱形突出 部6302,所述通孔6301也贯通所述圆柱形突出部6302,所述连杆6401嵌合在所述圆柱形 突出部6302中。所述圆柱形突出部6302可以更好的保证连杆6401运动方向的精确性，进 而保证密封盘6402将第一接口 2101和腔体61、第二接口 6102气密隔绝的作用，同时还可 以起到固定弹簧65的作用。
[0064] 优选地，实施例二中，所述通孔6301内部为每隔15±10%mm设置一个第一密封圈 6601，第一密封圈6601若设置的间隔小于此范围，会导致由于设置的过于紧密而造成不必 要的材料浪费，若设置的间隔大于此范围，则会引起由于第一密封圈6601设置的过于疏松 而造成的密封效果下降，出现漏气现象。
[0065] 优选地，所述真空阀还包括一第二密封圈6602,所述第二密封圈6602设置于所述 阀座63与所述腔体61之间，用以防止气缸62和阀座63漏气，保持腔体61的密闭性，从而 避免气体从所述气缸62逸出进入所述腔体61，影响真空阀的抽真空效果。
[0066] 实施例二还包括一种抽真空设备，所述抽真空设备包括所述真空阀，而且所述抽 真空设备还包括真空泵和腔室，所述真空泵与所述第一接口连接，用于将所述腔体内的气 体吸出，保证真空阀的密闭性，所述腔室与所述第二接口连接，因此腔室内的气体可以进入 所述腔体进而排出至所述真空泵，保证腔室的真空性能良好。
[0067] 本实用新型提供的真空阀，在对腔室进行抽真空时，通过位于腔体和阀座之间以 及轴体与阀座嵌合位置的密封圈对真空阀进行小范围的密封，可以解决配置有波纹管的真 空阀在工作时由于长期处于往复运动状态而带来的漏气问题。综上，本实用新型提供的真 空阀能够能够减小密封空间，优化密封效果，延长使用时间，并降低成本支出。
[〇〇68] 显然，本领域的技术人员可以对实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新 型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其 等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包括这些改动和变型在内。
【权利要求】
1. 一种真空阀，其特征在于，包括： 腔体，所述腔体包括第一接口和第二接口； 与所述腔体相对设置的气缸； 阀座，连接所述腔体和气缸，并与所述第一接口相对设置，所述阀座包括通孔； 轴体，包括连杆，以及分别位于所述连杆两端的密封盘和活塞，所述连杆穿过所述通 孔，所述密封盘、活塞分别位于所述腔体、气缸内； 弹簧，所述弹簧两端分别与所述密封盘和阀座连接，所述连杆穿过所述弹簧； 第一密封圈，设置于所述通孔中，所述连杆穿过所述第一密封圈。
2. 如权利要求1所述的真空阀，其特征在于，所述密封盘与所述第一接口匹配设置。
3. 如权利要求1所述的真空阀，其特征在于，所述阀座在通孔位置有圆环形突出。
4. 如权利要求1所述的真空阀，其特征在于，所述气缸包括通气孔和出气孔。
5. 如权利要求1所述的真空阀，其特征在于，所述阀座与所述腔体之间设置有第二密 封圈。
6. 如权利要求1所述的真空阀，其特征在于，所述真空阀包含慢抽真空阀，所述慢抽真 空阀包括腔体、气缸、阀座、轴体、弹簧、密封圈、通气孔、出气孔。
7. 如权利要求6所述的真空阀，其特征在于，所述慢抽真空阀的通气孔直径小于所述 真空阀的通气孔直径。
8. 如权利要求1所述的真空阀，其特征在于，所述真空阀还包括法兰盘，所述法兰盘用 于连接所述气缸和所述腔体。
9. 一种抽真空设备，包括如权利要求1-7任一所述的真空阀。
10. 如权利要求9所述的抽真空设备，其特征在于，所述抽真空设备还包括真空泵和腔 室，所述真空泵与所述第一接口连接，所述腔室与所述第二接口连接。
【文档编号】F16K51/02GK203892709SQ201420136096
【公开日】2014年10月22日 申请日期:2014年3月25日 优先权日:2014年3月25日
【发明者】孟凡清, 陈争明, 季宏兵 申请人:上海天马微电子有限公司, 天马微电子股份有限公司