一种真空管路防倒流阀的制作方法

本实用新型涉及一种阀门，尤其涉及一种设置在真空泵与真空管路之间防止大气倒灌的防倒流阀。

背景技术：

半导体设备有许多腔体是真空状态，需要利用真空泵抽真空。腔体到真空泵的管路比较长，压力计与阻隔阀是安装在腔体端的，当真空泵有故障时，真空泵端的气压大于腔体的压力，腔体阻隔阀一般都不能第一时间关闭，有时间差，要等真空泵端的气压传递到腔体端的压力计时，压力计检测到压力高后传输给主机台控制系统，控制系统再发命令关闭阻隔阀。

这样导致大气管道中的脏颗粒回灌到腔体中，腔体中会产生很多微小的脏颗粒，缺点是：一、导致晶圆报废；二、会使腔体的颗粒浓度升高，半导体工艺中会严格控制颗粒，这样要对腔体进行清洗。一般清洗腔体加上测机时间在8小时以上，浪费了很多机台的时间，降低了工作效率。

技术实现要素：

本实用新型要解决的技术问题是克服现有的缺陷，提供一种真空管路防倒流阀，保护晶圆，避免腔体受到污染。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：

一种真空管路防倒流阀，包括阀壳，所述阀壳上端设置有管路连接口，所述阀壳下端设置有真空泵连接口，所述管路连接口和真空泵连接口上下位置对应，所述管路连接口和真空泵连接口的连线旁侧的阀腔内设置有与所述连线平行的隔板，所述隔板上设置有通孔，所述通孔处垂直贯穿设置有阀轴，所述阀轴与所述隔板滑动连接，所述阀轴靠近所述管路连接口的端部上端面设置有密封盘，所述阀轴上在所述密封盘与隔板之间套装设置有挡板，所述挡板与隔板之间设置有第一弹簧，所述阀轴的另一端部设置有外部磁极，所述外部磁极旁侧设置有控制器，所述控制器靠近所述外部磁极的一侧内置有通电磁极；所述阀壳下端在所述真空泵连接口旁边设置有检测口，所述检测口连接有压力感应器，所述压力感应器与所述控制器通过信号线连接；所述第一弹簧释放时，所述密封盘位于所述管路连接口的下方。

进一步地，所述阀轴靠近所述管路连接口的端部设置有竖直连接孔，所述竖直连接孔内贯穿设置有竖直连杆，所述竖直连杆与所述竖直连接孔滑动连接，所述竖直连杆的下端设置有挡块，所述竖直连杆的上端固定连接有所述密封盘，所述阀轴与所述挡块之间设置有第二弹簧，所述阀轴与所述密封盘之间设置第三弹簧；所述阀轴端部在所述竖直连杆的前端设置有固定板，所述固定板上设置有水平连接孔，所述水平连接孔内贯穿设置有顶针，所述顶针与所述水平连接孔滑动连接，所述顶针靠近所述密封盘的一端设置为左高右低的斜面端部，所述斜面端部插入到所述密封盘的下方且不与所述竖直连杆接触，所述顶针的另一端设置有挡圈，所述挡圈与所述固定板之间设置有第四弹簧。

进一步地，所述竖直连接孔、竖直连杆、第二弹簧和第三弹簧均设置有两个。

进一步地，所述密封盘的上端面设置有橡胶膜。

进一步地，所述挡板与所述阀壳的内壁之间设置有密封圈。

本实用新型一种真空管路防倒流阀，检测压力异常时自动关断，反应时间短，有效阻断倒流，保护晶圆，避免腔体受到污染。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

如图1所示，一种真空管路防倒流阀，包括阀壳1，阀壳1上端设置有管路连接口，阀壳1下端设置有真空泵连接口，管路连接口和真空泵连接口上下位置对应，管路连接口和真空泵连接口的连线旁侧的阀腔内设置有与连线平行的隔板2，隔板2上设置有通孔，通孔处垂直贯穿设置有阀轴3，阀轴3与隔板2滑动连接，阀轴3靠近管路连接口的端部上端面设置有密封盘4，阀轴3上在密封盘4与隔板2之间套装设置有挡板5，挡板5与隔板2之间设置有第一弹簧，阀轴3的另一端部设置有外部磁极6，外部磁极6旁侧设置有控制器7，控制器7靠近外部磁极6的一侧内置有通电磁极8；阀壳1下端在真空泵连接口旁边设置有检测口，检测口连接有压力感应器9，压力感应器9与控制器7通过信号线连接；第一弹簧释放时，密封盘4位于管路连接口的下方。

阀轴3靠近管路连接口的端部设置有竖直连接孔，竖直连接孔内贯穿设置有竖直连杆10，竖直连杆10与竖直连接孔滑动连接，竖直连杆10的下端设置有挡块11，竖直连杆10的上端固定连接有密封盘4，阀轴3与挡块11之间设置有第二弹簧，阀轴3与密封盘4之间设置第三弹簧；阀轴3端部在竖直连杆10的前端设置有固定板12，固定板12上设置有水平连接孔，水平连接孔内贯穿设置有顶针13，顶针13与水平连接孔滑动连接，顶针13靠近密封盘4的一端设置为左高右低的斜面端部，斜面端部插入到密封盘4的下方且不与竖直连杆10接触，顶针13的另一端设置有挡圈14，挡圈14与固定板12之间设置有第四弹簧。第二弹簧保证密封盘与上方阀腔内壁之间存在间隙，第三弹簧保证密封盘与阀轴之间存在间隙，第四弹簧保证顶针未受力时不会将密封盘托起。

工作原理：

将阀体设置在真空泵与真空管路之间并接通电源，此时通电磁极与外部磁极之间存在吸力，阀体处于打开状态，真空泵正常工作，压力感应器的感应值低于设定值；当压力感应器感应值大于设定值时，发送信号给控制器，控制器切断通电磁极的供电，阀轴在第一弹簧的作用下向左移动，直至密封盘到达管路连接口的下方，此时顶针左端与阀腔内壁接触并向右移动，利用斜面端部将密封盘向上托起，从而使密封盘将管路连接口密封，阻断倒流；当压力感应器感应值小于设定值时，发送信号给控制器，控制器恢复通电磁极供电，阀轴在通电磁极与外部磁极吸力的作用下向右移动，顶针左端离开阀腔内壁，密封盘下降并离开管路连接口的下方，阀体打开；需要注意的是，当真空泵进行初抽时，真空泵连接口处会维持一段时间的高压力，此时需人工干预使阀体保持打开状态，当压力减小稳定后，再执行前述正常工作流程。

竖直连接孔、竖直连杆10、第二弹簧和第三弹簧均设置有两个，使密封盘的升降更加稳定可靠。

密封盘4的上端面设置有橡胶膜，增强密封盘与管路连接口之间的密封性。

挡板5与阀壳1的内壁之间设置有密封圈15，防止脏颗粒进入挡板内侧，影响部件正常使用。

本实用新型一种真空管路防倒流阀，检测压力异常时自动关断，反应时间短，有效阻断倒流，保护晶圆，避免腔体受到污染。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。