闸阀的制作方法

1.本发明涉及闸阀，更详细而言，涉及提高了阀板与阀杆的连结部分的紧贴性的闸阀。


背景技术：

2.在半导体处理装置中，在形成于真空腔室的闸门的开闭中使用闸阀。该闸阀构成为，将安装于阀杆的顶端的阀板收容于阀箱内，将该阀箱安装于真空腔室，利用所述阀板对以与所述闸门连通的方式形成于该阀箱的开口进行开闭。此时，通过将安装于所述阀板的密封构件压靠于所述开口的周围的阀座来进行所述开口的封闭。
3.在所述闸阀中，随着其使用，所述密封构件由于磨损或龟裂等而逐渐劣化，因此需要在劣化的阶段与新的密封构件进行更换。在该情况下，以往的闸阀需要暂时从真空腔室拆下，因此所述密封构件的更换需要较多的工夫和时间。
4.另外，目前，半导体的线宽越来越窄，因此需要减少该处理工序时产生的颗粒(零颗粒为目标)，因此，如何消除在闸阀工作时各部件间的摩擦的产生成为重要的课题。特别是，当在所述阀板与阀杆的连结部分两者未充分紧贴时，在它们之间容易产生摩擦，因此提高所述阀板与阀杆的紧贴性是重要的。
5.相对于此，在专利文献1中公开了一种提高阀板与阀杆的连结部分的紧贴性的闸阀。该改良型的闸阀在安装于所述阀板的上表面的连结板和嵌合于所述阀板的安装孔内的阀杆的阀板安装部形成相互抵接的倾斜面，并且在所述阀板的下端部和所述阀板安装部的下端部也形成相互抵接的倾斜面，使所述倾斜面彼此压接，由此利用楔效应使所述阀板与阀板安装部紧贴。
6.所述改良型的闸阀与一般的闸阀相比，所述阀板与阀板安装部的紧贴性优异，但通过在所述阀板安装部的对角方向的2个部位形成用于产生楔效应的所述倾斜面，在该2个部位将所述阀板与阀板安装部的相向面彼此相互压靠，因此有时难以使该相向面彼此整面且均等地紧贴，还留有改良的余地。特别是，在所述阀杆的内部设置加热器并利用该加热器对阀板进行加热的类型的闸阀中，需要良好地保持所述阀杆与阀板之间的传热性，因此尽可能地提高该阀杆与阀板的紧贴性是重要的。
7.现有技术文献
8.专利文献
9.专利文献1：日本特开2012-225468号公报


技术实现要素：

10.发明所要解决的课题
11.本发明的技术课题在于提供一种进一步提高了阀板与阀杆的连结部分的紧贴性的闸阀。
12.用于解决课题的手段
13.为了解决所述课题，本发明的闸阀具有对阀箱的开口进行开闭的阀板和与该阀板连结的阀杆，所述阀板具有朝向所述开口侧的阀前表面、该阀前表面的相反侧的阀后表面、阀上表面及阀下表面、以及上下贯通该阀板的连结孔，所述阀杆具有插入到所述连结孔的连结轴，所述连结孔具有孔前表面及孔后表面，所述连结轴具有轴前表面及轴后表面，所述孔前表面与所述轴前表面面对，并且所述孔后表面与所述轴后表面面对，在所述阀板的上表面配设有将该阀板与所述阀杆连结的连结配件，通过将连结螺钉穿过该连结配件的螺钉插通孔而与所述连结轴的顶端的螺纹孔螺纹连接，从而该连结配件配置成与所述连结轴的一部分及所述阀板的一部分抵接的状态。
14.并且，在所述连结配件与所述连结轴抵接的部分，形成有该连结配件的第一倾斜面与所述连结轴的第二倾斜面抵接的第一紧贴机构部，在该连结配件与所述阀板抵接的部分，形成有该连结配件的第三倾斜面与所述阀板的第四倾斜面抵接的第二紧贴机构部，所述第一紧贴机构部及第二紧贴机构部在通过拧入所述连结螺钉而使所述第一倾斜面与所述第二倾斜面压接并且使所述第三倾斜面与所述第四倾斜面压接时，在所述连结轴的上端部和所述阀板的上端部产生使所述连结轴的轴前表面与所述连结孔的孔前表面相互紧贴的方向的分力。
15.另外，在所述阀板的下端部与所述连结轴的所述轴前表面的下端部的突壁部抵接的部分，形成有所述阀板的第五倾斜面与所述连结轴的第六倾斜面抵接的第三紧贴机构部，所述第三紧贴机构部在通过拧入所述连结螺钉而使所述第五倾斜面与所述第六倾斜面压接时，在所述阀板的下端部产生使所述阀孔的孔前表面与所述连结轴的轴前表面紧贴的方向的分力。
16.在本发明中，所述第一紧贴机构部和所述第二紧贴机构部相对于通过所述螺纹孔的中心的中心轴位于彼此相反侧的位置，所述第一倾斜面及第二倾斜面的倾斜方向与所述第三倾斜面及第四倾斜面的倾斜方向是彼此相反的方向，并且是越趋向上方越逐渐接近所述中心轴的方向。
17.所述第一倾斜面及第二倾斜面相对于所述中心轴的倾斜角度小于所述第三倾斜面及第四倾斜面相对于所述中心轴的倾斜角度。
18.在本发明中，所述连结配件在所述第一紧贴机构部及第二紧贴机构部以外的部分不与所述阀板及阀杆接触。
19.另外，所述连结配件以不从该阀板的上表面向上方突出的方式收容在形成于所述阀板的上表面的凹部内。
20.在本发明中，也可以是，所述第四倾斜面及第五倾斜面形成于固定地安装于所述阀板的第一辅助配件及第二辅助配件，另外，所述第二倾斜面形成于固定于所述阀杆的连结轴的轴辅助配件。
21.另外，在本发明中，也可以是，在所述阀杆的内部以延伸至所述连结轴的内部的方式形成有加热器孔，在该加热器孔的内部收容有加热器。
22.发明效果
23.根据本发明，利用倾斜面彼此抵接的第一～第三紧贴机构部使阀板的连结孔的孔前表面与阀杆的连结轴的轴前表面在所述阀板及连结轴的上下3个部位相互压接，因此能够使所述连结孔的孔前表面与所述连结轴的轴前表面在面对的整个面中可靠地紧贴。
附图说明
24.图1是本发明的闸阀的主视图。
25.图2是将图1的主要部分剖开的放大剖视图。
26.图3是示出阀板与阀杆的连结的基本构造的剖视图。
27.图4是将阀板与阀杆连结的第一连结构造的立体图。
28.图5是图4的分解图。
29.图6是沿着图4的vi-vi线的剖视图。
30.图7是沿着图4的vii-vii线的剖视图。
31.图8是沿着图4的viii-viii线的剖视图。
32.图9是沿着图4的ix-ix线的剖视图。
33.图10是连结配件的俯视图。
34.图11是连结配件的后视图。
35.图12是沿着图10的xii-xii线的剖视图。
36.图13是第一辅助配件的俯视图。
37.图14是第一辅助配件的后视图。
38.图15是沿着图13的xv-xv线的剖视图。
39.图16是第二辅助配件的俯视图。
40.图17是第二辅助配件的后视图。
41.图18是沿着图16的xviii-xviii线的剖视图。
42.图19是将阀板与阀杆连结的第二连结构造的立体图。
43.图20是图19的分解图。
44.图21是将阀板与阀杆连结的第三连结构造的立体图。
45.图22是图21的分解图。
46.图23是将阀板与阀杆连结的第四连结构造的立体图。
47.图24是图23的分解图。
48.图25是图23的剖视图。
49.附图标记说明
50.1 阀箱
51.2 开口
52.3 阀板
53.3a 阀前表面
54.3b 阀后表面
55.3c 阀上表面
56.3d 阀下表面
57.14 连结孔
58.14a 孔前表面
59.14b 孔后表面
60.15 连结轴
61.15a 轴前表面
62.15b 轴后表面
63.16 凹部
64.17 连结配件
65.18 连结螺钉
66.19 螺钉插通孔
67.20 螺纹孔
68.22 第一紧贴机构部
69.23 第一倾斜面
70.24 第二倾斜面
71.25 第二紧贴机构部
72.26 第三倾斜面
73.27 第四倾斜面
74.28 第三紧贴机构部
75.29 第五倾斜面
76.30 第六倾斜面
77.34 加热器
78.35 加热器孔
79.37 第一辅助配件
80.38 第二辅助配件
81.50 轴辅助配件
82.l 中心轴
83.α、β 倾斜角度。
具体实施方式
84.在图1及图2中示出本发明的闸阀。该闸阀安装于未图示的真空腔室来使用，具有：具备与该真空腔室的闸门连通的开口2的阀箱1、收容于该阀箱1的内部并对所述开口2进行开闭的阀板3、与该阀板3连结的阀杆4、以及经由该阀杆4对所述阀板3进行开闭操作的操作部5，通过该操作部5使所述阀板3向使所述开口2全开的开放位置和将所述开口2封闭的封闭位置位移。
85.所述操作部5具有在所述阀杆4的左右两侧相互平行地配置的2个气缸6、6，通过该气缸6、6经由所述阀杆4对所述阀板3进行开闭操作。但是，所述操作部5的这样的结构及作用是公知的，因此在此省略说明。
86.所述阀箱1形成为左右细长的矩形的箱形，具有前壁1a及后壁1b，在与真空腔室连接的前壁1a形成有横向细长的矩形的所述开口2和包围该开口2的平面状的阀座2a，通过将安装于所述阀板3的阀前表面3a的密封构件7压靠于该阀座2a，从而将所述开口2封闭。
87.在所述阀箱1的后壁1b也形成有比所述开口2大的后部开口8，但该后部开口8不由所述阀板3开闭。
88.此外，在以下的说明中，所述阀箱1的前后方向、上下方向及左右方向与其他部件的前后方向、上下方向及左右方向是彼此相同的方向。
89.在所述阀箱1的上表面形成有窗孔9，盖10通过多个盖安装螺钉11装卸自如地安装于该窗孔9，能够从通过拆下该盖10而开放的所述窗孔9将所述阀板3从所述阀杆4拆下并取出到外部。但是，也可以不在所述阀箱1的上表面设置所述窗孔9及盖10，而是通过所述后部开口8进行所述阀板3的装卸。
90.根据图2及图4可知，所述阀板3呈横向细长的矩形的板状，具有安装有所述密封构件7的阀前表面3a、该阀前表面3a的相反侧的阀后表面3b、阀上表面3c及阀下表面3d，所述阀前表面3a及阀后表面3b为相互平行的平面。该阀板3以能够从该阀板3的上方拆下的方式连结于所述阀杆4的上端部。因此，以下对所述阀板3与所述阀杆4的连结进行说明，但在对图4～图18所示的第一连结构造进行说明之前，基于图3所示的基本构造，在原理上对所述阀板3与所述阀杆4的连结进行说明。
91.如图3所示，所述阀板3具有上下贯通该阀板3的连结孔14，所述阀杆4在呈圆柱状的杆主体4a的顶端具有与所述连结孔14嵌合的连结轴15。
92.所述连结孔14具有在所述阀板3的长度方向(左右方向)上细长地延伸的长孔形的截面形状，具有位于所述阀前表面3a侧的孔前表面14a、位于所述阀后表面3b侧的孔后表面14b、以及左右的孔侧面14c、14c(参照图5)。所述孔前表面14a及孔后表面14b是相互平行的平面，所述孔侧面14c、14c是呈圆弧状的凹曲面。
93.另一方面，所述连结轴15呈将圆柱的前表面及后表面用平行的2个平面切除那样的形状，具有与所述连结孔14的孔前表面14a面对的轴前表面15a、与所述连结孔14的孔后表面14b面对的轴后表面15b、以及与所述连结孔14的左右的孔侧面14c、14c面对的左右的轴侧面15c、15c(参照图5)。所述轴前表面15a及轴后表面15b是相互平行的平面，所述左右的轴侧面15c、15c是呈圆弧状的凸曲面。
94.在所述阀板3及连结轴15的上表面配设有将该阀板3与所述阀杆4连结的连结配件17。该连结配件17以跨越该阀板3的孔前表面14a与所述连结轴15的轴前表面15a的面对部分的方式配设在形成于所述阀板3的上表面的凹部16内，穿过形成于该连结配件17的螺钉插通孔19将连结螺钉18与形成于所述连结轴15的上端的螺纹孔20螺纹连接，由此将该连结配件17固定于所述连结轴15。此时，所述连结配件17的前端部及后端部与所述阀板3及连结轴15的一部分抵接。
95.所述连结配件17由在用所述连结螺钉18紧固时不易变形的金属材料形成，在所述凹部16内配设成不从该凹部16向上方突出。
96.所述螺钉插通孔19的内径为能够具有余量地插通所述连结螺钉18的大小，因此所述连结配件17能够在拧入所述连结螺钉18时在与该连结螺钉18正交的方向上稍微位移。另外，在所述螺钉插通孔19的上端部形成有沉孔部19a，所述连结螺钉18的头部18a以不会从所述连结配件17向上方大幅突出的方式收容在该沉孔部19a内。
97.此外，图中的标注附图标记21的部分是排气孔，是用于在将所述连结螺钉18拧入所述螺纹孔20时将该螺纹孔20内的空气向所述孔后表面14b与轴后表面15b之间的间隙g1释放的孔。
98.在所述连结配件17的后端部与所述连结轴15抵接的部分形成有第一倾斜面23，该第一倾斜面23与形成于所述连结轴15的轴后表面15b的上端部的第二倾斜面24抵接，由上述第一倾斜面23和第二倾斜面24形成第一紧贴机构部22。
99.另外，在所述连结配件17的前端部与所述阀板3抵接的部分形成有第三倾斜面26，该第三倾斜面26与形成于比所述阀板3的上端的所述孔前表面14a靠阀前表面3a的位置的第四倾斜面27抵接，由上述第三倾斜面26和第四倾斜面27形成第二紧贴机构部25。
100.而且，在所述阀板3的阀前表面3a的下端部形成有第五倾斜面29，该第五倾斜面29与形成于所述连结轴15的所述轴前表面15a的下端部的突壁部31的第六倾斜面30抵接，由该第五倾斜面29和第六倾斜面30形成第三紧贴机构部28。
101.所述第一紧贴机构部22的所述第一倾斜面23及第二倾斜面24越趋向上方越逐渐向接近通过所述螺纹孔20的中心的中心轴l的方向倾斜，所述第二紧贴机构部25的所述第三倾斜面26及第四倾斜面27也越趋向上方越逐渐向接近所述中心轴l的方向倾斜。在该情况下，由于所述第一紧贴机构部22和第二紧贴机构部25相对于所述中心轴l位于彼此相反侧，因此所述第一倾斜面23及第二倾斜面24的倾斜方向与所述第三倾斜面26及第四倾斜面27的倾斜方向为彼此相反的方向。
102.另一方面，所述第三紧贴机构部28的所述第五倾斜面29及第六倾斜面30越趋向上方越逐渐向远离所述中心轴l的方向倾斜，其倾斜方向为与所述第二紧贴机构部25的第三倾斜面26及第四倾斜面27的倾斜方向相反的方向。
103.另外，所述第一倾斜面23及第二倾斜面24相对于所述中心轴l的倾斜角度α比所述第三倾斜面26及第四倾斜面27相对于所述中心轴l的倾斜角度β小。但是，两者可以是彼此相同的角度，或者也可以是倾斜角度α比倾斜角度β大。
104.而且，所述第二紧贴机构部25配置于比所述第一紧贴机构部22靠阀板3的上表面侧的位置，但两者也可以位于上下相同的位置。
105.这样，在所述连结配件17分别与所述阀板3的上端部及所述连结轴15的上端部抵接的部分形成有所述第一紧贴机构部22及第二紧贴机构部25，并且在所述阀板3的下端部与所述连结轴15的下端部抵接的部分形成有所述第三紧贴机构部28，因此当拧入所述连结螺钉18时，在所述第一紧贴机构部22中，所述第一倾斜面23与所述第二倾斜面24强力地压接，从而经由该第二倾斜面24对所述连结轴15作用将所述轴前表面15a向所述孔前表面14a压靠的方向的分力，另外，在所述第二紧贴机构部25中，所述第三倾斜面26与所述第四倾斜面27强力地压接，从而经由该第四倾斜面27对所述阀板3作用将所述孔前表面14a向所述轴前表面15a压靠的方向的分力。因此，通过所述连结配件17，所述阀板3与所述连结轴15在所述轴前表面15a与所述孔前表面14a紧贴的方向上相互拉近。
106.另一方面，在所述阀板3的下端部侧，在所述第三紧贴机构部28中，通过所述阀板3被所述连结配件17向下按压而将该阀板3的下端部压靠于所述突壁部31，从而所述第五倾斜面29与所述第六倾斜面30强力地压接，因此经由该第五倾斜面29对所述阀板3的下部作用将所述孔前表面14a压靠于所述轴前表面15a的方向的分力，通过该分力，所述孔前表面14a的下方侧的部分紧贴于所述轴前表面15a的下方侧的部分。
107.其结果是，所述阀板3的连结孔14的孔前表面14a与所述连结轴15的轴前表面15a在面对的整个面中均等地紧贴。
108.另一方面，所述连结孔14的孔后表面14b与所述连结轴15的轴后表面15b成为非接触，在它们之间形成所述间隙g1。
109.此时，如上所述，所述连结配件17除了在所述第一紧贴机构部22中后端部与所述
连结轴15抵接并在所述第二紧贴机构部25中前端部与所述阀板3抵接以外，不与所述阀板3及阀杆4接触，而是在与所述连结轴15的上表面之间保持有间隙g2的状态下固定于该连结轴15。
110.此外，所述连结螺钉18及螺纹孔20在所述中心轴l上分别设置有1个，也可以如图4所示，在隔着所述中心轴l相对的位置设置2个。
111.接着，基于图4～图18对用于将所述阀板3与阀杆4连结的第一连结构造进行说明。如图9所示，该第一连结构造是在所述阀杆4的内部内置有加热器34的情况下的连结构造，基于与图3所示的基本构造相同的原理，提高阀板3与阀杆4的紧贴性。
112.所述加热器34是筒式加热器，收容于贯通所述阀杆4的中心的加热器孔35的内部，该加热器34的上端部延伸至所述连结轴15的内部。另外，在所述加热器34的上端部配置有热电偶作为传感器36，由该热电偶的顶端的温度检测部检测温度。
113.所述传感器36收容于传热性优异的铝制的传感器罩36a的内部，所述加热器孔35的上端部由强度优异的不锈钢制的盖体35a覆盖。该盖体35a焊接于不锈钢制的所述安装轴15。但是，也可以利用不锈钢一体地形成所述传感器罩36a和盖体35a，并焊接于所述安装轴15。
114.所述第一连结构造与所述基本构造不同的主要不同点在于：不将第二紧贴机构部25的第四倾斜面27及第三紧贴机构部28的第五倾斜面29直接形成于阀板3，而形成于固定地安装于该阀板3的第一辅助配件37及第二辅助配件38；以及与用于设置这些第一辅助配件37及第二辅助配件38的结构相关的点，其他的结构及作用大致与所述基本构造相同。
115.因此，在以下的说明中，有时在所述第一连结构造的、具有与所述基本构造相同的结构及功能的部分使用与在该基本构造中使用的附图标记相同的附图标记，另外，对于具有与所述基本构造相同的结构的部分，标注在该基本构造中使用的附图标记并省略其说明。
116.如图4～图9所示，形成于所述阀板3的阀上表面3c的所述凹部16在该阀板3的阀后表面3b侧向外部开放，在该阀板3的阀前表面3a侧关闭，具有跨越所述连结孔14向前后及左右方向扩展的第一凹部16a和形成于所述连结孔14与所述阀后表面3b之间的第二凹部16b。所述第二凹部16b的左右长度与所述连结孔14的左右长度大致相同，该第二凹部16b距阀上表面3c的深度比所述第一凹部16a距阀上表面3c的深度大。另外，在所述第一凹部16a，在所述连结孔14的左右两外侧，在靠近所述阀前表面3a的位置，分别各形成有1个俯视形状呈长方形的配件卡定孔39、39。
117.并且，在所述凹部16内，经由所述第一辅助配件37收容所述连结配件17，穿过形成于该连结配件17的2个螺钉插通孔19、19及形成于所述第一辅助配件37的2个螺钉插通孔40、40，将2个连结螺钉18、18拧入形成于所述阀杆4的连结轴15的上表面的2个螺纹孔20、20，从而将所述第一辅助配件37配置成实质上固定于所述阀板3的状态，并且，所述连结配件17在从该第一辅助配件37之上局部地与所述连结轴15和该第一辅助配件37抵接的状态下安装于所述连结轴15的上端。
118.如图10～图12所示，所述连结配件17具有俯视形状呈长方形的板状的主体部17a、从该主体部17a的后端中央部向下延伸的后壁部17b、以及从所述主体部17a的前表面向下延伸的前壁部17c。在所述后壁部17b的前表面下端部形成有所述第一紧贴机构部22的第一
倾斜面23，在所述前壁部17c的后表面形成有所述第二紧贴机构部25的第三倾斜面26，如图8所示，所述第一倾斜面23与形成于所述连结轴15的轴后表面15b的上端部的第二倾斜面24抵接，所述第三倾斜面26与形成于所述第一辅助配件37的第四倾斜面27抵接。
119.另一方面，所述第一辅助配件37是用于形成所述第二紧贴机构部25的所述第四倾斜面27的配件，如图13～图15所示，具有俯视形状呈长方形的板状的主体部37a和形成于该主体部37a的下表面的靠近左右两端部的位置的2个卡定突起37b、37b，通过将该卡定突起37b、37b嵌合并卡定于所述阀板3的所述配件卡定孔39、39内，从而配置成实质上固定于该阀板3的状态。
120.但是，形成于该第一辅助配件37的所述螺钉插通孔40与形成于所述连结配件17的所述螺钉插通孔19为相同直径或者比其稍大，因此该第一辅助配件37能够在拧入所述连结螺钉18时相对于所述连结配件17在所述阀板3的前后方向上相对地稍微位移。
121.所述第一辅助配件37的左右长度比所述第一凹部16a的左右长度稍短，所述第一辅助配件37的前后长度是该第一辅助配件37的后端部超过所述螺纹孔20而延伸至所述轴后表面15b侧的长度。并且，在所述主体部37a的前表面及后表面分别形成有倾斜面，其中形成于前表面的倾斜面为所述第四倾斜面27。
122.在此，所述第一辅助配件37通过固定地配置于所述阀板3而构成该阀板3的一部分，因此可以说所述第四倾斜面27形成于所述阀板3的一部分。因此，在本发明中，在所述第四倾斜面27直接形成于所述阀板3的情况和经由所述第一辅助配件37间接地形成于该阀板3的情况下都处理为形成于阀板3。该处理方法对于其他倾斜面也是同样的，特别是对于后述的第五倾斜面29及图25的第二倾斜面24也是同样的。
123.在所述阀板3中的阀前表面3a的下端部中央，通过多个配件固定螺钉41固定所述第二辅助配件38，在该第二辅助配件38形成所述第三紧贴机构部28的所述第五倾斜面29，该第五倾斜面29与所述连结轴15的第六倾斜面30抵接。
124.如图16～图18所示，所述第二辅助配件38具有俯视形状呈长方形的主体部38a、从该主体部38a的前端部向上方突出的卡定壁38b、以及从所述主体部38a向下突出的抵接壁38c，在所述主体部38a的左右两端部形成有用于插通所述配件固定螺钉41的螺钉插通孔38d。
125.所述卡定壁38b遍及所述主体部38a的全长而形成，卡定于所述阀板3的下端部，所述抵接壁38c局部地形成于所述主体部38a的长度方向(左右方向)的中央部，该抵接壁38c的左右长度比所述阀杆4的所述突壁部31的左右长度稍长，在该抵接壁38c形成有所述第五倾斜面29。
126.由于所述第一连结构造这样构成，所以与所述基本构造的情况同样地，通过拧入所述连结螺钉18时的所述第一紧贴机构部22、第二紧贴机构部25及第三紧贴机构部28的协同作用，所述阀板3与阀杆4在所述连结孔14的孔前表面14a与所述连结轴15的轴前表面15a的面对部分整面地紧贴的状态下连结。其结果是，来自所述加热器34的热从所述阀杆4高效地传递到阀板3。
127.图19及图20示出将所述阀板3与所述阀杆4连结的第二连结构造。该第二连结构造与所述第一连结构造不同的主要不同点在于：第一辅助配件37由2个配件固定螺钉45、45固定于阀板3；连结轴15的上端的第二倾斜面24被分为左右的2个面部分24a、24a；以及连结配
件17的第一倾斜面23也被分为左右的2个面部分23a、23a，除此以外的结构及作用实质上与所述第一连结构造相同。
128.因此，以下对所述第二连结构造与所述第一连结构造不同的主要部分进行说明。
129.如图19及图20所示，所述阀板3在凹部16中的所述连结孔14的左右两外侧的位置具有配件用螺纹孔46、46，所述第一辅助配件37在靠近其左右两端部的位置具有螺钉插通孔47、47，通过将插通于该螺钉插通孔47、47的配件固定螺钉45、45与所述配件用螺纹孔46、46螺纹连接，从而将所述第一辅助配件37固定于所述阀板3。
130.另外，所述连结配件17具有与所述连结轴15的左右长度大致相同的左右长度，在后端部具有左右2个后壁部17b、17b，在该后壁部17b、17b的前表面下端部形成有构成所述第一倾斜面23的2个面部分23a、23a。并且，该连结配件17通过将连结螺钉18、18穿过螺钉插通孔19、19及所述第一辅助配件37的螺钉插通孔40、40而与所述阀杆4的连结轴15的上端的螺纹孔20、20螺纹连接，从而经由所述第一辅助配件37固定于所述连结轴15，构成该连结配件17的第一倾斜面23的2个面部分23a、23a分别与构成所述连结轴15的第二倾斜面24的2个面部分24a、24a抵接。
131.图21及图22示出将所述阀板3与所述阀杆4连结的第三连结构造。该第三连结构造与所述第二连结构造不同的主要不同点在于：构成阀杆4的连结轴15的上端的第二倾斜面24的2个面部分24a、24a从形成有螺纹孔20、20及加热器孔35的部分向上方突出；以及连结配件17的后壁部17b遍及主体部17a的左右方向(长度方向)整体而连续地形成，并且其高度比所述第二连结构造中的连结配件17的后壁部17b的高度低。
132.所述第三连结构造的上述结构以外的结构及作用实质上与所述第二连结构造相同。
133.图23、图24及图25示出将所述阀板3与所述阀杆4连结的第四连结构造。该第四连结构造与所述第三连结构造不同的主要不同点在于：所述阀杆4的连结轴15的上端的所述第二倾斜面24作为一个面形成于固定地配置于该连结轴15的上端的轴辅助配件50，除此以外的结构及作用实质上与所述第三连结构造相同。
134.所述轴辅助配件50具有俯视形状呈长方形的板状的主体部50a和从该主体部50a的后端部立起的抵接壁50b。在所述主体部50a形成有供所述2个连结螺钉18、18插通的2个螺钉插通孔51、51，在所述抵接壁50b的下表面形成有与所述连结轴15的轴后表面15b的上端部卡定的卡定缘50c，在所述抵接壁50b的上端部形成有所述第二倾斜面24。
135.所述轴辅助配件50配置于所述第一辅助配件37的下方，利用所述连结螺钉18、18固定于所述连结轴15的上端部，所述连结配件17的第一倾斜面23与所述第二倾斜面24抵接。
136.此外，在图3所示的基本构造中，在阀杆4的内部未收容加热器，但也能够与所述第一～第四连结构造同样地在所述阀杆4的内部收容加热器。
137.另外，所述第一连结构造、第二连结构造、第三连结构造及第四连结构造也能够应用于如所述基本构造那样在阀杆4的内部没有内置加热器的情况。