技术特征：
技术总结
本发明涉及用于和借助真空阀的优化的压力调节。阀系统有真空阀和调节控制单元，真空阀包括：阀座，带限定开口轴线的阀开口和围绕阀开口的第一密封表面；闭合阀开口的阀闭合件，带第二密封表面；驱动单元，联接阀闭合件，使阀闭合件限定可变，提供闭合位置。控制调节单元执行调节周期，其中在预先调节步骤中，阀闭合件移动到限定的实际预先调节位置；调节步骤，基于实际确定的控制变量和目标值执行闭合位置的特定变化。调节控制单元有更新功能，执行中：至少在一部分调节周期记录控制变量，导出实际调节廓线；实际调节廓线与参考调节廓线比较，导出调节偏差；修正实际预先调节位置；修正的预先调节位置设为调节周期的实际预先调节位置。
技术研发人员：W·梅德莱纳;L·马鲁格;H·松德雷格
受保护的技术使用者：VAT控股公司
技术研发日：2018.03.06
技术公布日：2018.09.25