一种用于真空贯穿的柔性装置的制作方法

本实用新型涉及真空技术领域，具体来说，涉及一种用于真空贯穿的柔性装置。

背景技术：

在真空系统中，与真空腔体常规的连接部件，基本上是泵类、阀类、管道法兰类或电气接头类等，这些都是通过刀口法兰或胶圈法兰与其相连，基本上是刚性对接结构；

而在实际真空应用中，大多数情况需要不仅采用真空腔体贯穿结构，而且需要柔性贯穿，与相比刚性对接结构要复杂，贯穿装配方式也要考虑贯穿组件的具体情况，如安装维修，密封性能，变形补偿可靠安全等一些问题。

针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。

技术实现要素：

针对相关技术中的上述技术问题，本实用新型提出一种用于真空贯穿的柔性装置，能够克服现有技术的上述不足。

为实现上述技术目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：一种用于真空贯穿的柔性装置，包括防护筒和设置在防护筒内部的波纹管，所述波纹管的一侧焊接有法兰，所述波纹管的另一侧焊接法兰盖，所述波纹管的通道内穿过有贯穿组件，所述法兰焊接在所述防护筒内侧壁，所述法兰盖焊接在所述防护筒的外侧端口。

进一步地，所述防护筒、波纹管、法兰、法兰盖及贯穿组件均为不锈钢材质。

进一步地，所述波纹管与所述防护筒的内侧壁设有间隙。

进一步地，所述波纹管的外表面设有均匀分布的纹理。

进一步地，所述贯穿组件的外侧壁与所述法兰和法兰盖的内侧孔焊接。

本实用新型的有益效果：整体结构简单，可实现贯穿组件与真空腔体的密封性，保证贯穿组件的独立真空；贯穿组件高温变形时管道的伸缩性，保证贯穿管道微位移的需求；贯穿组件在微位移时的导向性，保证特定技术要求及焊接波纹管的寿命；贯穿组件与真空腔体之间的隔振性能，保证贯穿组件作为光学平台的必要条件；提供了在真空系统中的多种应用，充分体现了小成本大价值的理念。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是根据本实用新型实施例所述的一种用于真空贯穿的柔性装置的结构示意图；

图2是根据本实用新型实施例所述的种用于真空贯穿的柔性装置的安装示意图。

图中：1、防护筒；2、波纹管；3、法兰；4、法兰盖；5、贯穿组件。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1-2所示，根据本实用新型实施例所述的一种用于真空贯穿的柔性装置，包括防护筒1和设置在防护筒1内部的波纹管2，所述波纹管2的一侧焊接有法兰3，所述波纹管2的另一侧焊接法兰盖4，所述波纹管2的通道内穿过有贯穿组件5，所述法兰3焊接在所述防护筒1内侧壁，所述法兰盖4焊接在所述防护筒1的外侧端口。

在本实用新型的一个具体实施例中，所述防护筒1、波纹管2、法兰3、法兰盖4及贯穿组件5均为不锈钢材质。

在本实用新型的一个具体实施例中，所述波纹管2与所述防护筒1的内侧壁设有间隙。

在本实用新型的一个具体实施例中，所述波纹管2的外表面设有均匀分布的纹理。

在本实用新型的一个具体实施例中，所述贯穿组件5的外侧壁与所述法兰3和法兰盖4的内侧孔焊接。

为了方便理解本实用新型的上述技术方案，以下通过具体使用方式上对本实用新型的上述技术方案进行详细说明。

在具体使用时，本实用新型提供一种用于真空贯穿的柔性装置，用于真空系统内，且与真空腔体必须贯穿的一种柔性结构装置，其主要防护筒1、波纹管2、法兰3、法兰盖4和贯穿组件5。

贯穿组件5具有真空密封性、柔性连接可伸缩性、轴向限位导向性，因贯穿组件5的使用目的不同，继而提供了多种在真空系统中的应用解决措施，

先将各零件备好，并按真空卫生标准要求清洗，按图纸将五个零件试装配，依次按照顺序焊接，为保证焊枪操作空间，其焊接顺序为法兰盖4、波纹管2、法兰3、贯穿组件5，最后焊接防护筒1，防护筒1起到保护整个装置的作用，最终制成一个独立的部件。

将本装置放入真空腔体中，通过刀口法兰、铜垫圈密封、螺栓紧固，贯穿刀口法兰与真空腔体对接法兰，也可从真空腔体外侧向内贯穿，完成对接；完成上述工作后，需整体抽真空联调，检查密封性能，也可测试波纹管2的伸缩性能，至此完成工作。

综上所述，借助于本实用新型的上述技术方案，整体结构简单，可实现贯穿组件与真空腔体的密封性，保证贯穿组件的独立真空；贯穿组件高温变形时管道的伸缩性，保证贯穿管道微位移的需求；贯穿组件在微位移时的导向性，保证特定技术要求及焊接波纹管的寿命；贯穿组件与真空腔体之间的隔振性能，保证贯穿组件作为光学平台的必要条件；提供了在真空系统中的多种应用，充分体现了小成本大价值的理念。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

技术特征：

1.一种用于真空贯穿的柔性装置，其特征在于，包括防护筒（1）和设置在防护筒（1）内部的波纹管（2），所述波纹管（2）的一侧焊接有法兰（3），所述波纹管（2）的另一侧焊接法兰盖（4），所述波纹管（2）的通道内穿过有贯穿组件（5），所述法兰（3）焊接在所述防护筒（1）内侧壁，所述法兰盖（4）焊接在所述防护筒（1）的外侧端口。

2.根据权利要求1所述的一种用于真空贯穿的柔性装置，其特征在于，所述防护筒（1）、波纹管（2）、法兰（3）、法兰盖（4）及贯穿组件（5）均为不锈钢材质。

3.根据权利要求1所述的一种用于真空贯穿的柔性装置，其特征在于，所述波纹管（2）与所述防护筒（1）的内侧壁设有间隙。

4.根据权利要求1所述的一种用于真空贯穿的柔性装置，其特征在于，所述波纹管（2）的外表面设有均匀分布的纹理。

5.根据权利要求1所述的一种用于真空贯穿的柔性装置，其特征在于，所述贯穿组件（5）的外侧壁与所述法兰（3）和法兰盖（4）的内侧孔焊接。

技术总结
本实用新型公开了一种用于真空贯穿的柔性装置，包括防护筒和设置在防护筒内部的波纹管，波纹管的一侧焊接有法兰，波纹管的另一侧焊接法兰盖，波纹管的通道内穿过有贯穿组件，法兰焊接在防护筒内侧壁，法兰盖焊接在防护筒的外侧端口。整体结构简单，可实现贯穿组件与真空腔体的密封性，保证贯穿组件的独立真空；贯穿组件高温变形时管道的伸缩性，保证贯穿管道微位移的需求；贯穿组件在微位移时的导向性，保证特定技术要求及焊接波纹管的寿命；贯穿组件与真空腔体之间的隔振性能，保证贯穿组件作为光学平台的必要条件；提供了在真空系统中的多种应用，充分体现了小成本大价值的理念。

技术研发人员：曹桂英
受保护的技术使用者：北京中科科美科技股份有限公司
技术研发日：2020.09.24
技术公布日：2021.06.18