用于自动清洁连接的设备和方法与流程

1.本发明涉及用于自动清洁连接的设备和方法，并且更具体地，涉及能够自动地将化学品装载到大尺寸罐容器中并从大尺寸罐容器卸载以在清洁环境中运送液体的用于自动清洁连接的设备和方法。


背景技术：

2.在半导体制造工厂中，通常，将各种化学品装载到罐式货车中运送到工厂，并卸载到工厂的储罐中。因此，为了进行装载和卸载，使用了快速联接器。
3.该快速联接器包括阳联接器和阴联接器，用于在没有任何单独联接工具的情况下将如同软管或管道的管状构件彼此连接或者释放管状构件的连接状态。通过阳联接器与阴联接器之间的连接或者其连接状态的释放，管状构件的内部流动路径彼此连通或者从连通状态释放。
4.具体地，半导体制造工厂中使用的化学品中的许多是酸性或碱性的有毒物质，因此，若发生安全事故，会对人的健康带来严重伤害。当连接和分离快速联接器时，此时，施加到液体接触部的化学品可以接触工人或其他材料，因此，重要的是防止这种污染的发生。
5.当连接具有大于1 1/2”(40a)的相对大尺寸的快速联接器以及释放其连接，需要许多工人，他们过度劳累，由此增加了他们暴露于危险物质的可能性。


技术实现要素：

6.因此，鉴于在相关技术中出现的以上提到的问题而做出了本发明，并且本发明的目的是提供能够自动执行阳联接器与阴联接器的连接和分离并清洁和干燥阳联接器和阴联接器的液体接触部的用于自动清洁连接的设备和方法。
7.为了实现以上提到的目的，根据本发明的一方面，提供了一种用于自动清洁连接的设备，所述设备将化学品从一侧的罐装载或卸载到另一侧的罐，所述设备包括：主体，其具有连接到另一侧的罐的阴联接器；联接器连接模块，其用于在y轴方向上移动连接到一侧的罐的阳联接器，以使所述阳联接器能够被紧固到所述阴联接器或者与所述阴联接器分离；以及联接器清洁模块，其用于清洁或干燥所述阳联接器和所述阴联接器的液体接触部。
8.根据本发明，理想地，所述联接器清洁模块围绕所述阴联接器的外周缘，并且所述联接器清洁模块具有形成在其周向方向上的一侧周缘上以引入清洁或干燥流体的入口以及形成在其周向方向上的另一侧周缘上的出口，使得引入所述入口中的所述流体以旋风的形式流动，以能够清洁或干燥所述联接器清洁模块的内部。
9.根据本发明，理想地，所述联接器清洁模块在所述阳联接器完全联接到所述阴联接器之前或者在所述阳联接器已与所述阴联接器分离之后在所述阳联接器靠近所述阴联接器的状态下执行清洁或干燥。
10.根据本发明，理想地，所述设备还包括对准模块，所述对准模块用于在x轴方向移动所述阳联接器，以使所述阳联接器能够与所述阴联接器的正确位置对准。
11.根据本发明，理想地，所述对准模块包括：基板；小齿轮，其能旋转地连接到所述基板；小齿轮驱动部，其用于使所述小齿轮旋转；一对夹具导轨，其以将所述小齿轮置于其间这样的方式在所述x轴方向上彼此平行地延伸；夹具滑块，其由所述一对夹具导轨引导并具有联接到所述小齿轮的齿条；以及对准夹具，其以通过在所述x轴方向上的移动来对准所述阳联接器这样的方式联接到所述夹具滑块。
12.根据本发明，理想地，所述对准模块还包括两级控制缸，所述两级控制缸以在所述x轴方向上限制所述夹具滑块以及解除限制由此将所述夹具滑块的行程控制为两级这样的方式联接到所述基板的一侧。
13.根据本发明，理想地，所述联接器连接模块包括：夹持部，其用于固定地夹持所述阳联接器的凸缘；以及驱动部，其用于使所述夹持部在所述y轴方向上移动。
14.根据本发明，理想地，所述夹持部包括：夹持外壳，在其中心处形成有孔，以使所述阳联接器的所述凸缘从中穿过；至少一对夹持器，其联接到所述夹持外壳，以咬合所述阳联接器的所述凸缘；一对x轴移动块，其在x轴方向上彼此面对，所述至少一对夹持器被固定到所述一对x轴移动块；引导凹槽，其倾斜地形成在所述一对x轴移动块的顶部上；升降块，其以被向上和向下地引导这样的方式插入所述引导凹槽中；升降缸，其具有联接到所述升降块的升降杆；以及引导壳体，其被插入所述一对x轴移动块的顶端中，以在所述x轴方向上滑动地引导所述一对x轴移动块。
15.根据本发明，理想地，所述一对x轴移动块具有位于其相应侧表面上的防脱离夹具，并且每个防脱离夹具均具有按照所述阳联接器的所述凸缘的在所述y轴方向上的厚度而彼此间隔开的支撑突起，使得在所述至少一对夹持器夹持所述阳联接器的同时，所述支撑突起被锁定到所述阳联接器的所述凸缘的两个端部周缘上。
16.根据本发明，理想地，所述驱动部包括：y轴移动块，其联接到所述引导壳体；夹持部导轨，其用于在所述y轴方向上滑动地引导所述y轴移动块；框架，其与所述夹持部导轨联接；以及驱动装置，其用于将所述y轴移动块的行程控制为两级。
17.为了实现以上提到的目的，根据本发明的另一方面，提供了一种用于自动清洁连接的方法，通过所述方法将化学品从一侧的罐装载或卸载到另一侧的罐中，所述方法包括以下步骤：闭合对准夹具，以能够在x轴方向上对准阳联接器；操作升降缸，以使夹持器能够咬合所述阳联接器的凸缘的外周缘；打开所述对准夹具，以能够提供供所述夹持器通过的路径；操作驱动装置，以使所述阳联接器能够移动到联接器清洁模块；操作所述联接器清洁模块，以能够清洁或干燥所述阳联接器和阴联接器的液体接触部；以及操作所述驱动装置，以使所述阳联接器能够完全紧固到所述阴联接器。
18.根据本发明，理想地，在x轴方向上对准阳联接器的步骤包括以下步骤：操作小齿轮驱动部，以使所述对准夹具能够在所述x轴方向上闭合至一级；以及将所述阳联接器定位在所述对准夹具之间，并且操作两级控制缸，以使所述对准夹具能够在所述x轴方向上闭合至两级。
附图说明
19.根据以下结合附图对本发明的优选实施方式进行的详细描述，本发明的以上和其他方面、特征和优点将清楚，在附图中：
20.图1是示出了根据本发明的用于自动清洁连接的设备的立体图；
21.图2是示出了根据本发明的用于自动清洁连接的设备的内部的立体图；
22.图3是示出了根据本发明的用于自动清洁连接的设备的对准模块的立体图；
23.图4是示出了图3的对准模块的平面图；
24.图5是示出了图3的对准模块的操作示例的立体图；
25.图6是示出了根据本发明的其中阳联接器被紧固到用于自动清洁连接的设备的示例的立体图；
26.图7是示出了根据本发明的用于自动清洁连接的设备的夹持部的分解立体图；
27.图8是示出了图2的用于自动清洁连接的设备的正视图；
28.图9是示出了图2的用于自动清洁连接的设备的侧视图；
29.图10是示出了根据本发明的用于自动清洁连接的设备的联接器清洁模块的侧视图；以及
30.图11至图13是示出了根据本发明的用于自动清洁连接的设备的操作过程的侧视图。
具体实施方式
31.下文中，下面将参考附图详细地描述根据本发明的用于自动清洁连接的设备和方法。在描述中，图2中的x轴方向指示纵向方向，y轴方向指示横向方向，z轴方向指示高度方向。然而，这样的方向是为了方便描述而设置的，因此，本发明不一定限于此。
32.参考图1至图10，根据本发明的用于自动清洁连接的设备1将化学品从一侧的罐装载或卸载到另一侧的罐中，例如，设备1可以用于半导体制造工厂的罐式货车中的化学品装载或卸载到工厂的储罐中的地方。设备1包括主体10、对准模块50、联接器连接模块20和联接器清洁模块60。
33.主体10被安装在一侧的罐(工厂的储罐)和另一侧的罐(罐式货车)之间并具有阴联接器70。阴联接器70连接到工厂的储罐，并且当它们连接到阳联接器90或者从与阳联接器90的连接状态释放时，内部流动路径彼此连通或者它们解除连通。阳联接器90连接到罐式货车，并且当它们被紧固到阴联接器70时，工厂储罐中的化学品被装载到罐式货车中。否则，罐式货车中的化学品被卸载到工厂的储罐中。
34.主体10具有盒状形状，并构成用于自动清洁连接的设备1的壳体。例如，主体10被安装在工厂的储罐前方，并被配置为使从作为用于运送化学品的大尺寸罐容器的罐式货车拉出的两个阳联接器90能够与其连接。两个阳联接器90可以不同地设置有用于液体运送的阳联接器以及用于气体运送的阳联接器，并可以彼此具有不同直径。另外，当然，可以设置三个或更多个阳联接器90或单个阳联接器90。
35.各阳联接器90以联接到对应的阴联接器70这样的方式包括凸缘910和设置在凸缘910的一个侧端部上的液体接触部940。凸缘910借助螺栓被紧固到软管凸缘930，并且软管凸缘930联接到与罐式货车连接的软管的端部周缘。在凸缘910和软管凸缘930之间设置垫圈920，以确保其间的密封。
36.主体10具有形成在其前表面上的入口10，入口10借助门而打开和关闭。一个门围绕设置在入口10顶侧的铰链轴向上旋转以打开，另一个门围绕设置在入口10底侧的铰链轴
向下旋转以打开。门在其中心处形成有半圆形的孔，并且当门被打开和关闭时，阳联接器90可以在y轴方向上自由移动，而不妨碍门。主体10可以具有用于控制设备1的操作的控制面板。
37.对准模块50用于在x轴方向上移动阳联接器90，以使阳联接器90能够与阴联接器70的正确位置对准。对准模块50包括基板530、小齿轮540、小齿轮驱动部520、夹具导轨550、夹具滑块560、对准夹具510和两级控制缸570。基板530具有给定厚度且在x轴方向上长的矩形板的形状，并且基板530的顶部被盖531覆盖。盖531具有多个孔，该多个孔以使对准夹具510在x轴方向上能够自由移动这样的方式在x轴方向上顺着延伸。
38.小齿轮540能旋转地连接到基板530。小齿轮540在x轴方向上以及y轴方向上位于基板530的中心。小齿轮驱动部520是竖直地固定到基板530的下侧以使小齿轮540旋转的电机。小齿轮驱动部520的电机轴穿过基板530，然后联接到小齿轮540。
39.夹具导轨550联接到基板530的顶部，并且以将小齿轮540置于其间这样的方式在x轴方向上彼此平行地延伸。夹具导轨550以彼此平行这样的方式在y轴方向上彼此间隔开。夹具导轨550连接到夹具滑块560，以在x轴方向上滑动地引导夹具滑块560。
40.夹具滑块560由夹具导轨550引导并沿着夹具导轨550在x轴方向上滑动地移动。齿条561位于每个夹具滑块560的面对小齿轮540的一个表面上。齿条561与小齿轮540齿轮联接，并且通过小齿轮540的旋转，夹具滑块560在x轴方向上线性移动。
41.一对对准夹具510以在x轴方向上往复移动这样的方式联接到夹具滑块560的顶部。通过对准夹具510在x轴方向上的移动，阳联接器90与阴联接器70的紧固位置对准。对准夹具510具有形成在面对阳联接器90的表面上的流线型弯曲部511。弯曲部511具有与阳联接器90的液体接触部940对应的形状，以增强与阳联接器90的接触力。
42.相对于阳联接器90的两个侧对准夹具510在y轴方向上弯曲成彼此接近，使得它们在x轴方向上彼此位于同一条线上。即，相对于阳联接器90的一个侧对准夹具510从夹具滑块560的顶表面弯曲并向后延伸，并且相对于阳联接器90的另一个侧对准夹具510从夹具滑块560的顶表面弯曲并向前延伸。因此，对准夹具510的与阳联接器90的液体接触部940紧密接触的弯曲部511在x轴方向上彼此位于同一条线上。
43.两级控制缸570联接到基板530的一侧并在x轴方向上限制夹具滑块560和解除限制，由此夹具滑块560的行程被控制为两级。两级控制缸570的杆571在x轴方向上朝向夹具滑块560向前移动，以限制夹具滑块560在x轴方向上的移动。另外，两级控制缸570的杆571在x轴方向上朝向与夹具滑块560相反的方向向后移动，以解除夹具滑块560在x轴方向上移动的限制，使得夹具滑块560可以在x轴方向上进一步移动。
44.当一对对准夹具510在x轴方向上打开到最大程度时，联接器连接模块20的夹持部30可以自由地穿过打开的空间。在一对对准夹具510打开到最大程度的位置处，如果小齿轮540通过小齿轮驱动部520的操作而旋转，则一对对准夹具510闭合。在这种情况下，两级控制缸570的杆571限制夹具滑块560的移动，使得夹具滑块560的行程被控制为一级。在这种情况下，一对对准夹具510仅打开达使阳联接器90的液体接触部940可以从中自由穿过的程度。
45.此后，如果阳联接器90被插入一对对准夹具510之间，则操作两级控制缸570，以使杆571能够向后移动。因此，夹具滑块560的受限制状态被解除，以许可夹具滑块560的行程
借助小齿轮驱动部520的动力被控制为两级。结果，插入一对对准夹具510之间的阳联接器90借助对准夹具510而对准。如果阳联接器90借助联接器连接模块20的夹持部30被牢固地保持，则操作小齿轮驱动部520，以使小齿轮540在相反方向上旋转，使得一对对准夹具510在x轴方向上打开到最大程度。
46.联接器连接模块20在y轴方向上移动阳联接器90，以使阳联接器90能够被紧固到阴联接器70或者与阴联接器70分离。联接器连接模块20包括夹持部30和驱动部40。夹持部30用于固定地夹持阳联接器90的凸缘910。驱动部40用于使夹持部30在y轴方向上往复移动。
47.夹持部30包括夹持外壳310、夹持器321、x轴移动块320、引导槽322、升降块330、升降缸340和引导壳体350。
48.夹持外壳310在其中心处形成有孔，以使阳联接器90的凸缘910从中穿过。夹持外壳310的中心孔具有能够使阳联接器90的凸缘910自由地从中穿过的给定直径。另外，夹持外壳310具有在其中容纳夹持器321的夹持器凹槽311以及用于容纳防脱离夹具360的夹具凹槽312(如本文中随后将讨论的)，并且夹持器凹槽311和夹具凹槽312沿着夹持外壳310的中心孔的周缘形成。
49.夹持器321联接到夹持外壳310，因此咬合阳联接器90的凸缘910。设置至少一对夹持器321，并且当一对夹持器321彼此面对地闭合时，它被固定地与阳联接器90的凸缘910的外周缘紧密接触。多个不规则部分可以形成在各夹持器321的面对阳联接器90的一个表面上，以牢固地咬合阳联接器90的凸缘910。
50.夹持器321被固定于x轴移动块320的下侧。夹持器321与x轴移动块320一体地形成，或者以与其联接这样的方式与其分开地制成。一对x轴移动块320在x轴方向上彼此面对。如果一对x轴移动块320在x轴方向上彼此靠近地移动，则夹持器321将阳联接器90的凸缘910与其固定，并且如果一对x轴移动块320在x轴方向上彼此远离地移动，则夹持器321被从与阳联接器90的凸缘910的固定状态释放。
51.引导凹槽322倾斜地形成在x轴移动块320的顶部上。x轴移动块320具有源自其顶部的针对凹槽或锁定凸起形状的阶梯状突出部，因此，引导凹槽322从突出部倾斜地形成。突出部如随后将讨论地被插入引导壳体350的横向凹槽351中，然后被滑动地引导。引导凹槽322用于在升降块330的操作下引导升降块330，以使x轴移动块320能够在x轴方向上移动。
52.升降块330被插入一对引导凹槽322中，因此被向上和向下地引导。升降块330具有采用使两个端部能够被插入引导凹槽322中这样的方式的其下部小而上部大的梯形形状。升降块330通过与升降缸340的连接而上升和下降，并且当升降块330上升和下降时，x轴移动块320在x轴方向上滑动地移动。
53.每个升降缸340均具有联接到升降块330的升降杆341。升降杆341的端部周缘联接到升降块330的顶部。每个升降缸340均包括缸壳体和在缸壳体的内部移动的活塞，并且缸壳体设置在引导壳体350的内部。参照图7，仅示出了升降缸34的活塞。升降缸340为升降块330提供上升和下降的动力。
54.引导壳体350中插入有x轴移动块320的顶端，以在x轴方向上滑动地引导x轴移动块320。引导壳体350具有在x轴方向上从其两个侧表面在横向方向上延伸的横向凹槽351。x
轴移动块320的顶侧突出部被插入横向凹槽351中，因此被沿着其滑动地引导。升降缸340被构建在引导壳体350中。
55.如果升降缸340使升降杆341下降，则升降块330沿着形成在x轴移动块320上的引导凹槽322下降，使得x轴移动块320之间的距离变宽，以使夹持器321能够夹持阳联接器90。相反，如果升降缸340使升降杆341上升，则升降块330沿着形成在x轴移动块320上的引导凹槽322上升，使得x轴移动块320之间的距离减小，以释放夹持阳联接器90的状态。
56.另外，x轴移动块320具有防脱离夹具360。防脱离夹具360位于一对x轴移动块320的相应侧表面上。防脱离夹具360从x轴移动块320的前表面向前突出。每个防脱离夹具360均具有按照阳联接器90的凸缘910的在y轴方向上的厚度而彼此间隔开的支撑突起。在夹持器321夹持阳联接器90的同时，防脱离夹具360的支撑突起被锁定到凸缘910的两个端部周缘上。
57.具体地，支撑突起由第一支撑突起361和第二支撑突起362组成。第一支撑突起361和第二支撑突起362形成在各防脱离夹具360在y轴方向上的两侧。在夹持器321夹持阳联接器90的同时，第一支撑突起361和第二支撑突起362被锁定到凸缘910在y轴方向上的两个端部周缘上，使得阳联接器90不容易与夹持部30分离，由此增大与阳联接器90的固定力。
58.在这种情况下，第一支撑突起361是斜置的，并且第二支撑突起362在其一个表面上是斜锥形的。在以上提到的配置中，防止设置在阳联接器90的凸缘910和软管凸缘930之间的垫圈920适配地压靠在第二支撑突起362的一个表面上，由此避免垫圈920的变形。锥形的第二支撑突起362容易进入垫圈920，使得它仅可以固定地锁定到阳联接器90的凸缘910上。
59.驱动部40包括y轴移动块440、夹持部导轨430、框架410和驱动装置420。
60.y轴移动块440联接到夹持部30的引导壳体350。即，y轴移动块440的下侧联接到引导壳体350的顶部。y轴移动块440相对于框架410在y轴方向上往复运动。y轴移动块440和夹持部30在y轴方向上移动，以使被夹持部30夹持的阳联接器90在y轴方向上移动。
61.夹持部导轨430以在y轴方向上顺着延伸这样的方式联接到框架410。夹持部导轨430用于在y轴方向上滑动地引导y轴移动块440。框架410被固定到主体10。驱动装置420将y轴移动块440的行程控制为两级，以使阳联接器90能够位于三个位置上。驱动装置420由两个气缸构成，当然，也可以按其他方式设置它。
62.即，第一气缸提供用于一级控制的动力，y轴移动块440通过该一级控制相对于夹持部导轨430线性移动，并且第二气缸提供用于两级控制的动力，第一气缸和y轴移动块440一起通过该两级控制线性移动。在这种情况下，第一气缸由无杆缸形成，当与相同行程相比时，无杆缸可以被安装在相对小的空间中。此外，驱动装置420可以具有诸如线性运动(lm)引导件、滚珠丝杠、伺服电机等这样的各种结构。
63.联接器清洁模块60用于清洁或干燥阳联接器90和阴联接器70的液体接触部。理想地，联接器清洁模块60清洁阳联接器90和阴联接器70的液体接触部，然后将它们干燥。可以使用去离子水作为清洗液，并可以使用氮气、惰性气体等作为用于干燥的气体。联接器清洁模块60自动地从阳联接器90和阴联接器70的液体接触部去除污染物(化学品、气味、烟雾等)，由此提供清洁的环境。
64.联接器清洁模块60具有大致圆柱形的形状并围绕阴联接器70的外周缘。此外，联
接器清洁模块60具有形成在其周向方向上的一侧周缘上以引入清洁或干燥流体的入口610以及形成在其周向方向上的另一侧周缘上的出口620。引入入口610中的流体以旋风的形式流动，以能够清洁或干燥联接器清洁模块60的内部，并且此后，流体通过出口620排出并因此被收集到排出罐80中。
65.在这种情况下，联接器清洁模块60在阳联接器90完全联接到阴联接器70之前在阳联接器90靠近阴联接器70的状态下执行清洁或干燥。否则，联接器清洁模块60在阳联接器90已与阴联接器70分离之后在阳联接器90靠近阴联接器70的状态下执行清洁或干燥。在以上提到的配置中，联接器清洁模块60有效地在其内部清洁或干燥阳联接器90和阴联接器70的液体接触部。
66.参考图11至图13，另一方面，根据本发明的用于自动清洁连接的方法包括以下步骤：闭合对准夹具510以能够在x轴方向上对准阳联接器90，操作升降缸340以使夹持器321能够咬合凸缘910的外周缘，打开对准夹具510以能够提供供夹持器321通过的路径，操作驱动装置420以使阳联接器90能够移动到联接器清洁模块60，操作联接器清洁模块60以能够清洁或干燥阳联接器90和阴联接器70的液体接触部，并操作驱动装置420以使阳联接器90能够完全紧固到阴联接器70。
67.另外，在x轴方向上对准阳联接器90的步骤包括以下步骤：操作小齿轮驱动部520以使对准夹具510能够在x轴方向上闭合至一级，将阳联接器90定位在对准夹具510之间，并且操作两级控制缸570，以使对准夹具510能够在x轴方向上闭合至两级。
68.具体地，工人打开主体10的前门，以移除插入阴联接器70中的插塞。此后，操作小齿轮驱动部520，以使对准夹具510能够在x轴方向上闭合至一级。在这种状态下，阳联接器90位于对准夹具510之间，并且操作两级控制缸570，以使对准夹具510能够在x轴方向上闭合至两级。结果，在x轴方向上对准阳联接器90。
69.在阳联接器90已对准之后或者在对准阳联接器90的同时，操作升降缸340，以使夹持器321能够咬合阳联接器90的凸缘910的外周缘。此后，在相反方向上操作小齿轮驱动部520，以能够打开对准夹具510，因此确保供夹持器321通过的路径。以与以上相同的方式，另一个阳联接器90与另一个阴联接器70对准，并因此被咬合。此后，关闭主体10的前门，操作控制面板，以执行自动运行。
70.如果自动运行开始，则操作驱动装置420，以使阳联接器90能够移动到处于联接干燥位置的联接器清洁模块60。接下来，操作联接器清洁模块60，以能够清洁和干燥阳联接器90和阴联接器70的液体接触部。如果清洁和干燥完成，则操作驱动装置420，以使阳联接器90能够完全紧固到阴联接器70。此后，将工厂的储罐内的化学品装载到罐式货车中，否则，将罐式货车中的化学品卸载到工厂的储罐中。
71.如果化学品的装载或卸载完成，则阳联接器90的分离以与以上提到的紧固过程相反的顺序进行。首先，阳联接器90在靠近阴联接器70的状态下与阴联接器70分离给定距离，此后，操作联接器清洁模块60，以能够清洁和干燥阳联接器90和阴联接器70的液体接触部。如果清洁和干燥完成，则操作驱动装置420，以使阳联接器90能够移动到其初始位置。
72.接下来，工人打开主体10的前门，操作升降缸340，以释放阳联接器90的夹持状态，由此将阳联接器90与夹持部30分离。在邻近的阳联接器90与对应的夹持部30分离之后，将插塞插入地联接到阴联接器70。此后，关闭主体10的前门，以完成自动清洁连接。
73.如上所述，根据本发明的用于自动清洁连接的设备和方法可以自动地去除阳联接器和阴联接器的液体接触部中的污染物(化学品、气味、烟雾等)以提供清洁环境，并且可以在联接器清洁模块的内部有效地清洁和干燥阳联接器和阴联接器的液体接触部，使得可以在安全的环境中执行清洁和干燥，并且可以显著降低安全事故的发生率。
74.另外，根据本发明的用于自动清洁连接的设备和方法可以自动地执行靠工人难以进行的阳联接器与阴联接器的连接或分离，由此大大提高了生产率并使连接和分离时如同联接器和垫圈的零件的变化最小化。另外，阳联接器的固定力可以被最大化，由此稳定地执行工作。
75.虽然已经参照特定的例示实施方式描述了本发明，但其不受实施方式限制，而只是受随附权利要求书限制。要理解，本领域的技术人员可以在不脱离本发明的范围和精神的情况下改变或修改实施方式。
76.相关申请的交叉引用
77.本技术要求于2021年3月29日在韩国知识产权局提交的韩国专利申请no.10-2021-0040118的优先权，该韩国专利申请的全部内容以引用方式并入本文中。