一种用于半导体及光电子无尘室的钢板型防震基座的制作方法

本实用新型涉及到基座技术领域，具体为一种用于半导体及光电子无尘室的钢板型防震基座。

背景技术：

无尘室，亦称为清净室。它是污染控制的基础。控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。

在无尘室内安装机台的过程中，需要使用基座进行固定和减少振动，通过基座可以增加抗震效果，解除机台与安装面的接触，防止机台直接安装在无尘室底面时出现安装面不稳定，影响机台使用效果的情况出现，但是现有的基座抗震效果还有待提高，而且现在基座安装时，由于安装面的因素可能会出现安装歪斜的情况，影响基座使用效果，为此，本实用新型提出一种用于半导体及光电子无尘室的钢板型防震基座用于解决上述问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种用于半导体及光电子无尘室的钢板型防震基座，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于半导体及光电子无尘室的钢板型防震基座，包括钢构架、减震结构、承托板和底板，所述钢构架下端一体成形的设有若干支撑腿，所述支撑腿下端焊接有固定座，所述固定座通过固定螺栓固定连接在底板上端，所述底板通过固定螺栓固定连接在地面上，所述钢构架上端四角和中间设有减震结构，所述减震结构上端焊接承托板，所述承托板上端通过固定螺栓固定连接机台的底部。

优选的，所述减震结构包括焊接在钢构架上的下限位套筒，所述下限位套筒上端内部插接上限位套筒，所述上限位套筒和下限位套筒之间内部焊接有弹簧，所述上限位套筒上端焊接在承托板的下端面。

优选的，所述固定座通过固定螺栓固定连接在底板上，所述固定座与底板连接处之间垫设有垫片。

优选的，所述底板下端粘接有缓冲层，所述缓冲层为橡胶材料制成，所述底板面积大于若干固定座之间的面积，所述底板上端面为水平板。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型可以提高基座的抗震减震效果，而且增加了坚固性，降低腐蚀和磨损速度，增加使用寿命，还提供了安装板，可以使基座安装时更加平整，增加基座的稳定性，并进一步增加抗震减震效果。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为图1的俯视图；

图3为图1中减震结构的结构示意图；

图4为图1中a处的结构放大示意图。

图中：1钢构架、2支撑腿、3减震结构、4承托板、5固定座、6底板、7上限位套筒、8下限位套筒、9弹簧、10垫片、11缓冲层。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1至图4，本实用新型提供一种技术方案：一种用于半导体及光电子无尘室的钢板型防震基座，包括钢构架1、减震结构3、承托板4和底板6，钢构架1下端一体成形的设有若干支撑腿2，支撑腿2下端焊接有固定座5，固定座5通过固定螺栓固定连接在底板6上端，底板6通过固定螺栓固定连接在地面上，钢构架1上端四角和中间设有减震结构3，减震结构3上端焊接承托板4，承托板4上端通过固定螺栓固定连接机台的底部。

本实用新型可进一步设置为，减震结构3包括焊接在钢构架1上的下限位套筒8，下限位套筒8上端内部插接上限位套筒7，上限位套筒7和下限位套筒8之间内部焊接有弹簧9，上限位套筒7上端焊接在承托板4的下端面，通过减震结构3可以提高基座整体的防震效果，增加使用效果和稳定性。

本实用新型可进一步设置为，固定座5通过固定螺栓固定连接在底板6上，固定座5与底板6连接处之间垫设有垫片10，通过固定座5可以使基座整体安装后更加稳定，提高钢构架1和支撑腿2的安装便利性，增加安装效率。

本实用新型可进一步设置为，底板6下端粘接有缓冲层11，缓冲层11为橡胶材料制成，底板6面积大于若干固定座5之间的面积，底板6上端面为水平板，通过底板6可以防止安装面出现不平整或一些小颗粒物时，钢构架1安装不方便，安装后不平稳，安装底板6后再在底板6上安装钢构架1和支撑腿2，可以使钢构架1和支撑腿2安装后更加平整，不会出现歪斜，并且更加方便安装，提高安装效率，还增加了减震防震效果，使用效果更佳。

工作原理：工作时，首先将底板6通过固定螺栓固定连接在地面上，通过底板6下端的缓冲层11可以防止安装面不平整影响安装效果，而且缓冲层11可以提供一定的缓冲效果，增加减震性，然后将钢构架1下端的支撑腿2通过固定座5螺栓连接在底板6上，通过钢构架1和支撑腿2可以有效增加坚固性，增加基座的使用寿命，提高使用效果，钢构架1上端四角和中间焊接有下限位套筒8，下限位套筒8内插接上限位套筒7，上限位套筒7和下限位套筒8内部焊接有弹簧9，可以有效的增加减震缓冲效果，增加抗震性，上限位板7上端焊接在承托板4的上端，承托板4上端通过螺栓连接机台的底部，通过基座可以有效增加防震效果，并且增加稳定性和使用寿命，增加使用效果。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：

1.一种用于半导体及光电子无尘室的钢板型防震基座，包括钢构架(1)、减震结构(3)、承托板(4)和底板(6)，其特征在于：所述钢构架(1)下端一体成形的设有若干支撑腿(2)，所述支撑腿(2)下端焊接有固定座(5)，所述固定座(5)通过固定螺栓固定连接在底板(6)上端，所述底板(6)通过固定螺栓固定连接在地面上，所述钢构架(1)上端四角和中间设有减震结构(3)，所述减震结构(3)上端焊接承托板(4)，所述承托板(4)上端通过固定螺栓固定连接机台的底部。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体及光电子无尘室的钢板型防震基座，其特征在于：所述减震结构(3)包括焊接在钢构架(1)上的下限位套筒(8)，所述下限位套筒(8)上端内部插接上限位套筒(7)，所述上限位套筒(7)和下限位套筒(8)之间内部焊接有弹簧(9)，所述上限位套筒(7)上端焊接在承托板(4)的下端面。

3.根据权利要求1所述的一种用于半导体及光电子无尘室的钢板型防震基座，其特征在于：所述固定座(5)通过固定螺栓固定连接在底板(6)上，所述固定座(5)与底板(6)连接处之间垫设有垫片(10)。

4.根据权利要求1所述的一种用于半导体及光电子无尘室的钢板型防震基座，其特征在于：所述底板(6)下端粘接有缓冲层(11)，所述缓冲层(11)为橡胶材料制成，所述底板(6)面积大于若干固定座(5)之间的面积，所述底板(6)上端面为水平板。

技术总结
本实用新型涉及基座技术领域，具体为一种用于半导体及光电子无尘室的钢板型防震基座，包括钢构架、减震结构、承托板和底板，钢构架下端一体成形的设有若干支撑腿，支撑腿下端焊接有固定座，固定座通过固定螺栓固定连接在底板上端，底板通过固定螺栓固定连接在地面上，钢构架上端四角和中间设有减震结构，减震结构上端焊接承托板，承托板上端通过固定螺栓固定连接机台的底部，有益效果为：可以提高基座的抗震减震效果，而且增加了坚固性，降低腐蚀和磨损速度，增加使用寿命，还提供了安装板，可以使基座安装时更加平整，增加基座的稳定性，并进一步增加抗震减震效果。

技术研发人员：商富祥;商富彬
受保护的技术使用者：江苏瑞鑫集成电路设备有限公司
技术研发日：2019.08.13
技术公布日：2020.04.14