一种用于精密仪器的三足式防微振支腿的制作方法

本实用新型属于精密仪器基础技术领域，具体是一种用于精密仪器的三足式防微振支腿。

背景技术：

目前，在半导体和光电厂行业中，对于有防振要求的精密仪器，常规的做法就是给精密仪器安装钢结构防振基座，大概有钢板类、象腿类、钢结构类和混凝土类四种，防微振能力也是由弱到强。

大象支腿，是精密仪器常使用的轻型防震基座，传统的大象支腿结构通过旋转螺纹杆来实现对大象腿高度的调整。但是这种形式的大象腿支腿存在很多弊端，①对支腿的制作精度要求很高，支撑面平面必须与支撑柱的轴线垂直，否则一旦调整支腿高度，支撑面将发生不可控的摆动；②由于是通过旋转螺纹杆的方式来调节高度，所以对支腿的安装要求很高，支撑柱的轴线必须与高压地板垂直，这就需要使用水平设备反复的验证。所以传统的大象支腿不单制作时费时费力，也给支腿的安装带来了很多麻烦。

技术实现要素：

鉴于以上内容，本实用新型提供一种用于精密仪器的三足式防微振支腿，以解决上述背景技术中存在的问题。

一种用于精密仪器的三足式防微振支腿，包括支撑盘和支撑管，所述支撑盘的下部设有关节螺栓，所述关节螺栓上套设有锁紧螺母，所述支撑管上部设有螺纹盘，所述支撑管下部设有地脚。

优选地，所述支撑盘上部设有用于与基座安装固定的螺栓孔。

优选地，所述支撑盘上部还设有水准泡。

优选地，所述关节螺栓为三个，呈等腰三角形分布。

优选地，所述螺纹盘与支撑管之间采用焊接固定。

优选地，所述螺纹盘上设有用于与所述关节螺栓连接相匹配的螺栓孔。

优选地，所述地脚与支撑管之间采用焊接固定。

优选地，所述地脚呈矩形，四个角上设有用于安装固定的螺栓孔。

本发明的有益效果为：

本实用新型一种用于精密仪器的三足式防微振支腿，制作工序简单，成本低，可以实现现场安装，在现场安装时只用考虑支腿的安装位置，支腿的垂直度和水平度都可以在安装后进行调节，另外，在设备运转过程中，如果发生支腿轻微倾斜仍可以还可以通过3个关节螺栓和水准泡调节支腿的垂直度和水平度，降低了现场安装的难度，方便了现场的调节工作。

附图说明

图1为本实用新型一种用于精密仪器的三足式防微振支腿立体结构示意图。

图2为本实用新型一种用于精密仪器的三足式防微振支腿A-A部剖面结构示意图。

图3为本实用新型一种用于精密仪器的三足式防微振支腿安装于洁净室地面上发生倾斜时的立体结构示意图。

图中1-地脚，2-支撑管，3-螺纹盘，4-关节螺栓，5-支撑盘，6-锁紧螺母，7-水准泡，8-螺栓孔，9-螺栓孔，10-螺栓孔，11-洁净室地板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述地实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动成果前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

一种用于精密仪器的三足式防微振支腿，包括支撑盘5和支撑管2，所述支撑盘5的下部设有关节螺栓4，所述关节螺栓4上套设有锁紧螺母6，所述支撑管2上部设有螺纹盘4，所述支撑管2下部设有地脚1。所述支撑盘5上部设有用于与基座安装固定的螺栓孔11，所述支撑盘5上部还设有水准泡7。所述关节螺栓4为三个，呈等腰三角形分布。所述螺纹盘3与支撑管2之间采用焊接固定，所述螺纹盘3上设有用于与所述关节螺栓4连接相匹配的螺栓孔9。所述地脚1与支撑管2之间采用焊接固定，所述地脚1呈矩形，四个角上设有用于安装固定的螺栓孔8。

所述一种用于精密仪器的三足式防微振支腿，安装时通过支撑盘5上的螺栓孔11与基座顶板的下部栓接固定，通过地脚1上的螺栓孔8与洁净室地板栓接固定，在安装时只用考虑支腿的安装位置，支腿的垂直度和水平度都可以在安装后进行调节。另外，在设备运转过程中，如果发生支腿轻微倾斜仍可以还可以通过3个关节螺栓和水准泡调节支腿的垂直度和水平度。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。