滑动部件的制作方法

1.本发明涉及相对旋转的滑动部件，涉及例如对汽车、一般产业机械或者其他密封领域的旋转机械的旋转轴进行轴封的轴封装置所用的滑动部件，或者涉及汽车、一般产业机械或者其他轴承领域的机械轴承所用的滑动部件。


背景技术：

2.作为防止被密封液体泄漏的轴封装置，例如机械密封具备相对旋转且滑动面彼此滑动的一对环状滑动部件。在这样的机械密封中，近年来，为了保护环境等，希望降低由于滑动而损失掉的能量，在滑动部件的滑动面设有与高压的被密封液体侧即外径侧连通并且在滑动面一端堵塞的正压产生槽。由此，当滑动部件相对旋转时，在正压产生槽产生正压，滑动面彼此分离，同时从外径侧对正压产生槽导入被密封液体，通过保持被密封液体来润滑性提高，实现低摩擦化。
3.进一步地，对于机械密封，为了维持长期的密封性，除了“润滑”之外还要求“密封”这样的条件。例如，专利文献1所示的机械密封在一个滑动部件中，设有与被密封液体侧连通的瑞利台阶以及倒瑞利台阶。由此，当滑动部件相对旋转时，通过瑞利台阶在滑动面之间产生正压而滑动面彼此分离，并且瑞利台阶保持被密封液体，由此提高了润滑性。另一方面，因为在倒瑞利台阶产生相对负压，并且倒瑞利台阶与瑞利台阶相比被配置在靠泄漏侧，所以能够将从瑞利台阶在滑动面之间流出的高压被密封液体吸入倒瑞利台阶。这样，防止一对滑动部件之间的被密封液体向泄漏侧泄漏，提高了密封性。现有技术文献专利文献
4.专利文献1：国际公开第2012/046749号(第14
‑
16页，图1)。
5.然而，在专利文献1中，因为其构造是通过倒瑞利台阶来使被密封液体返回到被密封液体侧，所以存在被密封液体未被供给到滑动面之间的泄漏侧，产生无助于润滑性的部分之虞，要求润滑性更高的滑动部件。


技术实现要素：

6.本发明是鉴于这样的问题点而完成的，其目的在于提供一种滑动部件，将被密封流体供给到滑动面之间的泄漏侧来发挥高润滑性，并且被密封流体的泄漏变少。
7.为了解决所述课题，本发明的滑动部件是环状的滑动部件，被配置于旋转机械相对旋转的部位，在所述滑动部件的滑动面设有多个动压产生机构，所述多个动压产生机构由与泄漏侧连通的深槽部和与该深槽部连通并在周向并列延设的多个浅槽部构成。由此，深槽部因为槽深度深且容积大，所以能够将供给到滑动面的泄漏侧的大量的被密封流体回收并使被密封流体从浅槽部流出到滑动面之间，能够以较大面积的滑动面来提高润滑性。另外，因为通过与泄漏侧连通的深槽部来回收被密封流体，将回收的被密封流体从浅槽部流出到滑动面之间，使其一部分回到径向被密封流体侧，所以向泄漏侧泄漏
的被密封流体少。此外，在并列的多个浅槽部中，能够通过在泄漏侧并列配置的浅槽部来捕获从被密封流体侧的浅槽部流出的被密封流体，能够进一步提高润滑性，并且能够更加减少向泄漏侧泄漏的被密封流体。
8.也可以是，所述浅槽部朝向被密封流体侧延伸。由此，能够将浅槽部的延设方向端部中由于动压而产生高压的高压部靠近被密封流体侧地配置，能够将被密封流体从浅槽部的延设方向端部返回靠近滑动面之间的被密封流体侧的位置。
9.也可以是，所述浅槽部在周向弯曲。由此，能够根据浅槽部的曲率来调整动压。另外，因为能够延长到浅槽部的延设方向端部的距离，所以能够得到大压力。
10.也可以是，所述动压产生机构具有子浅槽部，所述子浅槽部与泄漏侧直接连通，在所述浅槽部的泄漏侧并列沿着周向延伸，与所述浅槽部相独立。由此，在与深槽部连通的多个浅槽部中，能够通过泄漏侧的子浅槽部进一步地捕获从延设方向端部流出的被密封流体，因此能够进一步地减少向泄漏侧泄漏的被密封流体。另外，能够增加被密封流体对未与深槽部连通的子浅槽部的导入量，能够扩大动压产生机构的有效范围。
11.也可以是，所述浅槽部从所述深槽部沿着周向两侧延伸。由此，因为能够将在深槽部的周向的任一方上配置的浅槽部作为动压产生用的浅槽部来加以利用，所以能够不限于滑动部件的旋转方向地使用。
12.也可以是，所述深槽部与内径侧连通。由此，能够通过离心力将从浅槽部供给滑动面之间的被密封流体返回被密封流体侧，易于通过离心力在深槽部内中保持被密封流体。
13.也可以是，在所述滑动部件的滑动面具备特定动压产生机构，所述特定动压产生机构被配置于与所述动压产生机构相比靠被密封流体侧，并与所述动压产生机构相独立。由此，当滑动部件相对旋转时，能够一边通过特定动压产生机构使滑动面之间分离来在滑动面之间生成适当流体膜，一边通过动压产生机构降低被密封流体向泄漏侧的泄漏。
14.此外，本发明所涉及的滑动部件的浅槽部沿着周向延设是指，浅槽部至少具有周向分量地延设即可，优选与径向相比沿着周向的分量较大那样地延设即可。另外，深槽部在径向延伸是指，深槽部至少具有径向分量地延设即可，优选与周向相比沿着径向的分量变大那样地延设即可。
15.另外，被密封流体可以是液体，也可以是液体和气体混合后的雾状体。
附图说明
16.图1是表示本发明的实施例1中的机械密封的一例的纵截面图。图2是从轴向观察静止密封环的滑动面的图。图3是a
‑
a截面图。图4是静止密封环的滑动面的要部放大图。在图5中，(a)～(c)是对在相对旋转初始从液体引导槽部的内径侧吸入的被密封
液体在滑动面之间流出的动作进行说明的概要图。图6是对在相对旋转初始从液体引导槽部的内径侧吸入的被密封液体在滑动面之间流出的动作进行说明的概要图。图7是从轴向观察本发明的实施例2的静止密封环的滑动面的图。图8是从轴向观察本发明的实施例3的静止密封环的滑动面的图。在图9中，(a)是表示本发明的变形例1的说明图，(b)是表示本发明的变形例2的说明图。图10是从轴向观察本发明的实施例4的静止密封环的滑动面的图。
具体实施方式
17.基于实施例，在以下说明用于实施本发明所涉及的滑动部件的方式。实施例1
18.针对实施例1所涉及的滑动部件，参照图1至图6来进行说明。此外，在本实施例中，列举滑动部件是机械密封的方式为例来进行说明。另外，假设将构成机械密封的滑动部件的外径侧作为被密封流体侧即被密封液体侧(高压侧)，假设内径侧作为泄漏侧即大气侧(低压侧)，来进行说明。另外，为了说明的方便，在附图中有时对在滑动面上形成的槽等标注点。
19.图1所示的一般产业机械用的机械密封是内插(inside)型密封件，对想要从滑动面的外径侧朝向内径侧泄漏的被密封液体f进行密封，主要由旋转密封环20和静止密封环10构成，所述旋转密封环20是圆环状滑动部件，以在旋转轴1上经由套筒2与旋转轴1能够一体地旋转的状态下设置，所述静止密封环10是圆环状滑动部件，在固定于被安装设备的壳体4的密封罩5上以非旋转状态且在轴向能够移动的状态下设置，通过波纹管7沿着轴向对静止密封环10施力，能够使得静止密封环10的滑动面11和旋转密封环20的滑动面21相互贴紧滑动。此外，旋转密封环20的滑动面21是平坦面，在该平坦面上未设置凹陷部。
20.静止密封环10以及旋转密封环20代表性地以sic(硬质材料)彼此或者sic(硬质材料)和碳(软质材料)的组合而形成，但是不限于此，滑动材料只要能够作为机械密封用滑动材料而使用即可。其中，作为sic，以硼、铝、碳等为烧结助剂的烧结体为代表，存在成分、组分不同的2种类以上相所构成的材料，例如存在分散了石墨(graphite)颗粒的sic，sic和si构成的反应烧结sic、sic
‑
tic、sic
‑
tin等，作为碳，以碳和石墨混合而成的碳为代表，能够利用树脂成形碳、烧结碳等。另外，除了上述滑动材料以外，还能够适用金属材料、树脂材料、表面改性材料(涂覆材料)或复合材料等。
21.如图2所示，旋转密封环20相对于静止密封环10以箭头所示那样相对滑动，在静止密封环10的滑动面11上，多个动压产生机构14沿着静止密封环10的周向均等配设。滑动面11的动压产生机构14以外的部分成为呈平端面的地部12。
22.接着，针对动压产生机构14的概略，基于图2～图4来进行说明。此外，以下，当静止密封环10以及旋转密封环20相对旋转时，将图4的纸面左侧作为在后述的螺旋槽9a、9b内流动的被密封液体f的下游侧，将图4的纸面右侧作为在螺旋槽9a、9b内流动的被密封液体f的上游侧，来进行说明。
23.动压产生机构14具备：液体引导槽部15，其作为深槽部，与大气侧连通，沿着外径
向延伸；多个螺旋槽9a，其作为浅槽部，从液体引导槽部15向下游侧沿着周向并列延伸；以及多个螺旋槽9b，其作为子浅槽部，在螺旋槽9a的内径侧与大气侧连通，在螺旋槽9a周向并列延伸，与螺旋槽9a相独立。此外，本实施例1的液体引导槽部15与静止密封环10的轴正交地沿着径向延伸。另外，本实施例1的4根螺旋槽9a和5根螺旋槽9b从液体引导槽部15朝向下游侧，以与液体引导槽部15的径向宽度相同宽度地，在与静止密封环10同心状地周向延伸带状区域内等间隔并列。另外，液体引导槽部15和螺旋槽9a连通，在连通部分形成深度方向的台阶18。
24.另外，螺旋槽9a、9b在延设方向端部即下游侧的端部形成呈前端变细形状的壁部9a。此外，壁部9a不限于前端变细，例如也可以是相对于旋转方向对正交或者倾斜，也可以台阶状地形成。
25.另外，液体引导槽部15的深度尺寸l10深于螺旋槽9a的深度尺寸l20(l10>l20)。具体而言，本实施例1中的液体引导槽部15的深度尺寸l10形成100μm，螺旋槽9a的深度尺寸l20形成5μm。即，液体引导槽部15与螺旋槽9a之间，通过液体引导槽部15中下游侧的侧面和螺旋槽9a的底面来形成深度方向的台阶18。此外，液体引导槽部15的深度尺寸与螺旋槽9a的深度尺寸相比形成得较深地即可，液体引导槽部15以及螺旋槽9a的深度尺寸能够自由变更，优选尺寸l10是尺寸l20的5倍以上。另外，为了说明的方便，省略图示，但是螺旋槽9b与螺旋槽9a相同形成深度尺寸l20(5μm)。
26.此外，螺旋槽9a、9b的底面呈平坦面并与地部12平行形成，但是不妨碍在平坦面设置细微凹部或相对于地部12倾斜那样地形成。进一步地，在螺旋槽9a、9b的周向延伸的两个圆弧状面分别与螺旋槽9a、9b的底面正交。另外，液体引导槽部15的底面呈平坦面并与地部12平行地形成，但是不妨碍在平坦面设置细微凹部或相对于地部12倾斜形成。进一步地，在液体引导槽部15的径向延伸的两个平面分别与液体引导槽部15的底面正交。
27.下面，说明静止密封环10和旋转密封环20相对旋转时的动作。首先，在旋转密封环20不旋转的一般产业机械未工作时，状态是比滑动面11、21靠外径侧的被密封液体f由于毛细管现象而稍微进入滑动面11、21之间，并且混在在动压产生机构14上一般产业机械停止时残留的被密封液体f和从比滑动面11、21靠内径侧进入的大气。此外，被密封液体f比气体粘度高，因此当一般产业机械停止时从动压产生机构14向低压侧泄漏出量变少。
28.当一般产业机械停止时动压产生机构14上几乎未残留被密封液体f的情况下，如果旋转密封环20相对于静止密封环10相对旋转(参照图2的黑箭头)时，则如图4所示，大气侧的低压侧流体a如箭头l1所示被从液体引导槽部15导入，并且通过螺旋槽9a，低压侧流体a在旋转密封环20的旋转方向如箭头l2所示那样追随移动，因此会在螺旋槽9a内产生动压。另外，如箭头l4所示，从螺旋槽9b的低压侧开口也导入大气侧的低压侧流体a，通过螺旋槽9b，低压侧流体a在旋转密封环20的旋转方向如箭头l5所示那样追随移动，因此也会在螺旋槽9b内产生动压。
29.作为螺旋槽9a、9b的下游侧端部的壁部9a附近压力最高，低压侧流体a如箭头l3、l6所示从壁部9a附近向其周边流出。此外，随着朝向螺旋槽9a、9b的上游侧，压力逐渐变低。
30.另外，当静止密封环10和旋转密封环20相对旋转时，在滑动面11、21之间从它们的外径侧随时流入高压的被密封液体f，成为所谓的流体润滑。此时，螺旋槽9a、9b附近的被密封液体f如上述那样在螺旋槽9a、9b尤其是下游侧成为高压，如箭头h1所示，保持位于地部
12不变地，几乎不进入螺旋槽9a、9b。另一方面，液体引导槽部15附近的被密封液体f因为液体引导槽部15是深槽部且与低压侧连通，所以如箭头h2所示，易于进入液体引导槽部15。此外，因为被密封液体f是液体，其表面张力大，所以易于沿着液体引导槽部15的侧壁面移动而进入液体引导槽部15。此外，为了说明的方便，箭头h1仅针对最外径的螺旋槽9a进行了图示。
31.另外，如箭头l3所示，低压侧流体a从作为高压侧的螺旋槽9a的下游侧端部的壁部9a附近向其周边流出，来推压与在低压侧并列配置的螺旋槽9a之间位于地部12的被密封液体f的一部分，进入并列延设到高压侧的螺旋槽9a的壁部9a的周边为止的低压侧螺旋槽9a。此外，这样的低压侧流体a对被密封液体f的推入不限于如图4所示的并列螺旋槽9a、9a之间，如箭头l3、l6所示，通过从各螺旋槽9a、9b的壁部9a向其附近流出的低压侧流体a在其他并列的螺旋槽9a、9b之间或者螺旋槽9b、9b之间也是同样进行的。
32.下面，说明被吸入液体引导槽部15的被密封液体f在滑动面11、21之间流出的动作。
33.在动压产生机构14几乎未残留被密封液体f的情况下，如果旋转密封环20相对于静止密封环10相对旋转(参照图2的黑箭头)，则如图5(a)所示，进入液体引导槽部15的被密封液体f如符号h3所示，成为块状液滴。之后，如图5(b)所示，当液滴达到某个程度的体积时，如符号h4所示，由于在螺旋槽9a、9a’的上游侧形成的相对低的压力，被吸入螺旋槽9a、9a’。同时，新被密封液体f进入液体引导槽部15，成为液滴h3’。此时，比图5(a)中的相对旋转的初始状态多的被密封液体f进入液体引导槽部15。
34.之后，如图5(c)所示，被吸入螺旋槽9a、9a’的被密封液体f从旋转密封环20受到较大的剪切力，一边压力变高一边在螺旋槽9a、9a’内向下游侧移动，如箭头h5所示从壁部9a附近向其周边流出。另外，从壁部9a附近向其周边流出的被密封液体f的一部分如箭头h6所示，与在低压侧并列配置的螺旋槽9a之间位于地部12的被密封液体f的一部分一起进入低压侧的螺旋槽9a。同时，新被密封液体f进入液体引导槽部15，成为液滴h3”，并且液滴h3’如符号h4’所示，被吸入各螺旋槽9a。另外，从螺旋槽9b的开口也进入被密封液体f，成为液滴h7。此外，因为从螺旋槽9b的开口侧进入的被密封液体f量少，所以液滴h7与液滴h4相比是较小的块。
35.如图6所示，被吸入螺旋槽9a、9a’的被密封液体f在螺旋槽9a、9a’内向下游侧移动，如箭头h5’所示从壁部9a附近向其周边流出。另外，从壁部9a附近向周边流出的被密封液体f的一部分如箭头h6所示，与在低压侧并列配置的螺旋槽9a、9a’或者螺旋槽9b之间位于地部12的被密封液体f的一部分一起进入低压侧的螺旋槽9a、9a’或者螺旋槽9b。同时，被密封液体f进一步地进入液体引导槽部15，成为液滴h3
”’
，液滴h3”如符号h4”所示，被吸入各螺旋槽9a。
36.之后，与图6所示的状态相比进入液体引导槽部15的被密封液体f的量増加，变成被密封液体f从各螺旋槽9a连续性地流出滑动面11、21之间的稳定状态。在稳定状态下，在滑动面11、21之间从它们的外径侧或从螺旋槽9a、9b随时流入高压的被密封液体f，如上述那样成为流体润滑。此外，经过图5(a)、(b)、(c)成为稳定状态为止过渡的时间较短。另外，当一般产业机械停止时在动压产生机构14上残留了被密封液体f的情况下，根据动压产生机构14上被密封液体f残存的量的不同，从图5(a)的状态、图5(b)的状态、图5(c)的状态、稳
定状态中的任意状态开始动作。
37.在此，因为液体引导槽部15是深槽部且与低压侧连通，所以以箭头h5所示的被密封液体f易于被吸入相邻的液体引导槽部15内，滑动面11、21之间的被密封液体f的量稳定，能够维持较高润滑性。此外，因为螺旋槽9b是开口侧且为相同深度的浅槽，所以即便在稳定状态下，与液体引导槽部15相比从螺旋槽9b的开口侧进入的被密封液体f的量也不会大幅増加。另外，与气体相比，液体相对于固体的界面张力较大，因此易于在滑动面11、21之间保持被密封液体f，大气易于排出到比静止密封环10、旋转密封环20靠内径侧。
38.以上这样，在静止密封环10和旋转密封环20相对旋转时，在螺旋槽9a上，吸入进入了液体引导槽部15的被密封液体f，产生动压。液体引导槽部15其槽深度深且容积大，因此即便将被密封液体f供给到滑动面11的低压侧，也能够回收被密封液体f，通过螺旋槽9a将其返回到滑动面11、21之间，因此能够以较大面积的滑动面11来提高润滑性。另外，通过与比滑动面11、21靠内径侧的低压侧连通的液体引导槽部15，来回收被密封液体f，使回收的被密封液体f从螺旋槽9a流出到滑动面11、21之间，使其一部分返回到高压侧，向低压侧泄漏被密封液体f变少。另外，通过使螺旋槽9a的下游侧端部为前端变细形状，易于确保从螺旋槽9a的壁部9a返回到滑动面11、21之间的被密封液体f的流量，能够稳定地产生动压。此外，在并列的多个螺旋槽9a中，能够通过在低压侧并列配置的螺旋槽9a来捕获从高压侧的螺旋槽9a的壁部9a附近向周边流出的被密封液体f，能够进一步提高润滑性，并且能够进一步减少向低压侧泄漏的被密封液体f。
39.进一步地，因为能够通过低压侧的螺旋槽9b，来进一步地捕获从与液体引导槽部15连通多个螺旋槽9a的壁部9a附近向周边流出的被密封液体f，所以能够进一步地减小向低压侧泄漏的被密封液体f。另外，因为能够增加被密封液体f对未与液体引导槽部15连通的螺旋槽9b的导入量，能够扩大滑动面11中的动压产生机构14的有效范围。
40.另外，因为大量的被密封液体f被保持在液体引导槽部15，所以能够充分确保被吸入螺旋槽9a内的被密封液体f的量，即便在液体引导槽部15中保持的被密封液体f的量在短时间发生增减，也能够使被吸入螺旋槽9a内的被密封液体f的量大致固定，能够避免滑动面11、21润滑不够。另外，因为液体引导槽部15与低压侧连通，所以与滑动面11、21之间的被密封液体f的压力相比，液体引导槽部15内的压力变低，液体引导槽部15附近的被密封液体f易于被吸入液体引导槽部15内。
41.另外，因为螺旋槽9a、9b朝向高压侧延伸，所以能够将螺旋槽9a、9b的壁部9a中基于动压的高压部靠近高压侧配置，尤其是在螺旋槽9a中，能够提高经由液体引导槽部15的吸入能力。另外，能够从螺旋槽9a、9b的壁部9a将被密封液体f返回到靠近滑动面11、21之间的高压侧位置，能够减小被密封液体f的泄漏。
42.另外，螺旋槽9a、9b在周向弯曲，因此能够根据螺旋槽9a、9b的曲率来调整动压。另外，因为能够延长从螺旋槽9a、9b到壁部9a的距离，所以能够得到较大压力。此外，螺旋槽9a、9b也可以以不同曲率形成。
43.另外，液体引导槽部15在径向延伸。具体而言，液体引导槽部15因为沿着与静止密封环10的中心轴正交的方向延伸，所以能够缩短周向宽度，在静止密封环10的周向大量配置，因此设计自由度高。此外，液体引导槽部15不限于与静止密封环10的中心轴正交的方向，也可以是从与静止密封环10的中心轴正交的位置倾斜，但是优选是小于45度的斜率。进
一步地，液体引导槽部15的形状可以是圆弧状等，自由地变更。
44.另外，在螺旋槽9a与液体引导槽部15的连通部分，通过液体引导槽部15中的下游侧侧面和螺旋槽9a的底面来形成台阶18，因此能够不直接受动压影响地将被密封液体f保持在液体引导槽部15中。
45.另外，螺旋槽9a因为分别遍布径向的整个宽度与液体引导槽部15连通，所以能够确保螺旋槽9a相对于液体引导槽部15的开口区域，能够高效地吸上在液体引导槽部15中保持的被密封液体f。
46.另外，液体引导槽部15与静止密封环10的内径侧连通。即，滑动部件是内插型机械密封，当静止密封环10以及旋转密封环20相对旋转时，能够通过离心力使螺旋槽9a内的被密封液体f返回高压侧，并且能够降低向被密封液体f向比滑动面11、21靠内径侧的低压侧的泄漏。
47.另外，因为在静止密封环10设有动压产生机构14，所以当静止密封环10以及旋转密封环20相对旋转时，易于将液体引导槽部15内保持在接近大气压的状态。
48.此外，在本实施例1中，也可以不在液体引导槽部15与螺旋槽9a的连通部分设置台阶，例如，也可以使液体引导槽部15和螺旋槽9a以倾斜面连通。该情况下，例如能够使具有5μm以下的深度尺寸的部分为螺旋槽9a，使比5μm深的部分作为液体引导槽部15。
49.另外，螺旋槽9a、9b不限于从液体引导槽部15朝向下游侧以与液体引导槽部15的径向宽度相同宽度在静止密封环10同心状地沿着周向延伸的带状区域内形成的方式，例如，也可以形成在圆弧状或者台形状等其他形状的区域内。另外，螺旋槽9a、9b只要是并列延伸的即可，也可以不等间隔地形成。另外，螺旋槽9a、9b也可以从液体引导槽部15直线状地延设，也可以扭曲延设。另外，也可以不设置螺旋槽9b。实施例2
50.下面，针对实施例2所涉及的滑动部件，参照图7来进行说明。此外，省略说明因与所述实施例1相同构成而重复的构成。
51.如图7所示，设于静止密封环101的动压产生机构141具备：液体引导槽部115；螺旋槽109a、109b；多个螺旋槽109c，其作为浅槽部，从液体引导槽部115朝向下游侧周向并列延伸；以及多个螺旋槽109d，其作为子浅槽部，在螺旋槽109c的内径侧与大气侧连通，并与螺旋槽109c周向并列延伸，与螺旋槽109c相独立。另外，螺旋槽109c、109d与螺旋槽109a、109b相同，以5μm的深度尺寸形成。
52.在旋转密封环20绕图7的纸面逆时针旋转的情况下，低压侧流体a按照箭头l1、l2、l3以及l4、l5、l6的顺序移动，在螺旋槽109a、109b内产动压生。另外，在旋转密封环20绕图7的纸面顺时针旋转的情况下，低压侧流体a按照箭头l1、l2’、l3’以及l4’、l5’、l6’的顺序移动，在螺旋槽109c、109d内产生动压。
53.这样，因为从液体引导槽部115向周向两侧延设螺旋槽109a、109c，所以能够将螺旋槽109a、109c中的任一方作为动压产生用的浅槽部来加以利用，因此能够与静止密封环101和旋转密封环20的相对旋转方向无关地使用。另外，针对螺旋槽109b、109d，也能够将其任一方作为动压产生用的子浅槽部来进行利用，因此能够与静止密封环101和旋转密封环20的相对旋转方向无关地使用。
54.另外，在动压产生机构141的下游侧端部形成的螺旋槽109b与相邻的动压产生机
构141’中在上游侧端部形成的螺旋槽109d在周向相邻。由此，从动压产生机构141中想要在下游侧端部形成的螺旋槽109b的壁部9a附近向其周边流出并向内径侧移动的被密封液体f被从相邻的动压产生机构141’中在上游侧端部形成的螺旋槽109b吸入，因此能够降低被密封液体f向低压侧的泄漏。
55.此外，在本实施例2中，例示了螺旋槽109a、109b以及螺旋槽109c、109d是相同的深度尺寸的情况，但是也可以形成不同的深度尺寸。另外，两者对于周向长度、径向宽度可以相同，也可以不同。
56.另外，也可以使动压产生机构141中在下游侧端部形成的螺旋槽109b和相邻的动压产生机构141’中在上游侧端部形成的螺旋槽109d在周向分离较长距离，进一步提高使滑动面11、21之间分离的压力。实施例3
57.下面，针对实施例3所涉及的滑动部件，参照图8来进行说明。此外，省略说明因与所述实施例2相同构成而重复的构成。
58.如图8所示，在静止密封环102形成多个动压产生机构141和特定动压产生机构16。特定动压产生机构16具备：液体引导槽部161，其与高压侧连通；瑞利台阶17a，其从液体引导槽部161的外径侧端部朝向下游侧，与静止密封环102同心状在周向延伸；以及倒瑞利台阶17b，其从液体引导槽部161的外径侧端部朝向上游侧，与静止密封环102同心状地沿着周向延伸。液体引导槽部161和液体引导槽部115形成在周向对应的位置。即，液体引导槽部161和液体引导槽部115沿着径向形成。另外，液体引导槽部161作为特定动压产生机构16的深槽部发挥功能，瑞利台阶17a以及倒瑞利台阶17b作为特定动压产生机构16的浅槽部发挥功能。
59.动压产生机构141的螺旋槽109a、109b以及螺旋槽109c、109d与特定动压产生机构16的瑞利台阶17a以及倒瑞利台阶17b相比形成在周向更大的区域内。另外，瑞利台阶17a以及倒瑞利台阶17b与螺旋槽109a、109b以及螺旋槽109c、109d相同，以5μm的深度尺寸形成。另外，动压产生机构141的容积大于特定动压产生机构16的容积。
60.在旋转密封环20绕图8的纸面逆时针旋转的情况下，被密封液体f按照箭头l11、l12、l13的顺序移动，在瑞利台阶17a内产生动压。另外，在旋转密封环20绕图8的纸面顺时针旋转的情况下，被密封液体f按照箭头l11、l12’、l13’的顺序移动，在倒瑞利台阶17b内产生动压。这样，能够与静止密封环102和旋转密封环20的相对旋转方向无关地在特定动压产生机构16内产生动压。
61.另外，能够一边通过在特定动压产生机构16产生的动压来使滑动面11、21之间分离并生成适当液膜，一边通过动压产生机构141回收想要从滑动面11向低压侧泄漏的被密封液体f。
62.另外，因为液体引导槽部161和液体引导槽部115沿着径向形成，所以在滑动面11、21之间想要从液体引导槽部161向低压侧泄漏被密封液体f易于被导入液体引导槽部115，因此能够高效地降低被密封液体f向低压侧的泄漏。
63.另外，因为动压产生机构141的容积大于特定动压产生机构16的容积，所以能够增大动压产生机构141的螺旋槽109a、109b以及螺旋槽109c、109d的吸入力，能够调整低压侧的动压产生机构141与高压侧的特定动压产生机构16的动压平衡。
64.此外，螺旋槽109a、109b以及螺旋槽109c、109d的周向长度可以是与瑞利台阶17a以及倒瑞利台阶17b相同的长度形成，或者比瑞利台阶17a以及倒瑞利台阶17b短地形成。另外，瑞利台阶17a以及倒瑞利台阶17b也可以形成与螺旋槽109a、109b以及螺旋槽109c、109d不同的深度尺寸。另外，瑞利台阶17a以及倒瑞利台阶17b的径向宽度也可以以与螺旋槽109a、109b以及螺旋槽109c、109d的径向宽度相同地形成，也可以比螺旋槽109a、109b以及螺旋槽109c、109d的径向宽度形成得宽度较大或者宽度较小。优选，动压产生机构141的容积大于特定动压产生机构16的容积即可。
65.下面，说明特定动压产生机构的变形例。如图9(a)所示，变形例1的特定动压产生机构是从正交方向观察滑动面11呈圆形的凹形状的凹痕30。此外，能够自由变更凹痕30的形状、数量或配置等。
66.另外，如图9(b)所示，变形例2的特定动压产生机构是朝向径向一边倾斜一边圆弧状延伸的圆弧槽31、32。具体而言，圆弧槽31、32其外径侧端部与高压侧连通，圆弧槽31在螺旋槽109a、109b的外径侧配设有多个，圆弧槽32在螺旋槽109c、109d的外径侧配设有多个。
67.另外，圆弧槽31的形状是当旋转密封环20绕图9(b)的纸面逆时针旋转时朝向内径侧被密封液体f移动，圆弧槽32的形状是旋转密封环20绕图9(b)的纸面顺时针旋转时朝向内径侧被密封液体f移动。当旋转密封环20绕逆时针旋转时圆弧槽31的内径侧的压力变高，绕顺时针旋转时圆弧槽32的内径侧压力变高，因此能够分离滑动面11、21并生成适当液膜。此外，能够自由变更圆弧槽31、32的形状、数量或配置等。实施例4
68.下面，针对实施例4所涉及的滑动部件，参照图10来进行说明。此外，省略说明因与所述实施例3相同构成而重复的构成。
69.图10所示的机械密封是外插型(outside)机械密封，对想要从滑动面的内径侧向外径侧泄漏的被密封液体f进行密封。动压产生机构141以与低压侧连通的方式配置在外径侧，特定动压产生机构16以与高压侧连通的方式配置在内径侧。此外，即便是外插型机械密封，也可以如所述实施例1那样，动压产生机构与单侧旋转对应那样地形成。另外，可以如所述实施例1那样，不设置特定动压产生机构，特定动压产生机构也可以如所述实施例3的变形例所示那样的凹痕或圆弧槽等其他方式形成。
70.以上，基于附图对本发明的实施例进行了说明，但是具体构成不限于这些实施例，在不脱离本发明要旨的范围的变更或追加也都包括在本发明之中。
71.例如，在所述实施例中，作为滑动部件，以一般产业机械用的机械密封为例进行了说明，但是也可以汽车或水泵用等其他的机械密封。另外，不限于机械密封，也可以是滑动轴承等机械密封以外的滑动部件。
72.另外，在所述实施例中，针对动压产生机构仅设置在静止密封环上的示例进行了说明，但是可以是动压产生机构仅设置在旋转密封环20，也可以是设置于旋转密封环20和静止密封环这两方。
73.另外，在所述实施例中，例示了在滑动部件上设置多个相同形状的动压产生机构的方式，但是也可以设置多个形状不同的动压产生机构。另外，能够适当变更动压产生机构的间隔或数量等。
74.另外，将被密封流体侧为高压侧，将泄漏侧为低压侧进行了说明，但是可以是被密
封流体侧为低压侧而使泄漏侧为高压侧，也可以使被密封流体侧和泄漏侧为大致相同压力。符号说明
75.9a、螺旋槽(浅槽部)；9b、螺旋槽(子浅槽部)；10、静止密封环(滑动部件)；11、滑动面；14、动压产生机构；15、液体引导槽部(深槽部)；16、特定动压产生机构；17a、瑞利台阶(浅槽部)；17b、倒瑞利台阶(浅槽部)；18、台阶；20、旋转密封环(滑动部件)；21、滑动面；109a，109c、螺旋槽(浅槽部)；109b，109d、螺旋槽(子浅槽部)；115、液体引导槽部(深槽部)；141、动压产生机构。