一种真空室用翻板阀门装置的制作方法

本发明涉及真空镀膜设备，具体为一种真空室用翻板阀门装置。

背景技术：

在卫浴产品、汽车装饰、五金工具、五金模具、电子行业用品等的单体镀膜机中，隔断真空室和高真空管路一般采用在真空室和高真空管路中间放入一个插板阀进行隔断，进口的插板阀价格昂贵，交期长，国产的插板阀结构性能不稳定，运行一段时间后有漏气的风险，必须通过专用渠道购买易损备件，时间长，严重影响到产品的正常运行。

技术实现要素：

针对上述现有技术中存在的问题，本发明提供一种能够替代插板阀、密封性能好、结构简单、成本低的真空室用翻板阀门装置。

本发明采用的技术方案如下：一种真空室用翻板阀门装置，包括阀板，所述阀板上设有一组以上的连接装置，所述连接装置包括两根平行设置的连接杆，在两个连接杆之间设有连接座，连接座与连接杆之间通过轴活动连接，所述连接座通过螺杆与阀板连接，在连接座与阀板之间的螺杆上套有蝶形弹簧，在连接座两侧的连接杆上各设有一穿透连接杆与阀板接触的调节杆，连接杆固定在一通轴上，通轴两端分别与穿透真空室壁的联轴器连接，联轴器与真空室壁之间通过磁流体密封装置连接，联轴器另一端连接驱动装置。

进一步地，在连接座上设有两根与阀板连接的螺杆，两根螺杆上均套有蝶形弹簧。

进一步地，在阀板上与调节杆对应位置处设有定位槽。

进一步地，在通轴上连接有支撑装置，所述支撑装置一端套在通轴上，另一端固定在阀门固定框上。

进一步地，所述驱动装置包括气缸、与气缸连接的齿条、固定在联轴器上并与齿条配合的齿轮。

进一步地，齿条旁还设有导向装置，所述导向装置包括支杆以及固定在支杆上导向块，导向块与支杆通过轴承连接并与齿条相配合。

本发明的真空室用翻板阀门装置，均匀分布在连接杆上的调节杆可以对因加工和装配给密封造成的误差进行修正，阀门关闭时可通过蝶形弹簧调整密封区域的间隙，有效保证了真空环境下的密封性能；阀门通过气缸做开启和关闭动作，气缸动作带动齿条、齿轮工作，传动通过磁流体密封装置引入，简化了传统的传动引入动密封结构，避免了漏气风险；导向装置能够有效保证齿轮齿条的正常工作。该装置结构简单、加工方便，成本较插板阀有更好的优势，易损件都是常规产品，有效降低了生产成本和提高了运行效率。

附图说明

图1是本发明的正面结构示意图。

图2是本发明的侧面的结构示意图。

图3是图1中a-a向示意图。

图4是图2中b处局部放大图。

具体实施方式

为了便于理解本发明，下文将结合说明书附图和较佳的实施例对本发明作更全面、细致地描述，但本发明的保护范围并不限于以下具体的实施例。

如图1-图4所示，一种真空室用翻板阀门装置，包括阀板1，所述阀板1上设有一组以上的连接装置，所述连接装置包括两根平行设置的连接杆2，在两个连接杆2之间设有连接座3，连接座3与连接杆2之间通过轴4活动连接，所述连接座3通过两根螺杆5与阀板1连接，在连接座3与阀板1之间的螺杆5上套有蝶形弹簧6，在连接座3两侧的连接杆2上各设有一穿透连接杆2与阀板1接触的调节杆7，在阀板1上与调节杆7对应位置处设有定位槽，通过调整调节杆7伸出的长度，可以对因加工和装配给密封造成的误差进行修正，阀门1关闭时可通过蝶形弹簧6调整密封区域的间隙，有效保证了真空环境下的密封性能。连接杆2固定在一通轴8上，在通轴8上连接有支撑装置9，所述支撑装置9一端套在通轴8上，另一端固定在阀门固定框10上。通轴8两端分别与穿透真空室壁的联轴器连接，联轴器与真空室壁之间通过磁流体密封装置11连接，联轴器另一端连接驱动装置。所述驱动装置包括气缸12、与气缸12连接的齿条13、固定在联轴器上并与齿条13配合的齿轮14。齿条13旁还设有导向装置，所述导向装置包括支杆15以及固定在支杆15上导向块16，导向块16与支杆15通过轴承连接并与齿条相配合。阀门通过气缸做开启和关闭动作，气缸动作带动齿条、齿轮工作，传动通过磁流体密封装置引入，简化了传统的传动引入动密封结构，避免了漏气风险；导向装置能够有效保证齿轮齿条的正常工作。

在前述说明书与相关附图中存在的教导的帮助下，本发明所属领域的技术人员将会想到本发明的许多修改和其它实施方案。因此，要理解的是，本发明不限于公开的具体实施方案，修改和其它实施方案被认为包括在所附权利要求的范围内。尽管本文中使用了特定术语，它们仅以一般和描述性意义使用，而不用于限制。

技术特征：

技术总结
本发明公开了一种真空室用翻板阀门装置，包括阀板，所述阀板上设有一组以上的连接装置，所述连接装置包括两根平行设置的连接杆，在两个连接杆之间设有连接座，连接座与连接杆之间通过轴活动连接，所述连接座通过螺杆与阀板连接，在连接座与阀板之间的螺杆上套有蝶形弹簧，在连接座两侧的连接杆上各设有一穿透连接杆与阀板接触的调节杆，连接杆固定在一通轴上，通轴两端分别与穿透真空室壁的联轴器连接，联轴器与真空室壁之间通过磁流体密封装置连接，联轴器另一端连接驱动装置。本发明密封性能好、结构简单、加工方便、成本低，易损件都是常规产品，有效降低了生产成本和提高了运行效率。

技术研发人员：舒逸;刘光斗;李赞
受保护的技术使用者：湖南玉丰真空科学技术有限公司
技术研发日：2018.12.16
技术公布日：2019.02.19