一种基板吸盘安装调平机构和一种激光封装设备的制作方法

本实用新型涉及一种基板吸盘安装调平机构和一种激光封装设备。

背景技术：

有机发光二极管(OLED)是平板显示和照明领域的一个重大发展方向。根据OLED的工艺需求，由于OLED芯片的寿命极易受到氧气、水气的影响，因此需要将其封装在密闭空间里，以隔离外部环境。激光封装是目前封装OLED芯片的一个有前景的工艺手段，采用相应的激光封装设备完成激光封装工艺。

运动台是激光封装设备核心部分之一，位于运动台的基板吸盘的安装精度及精度保持情况影响到封装质量及稳定性，现有设备中的基板吸盘安装调平，是通过修磨垫片或增减塞片实现，首先需要将基板吸盘锁紧在调平基座上，测量各处高度，计算修磨量或塞片厚度，然后松开锁紧，取出垫片加修磨或增减塞片，再锁紧测量，反复多次，直至达到精度要求，操作麻烦；且采用的垫片或塞片，硬度低，硬度值25HRC左右，与基板吸盘和调平基座间为面接触，一方面，接触刚性低，造成安装重复精度低，另一方面，对基板吸盘和调平基座的安装面加工精度需求高，增加生产成本。

技术实现要素：

本实用新型提供了一种基板吸盘安装调平机构，用以解决现有技术中通过修磨垫片或增减塞片实现基板调平出现的组件加工成本高、安装精度及重复安装精度低的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：

一种基板吸盘安装调平机构，包括调平基座和设置在所述调平基座上的至少三组调平组件，且所述调平组件非直线排列，基板吸盘设置在所述调平组件上，以其中一组所述调平组件为基准，调节其它组调平组件，几个反复即可调平，调平精度高。

作为优选，所述调平基座上设有与所述调平组件对应的孔，所述调平组件设置在所述孔中，可以固定所述调平组件相对所述调平基座的位置。

作为优选，所述调平组件包括支撑件、调整件和锁紧机构，所述支撑件设置在所述孔中，所述调整件设置在所述支撑件上并通过所述锁紧机构锁紧在所述调平基座上。

作为优选，所述支撑件为成对设置的1/4圆柱，所述1/4圆柱关于所述调整件对称设置，所述调整件设置在所述支撑件上，通过所述1/4圆柱的圆柱面支撑所述调整件。

作为优选，所述孔为方形孔，所述1/4圆柱的截面靠所述方形孔的侧壁设置，进一步固定所述1/4圆柱。

作为优选，所述调整件包括上下设置的螺柱部分和球台部分，所述螺柱部分用于设置基板吸盘，所述球台部分设置在所述1/4圆柱上，并且所述球台部分的球面与所述1/4圆柱的圆柱面接触，形成柱面点接触，一组所述调整组件设有一组柱面点接触，至少有两个触点，三组所述调整组件至少有六个触点，提高接触刚性，从而使得重复安装精度提高。

作为优选，所述1/4圆柱和所述球台部分的表面设有硬铬镀层，所述硬铬镀层区别于装饰铬镀层，厚度一般在20μm以上，所述硬铬镀层硬度55HRC以上，使得所述调平组件接触刚性提高，从而使得重复安装精度提高。

作为优选，所述锁紧机构包括锁紧螺栓，所述锁紧螺栓依次穿过所述螺柱部分和球台部分并设置在所述调平基座上，将所述调整件锁紧在所述调平基座上。

作为优选，所述锁紧机构还包括弹簧，所述弹簧套设在所述锁紧螺栓上， 且一端连接所述支撑件，另一端连接所述锁紧螺栓，所述弹簧提供预紧力，在保证所述支撑件与所述调整件的接触刚性前提下，约束所述锁紧螺栓的锁紧力。

与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：

(1)所述基板吸盘安装调平机构设置三组柱面点接触，对基板吸盘进行六自由度定位，所述基板吸盘安装调平机构调平操作简单，只需调整一组调平机构对应的基板吸盘高度，以该组为基准，精确调节其它组，调平精度高；

(2)组成所述调平组件各机构之间以触点形式接触，因此对所述调平组件的加工精度要求低，所述1/4圆柱固定设置在所述调平基座上，对调平基座的加工精度需求低，相应的生产成本降低；

(3)本实用新型所述基板吸盘安装调平机构调平操作简单，用低成本的零件达到高精度及重复安装精度效果。

本实用新型还提供一种激光封装设备，包括上述基板吸盘安装调平机构。

与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：本实用新型所述激光封装设备能够精确调整基板吸盘的安装精度并且保持基板吸盘精确的安装精度，保证封装质量及其稳定性。

附图说明

图1是本实用新型一具体实施例的所述基板吸盘安装调平机构的结构示意图；

图2是本实用新型一具体实施例的所述调平组件的结构示意图。

图1～2中所示：10-调平基座、11-方形孔、20-调平组件、21-1/4圆柱、22-锁紧螺栓、23-弹簧、241-螺柱部分、242-球台部分、30-基板吸盘。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附 图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。需说明的是，本实用新型附图均采用简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

一种基板吸盘安装调平机构，如图1所示，包括调平基座10和三组调平组件20，所述调平基座10上设有三个方形孔11，三组所述调平组件20对应设置在所述方形孔11中，所述基板吸盘30设置在所述调平组件20上。

请重点参考图2，所述调平组件20包括一组1/4圆柱21、调整件、锁紧螺栓22、弹簧23，所述调整件包括上下设置的螺柱部分241和球台部分242，所述1/4圆柱21对称粘结在所述方形孔11中，并且所述1/4圆柱21的截面紧靠所述方形孔11的侧壁设置，所述调整件设置在所述1/4圆柱21上，所述锁紧螺栓22依次穿过所述螺柱部分241和所述球台部分242并旋入所述调平基座10，所述弹簧23套设在所述锁紧螺栓22上，且一端连接所述螺柱部分241，另一端连接所述锁紧螺栓22，所述球台部分242设置在所述1/4圆柱21上，以1/4圆柱21的数量为两个为例，两个1/4圆柱21关于所述球台部分242对称设置，且两个所述1/4圆柱21的圆柱面分别与所述球台部分242两侧的球面接触，采用柱面点接触的方式支撑所述调整件，所述螺柱部分241连接所述基板吸盘30。

本实用新型的具体操作方式如下：拧动一组所述调平组件20的所述锁紧螺栓22，所述基板吸盘30垂向调整高度，直至达到所需要的高度，所述锁紧螺栓22锁紧，剩余两组所述调平组件20以该组为基准调整。

本领域的技术人员可以对实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包括这些改动和变型在内。