技术特征：
1.一种适用于真空运动部件的组合密封机构，应用于运动轴，所述运动轴的两端分别连接真空端和大气端，其特征在于，包括运动密封圈、第一弹性密封圈、第二弹性密封圈及固定组件；所述运动密封圈、所述第一弹性密封圈及所述第二弹性密封圈用于沿所述运动轴的轴向依次套设于所述运动轴外，且所述运动密封圈靠近于所述大气端；所述固定组件用于固定所述运动密封圈、所述第一弹性密封圈及所述第二弹性密封圈；所述运动密封圈、所述第一弹性密封圈及所述第二弹性密封圈共同用于所述运动轴在竖直运动、往复运动或旋转运动时隔绝所述真空端和所述大气端。2.根据权利要求1所述的适用于真空中运动部件的组合密封机构，其特征在于，所述运动密封圈包括多个凹弧面和多个凸弧面，所述凸弧面连接两个相邻的所述凹弧面，以使所述运动密封圈的横截面呈x状；所述运动密封圈内圈的凸弧面用于与所述运动轴滑动连接，所述运动密封圈外圈的凸弧面抵持于所述固定组件。3.根据权利要求1所述的适用于真空中运动部件的组合密封机构，其特征在于，所述第一弹性密封圈开设有环状且连通的第一凹槽，所述第一凹槽的开口朝向所述大气端。4.根据权利要求3所述的适用于真空中运动部件的组合密封机构，其特征在于，所述第一弹性密封圈还包括多个弹性片，所述弹性片的形状与所述第一凹槽匹配，多个所述弹性片等间距的贴设于所述第一凹槽内。5.根据权利要求1所述的适用于真空中运动部件的组合密封机构，其特征在于，所述第二弹性密封圈开设有环状且连通的第二凹槽，所述第二凹槽的开口朝向所述大气端。6.根据权利要求5所述的适用于真空中运动部件的组合密封机构，其特征在于，所述第二弹性密封圈还包括弹性圈，所述弹性圈套设于所述第二凹槽靠近于所述运动轴的侧壁；所述第二弹性密封圈的内圈壁凸设有凸起，所述凸起与所述弹性圈相背设置，所述凸起用于与所述运动轴滑动连接。7.根据权利要求5所述的适用于真空中运动部件的组合密封机构，其特征在于，所述适用于真空中运动部件的组合密封机构还包括封脂圈和真空脂，所述封脂圈套设于所述运动轴外，并位于所述运动密封圈和所述第一弹性密封圈之间；所述封脂圈的内圈壁开设有环状且连通的第三凹槽，所述第三凹槽的开口朝向所述运动轴，所述真空脂注入所述第三凹槽。8.根据权利要求7所述的适用于真空中运动部件的组合密封机构，其特征在于，所述第三凹槽的两侧壁交错地开设有多个通槽，多个所述通槽均与所述第三凹槽连通，用于在所述运动轴出现间隙的情况下流出所述第三凹槽并进行填充。9.根据权利要求1所述的适用于真空中运动部件的组合密封机构，其特征在于，所述固定组件包括固定套和固定圈，所述固定套用于套设于所述运动轴外，所述运动密封圈、第一弹性密封圈、第二弹性密封圈均位于所述固定套的内壁和所述运动轴的外壁之间；所述固定圈的数量包括两个，两个所述固定圈分别设置于所述固定套的两端，其中一个所述固定圈抵持于所述运动密封圈，另一个抵持于所述第二弹性密封圈，以将所述运动密封圈、所述第一弹性密封圈及所述第二弹性密封圈固定于所述固定组件内。
10.一种半导体设备，其特征在于，包括运动轴和套设于所述运动轴外的如权利要求1-9任一项所述的组合密封机构。
技术总结
本发明的实施例提供了一种适用于真空中运动部件的组合密封机构及半导体设备，涉及密封设备技术领域。适用于真空运动部件的组合密封机构包括运动密封圈、第一弹性密封圈、第二弹性密封圈及固定组件。固定组件用于固定运动密封圈、第一弹性密封圈及第二弹性密封圈。运动密封圈靠近于大气端，运动密封圈、第一弹性密封圈及第二弹性密封圈用于沿运动轴的轴向依次套设于运动轴外，以共同用于运动轴在竖直运动、往复运动或旋转运动时隔绝真空端和大气端，从而实现较好的密封性能，并将漏率控制在10-11
技术研发人员：陆北源
受保护的技术使用者：无锡邑文电子科技有限公司
技术研发日：2022.01.17
技术公布日：2022/4/20