一种气路基块的制作方法

1.本发明涉及特气柜技术领域，尤其涉及一种气路基块。


背景技术：

2.特气柜主要用于供应易燃、易爆、剧毒等特种气体，主要用于半导体和led等新兴行业。
3.半导体集成特气柜气路常规安装连接方式繁琐、工作量大、易泄漏点多，安全系数低。例如，图1所示的特气柜基块与阀体的连接结构，包括：阀体1、内螺纹接头2、ucr接头3、垫片4以及阀体支架5。阀体1设置于阀体支架5上，阀体1的输入端和输出端均连接一个内螺纹接头2。每个内螺纹接头2的端部又连接ucr接头3。其中，内螺纹接头2与ucr接头3之间通过垫片4密封；如图2所示的特气柜基块与阀体的连接结构，包括：多个阀体1、每个阀体1对应一进一出两个内螺纹接头2，内螺纹接头2上连接ep管6，ep管6之间通过直角接头7和三通接头8相接。以上提到的特气柜基块与阀体的连接结构中接头和管路连接方式繁琐，尤其当特气柜基块与阀体数目较多时，以上提到的特气柜基块与阀体连接结构复杂，在连接时工作量大。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于提供一种气路基块，用于连接特气柜的阀体，当特气柜的基块与阀体数目较多时，使特气柜基块与阀体连接结构得到简化，连接时工作量小。
5.为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：
6.一种气路基块，包括：基块本体，所述基块本体上设置有多个安装孔，所述安装孔用于连接阀体；所述基块本体内设置有进气通道和出气通道，所述进气通道具有第一进气口和第一出气口；所述出气通道具有第二进气口和第二出气口，所述第一出气口与所述阀体的进气口相通；所述第二进气口与所述阀体的出气口相通。
7.在一种实现方式中，所述进气通道设置有一个所述第一进气口，所述出气通道设置有一个或多个所述第二出气口。
8.在一种实现方式中，所述基块本体包括：
9.进气基块，所述进气基块内设置所述进气通道；
10.出气基块，与所述进气基块相对设置，所述出气基块内设置所述出气通道。
11.在一种实现方式中，当所述阀体设置一个时，所述进气通道为l型通道；当所述阀体设置多个时，所述进气通道包括一个进气主通道和连接于所述进气主通道的多个进气支通道；当所述阀体设置一个时，所述出气通道为l型通道，当所述阀体设置多个时，所述出气通道包括一个出气主通道和连接于所述出气主通道的多个出气支通道。
12.在一种实现方式中，所述进气基块与所述出气基块为分体结构或一体结构。
13.在一种实现方式中，所述进气通道具有贯通所述进气基块的第一直线通道，所述第一直线通道的两端均设置有第一工艺孔堵帽，用于密封所述第一直线通道；所述出气通
道具有贯通所述出气基块的第二直线通道，所述第二直线通道的两端均设置有第二工艺堵帽，用于密封所述第二直线通道。
14.在一种实现方式中，所述进气通道的第一出气口与所述阀体的进气口之间设置有c型环；所述出气通道的第二进气口与所述阀体的出气口之间设置有c型环，所述c型环用于压紧密封。
15.在一种实现方式中，所述气路基块还包括：底座，所述基块本体上还设置有多个固定孔，所述固定孔用于将所述基块本体限位固定于所述底座。
16.在一种实现方式中，所述基块本体上位于所述第一出气口的两侧各设置有一个所述安装孔；所述基块本体上位于所述第二进气口的两侧各设置有一个所述安装孔。
17.在一种实现方式中，所述进气通道的第一进气口和第一出气口设置于所述基块本体的同一面上，所述进气通道为c型通道；所述出气通道的第二进气口和第二出气口设置于所述基块本体的同一面上，所述出气通道为c型通道。
18.与现有技术相比，本发明提供的一种气路基块中，在基块本体内设置进气通道和出气通道，再将进气通道、出气通道与阀体相接。在连接管路时，不再需要大量的直角接头以及三通接头等，使得管路连接方式得到了简化；连接管路时有效避免了连接多个接头，工作量大大减小，且安全可靠。
附图说明
19.此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本发明的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：
20.图1为现有技术中单个阀体与基块的连接结构示意图；
21.图2为现有技术中多个阀体与基块的连接结构示意图；
22.图3为本发明实施例一种气路基块与阀体连接的立体结构示意图；,
23.图4为本发明实施例中进气基块的立体结构示意图；
24.图5为图4的a-a剖视图；
25.图6为本发明实施例中出气基块的立体结构示意图；
26.图7为图6的剖视图；
27.图8为为本发明实施例中单个阀体与单个基块本体相连接的剖视图。
28.附图标记：
29.1-阀体；2-内螺纹接头；3-ucr接头；4-垫片；5-阀体支架；6-ep管；7-直角接头；8-三通接头；9-基块本体；901-安装孔；902-进气通道；903-出气通道；904-第一进气口；905-第一出气口；906-第二进气口；907-第二出气口；908-进气基块；909-出气基块；910-进气主通道；911-进气支通道；912-出气主通道；913-出气支通道；914-第一工艺孔堵帽；915-第二工艺堵帽；916-c型环；917-固定孔；10-阀体；11-底座。
具体实施方式
30.为了使本发明所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
31.需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。
32.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。“若干”的含义是一个或一个以上，除非另有明确具体的限定。
33.在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
34.在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
35.请参阅图3～图6，本发明实施例提供的一种气路基块，包括：基块本体9，基块本体9为矩形结构，以图4为准，基块本体9的顶部设置有多个安装孔901，安装孔901用于连接阀体10；安装孔901可以为螺纹孔，阀体10通过螺栓连接于基块本体9上；在另外的实施例中，安装孔901还可以为通孔，阀体10通过插销连接于基块本体9上。基块本体9内设置有进气通道902和出气通道903，进气通道902具有第一进气口904和第一出气口905；出气通道903具有第二进气口906和第二出气口907，第一出气口905与阀体10的进气口相通；第二进气口906与阀体10的出气口相通，以图4为准，第一进气口904可设置于基块本体9的侧面，也可设置于基块本体9的顶部，具体根据实际情况而定；以图6为准，第二进气口906设置于基块本体9的顶部，第二出气口907设置于基块本体9的侧面。
36.具体实施时：将阀体10接于基块本体9的顶部，气体从第一进气口904进入基块本体9内的进气通道902，进入进气通道902的气体经过阀体10后可进入出气通道903，阀体10的关闭与打开控制气体的流通，进入出气通道903的气体能够从第二出气口907内排出。
37.通过上述气路基块的结构和具体实施过程可知，在基块本体9内设置进气通道902和出气通道903，再将进气通道902、出气通道903与阀体10相接。在连接管路时，不再需要大量的直角接头以及三通接头等，使得管路连接方式得到了简化；连接管路时有效避免了连接多个接头，工作量大大减小，且安全可靠。
38.请参阅图3～图5，作为一种可能的实施方式，进气通道902设置有一个第一进气口904，出气通道903设置有一个或多个第二出气口907。根据实际需要，进气通道902也可以设置多个第一进气口904；还可以是：进气通道902设置有一个或多个第一进气口904，而出气通道903设置有一个第二出气口907。
39.具体实施时：当阀体10有一个时，气体从进气通道902的第一进气口904进入进气通道902，接着经过阀体10，由阀体10控制气体的接通与关闭，经过阀体10的气体直接通过第二进气口906进入出气通道903，然后从出气通道903上的第二出气口907排出；当阀体10
设置有多个时，气体也是从进气通道902的第一进气口904进入进气通道902，进入进气通道902的气体经过多个阀体10，由单个的阀体10独立控制气体的接通与关闭，经过多个阀体10的气体通过多个第二进气口906进入出气通道903，然后从出气通道903的第二出气口907排出。
40.通过上述气路基块的结构和具体实施过程可知，在进气通道902上设置一个第一进气口904，在安装时只需要一个接头就可以将阀体10与基块连接起来，不再需要复杂的管路将其连接，避免了使用直角接头、三通管等连接结构，大大简化了气路基块与阀体的连接结构，连接时不易泄露连接点，安全可靠。
41.请参阅图3～图7，作为一种可能的实施方式，基块本体9包括：进气基块908和出气基块909，进气基块908内设置进气通道902。出气基块909内设置出气通道903。在一些实施例中，进气基块908与出气基块909为分体结构或一体结构。进气基块908与出气基块909为分体结构时，出气基块909与进气基块908相对设置，出气基块909与进气基块908之间间隔一定的距离；调节两者之间的距离，可以适应不同的阀体10的连接，进气基块908与出气基块909为一体结构时，搬运、安装较为方便。
42.具体实施时：气体先经过进气基块908内的进气通道902，然后再经过出气基块909内的出气通道903，阀体10在进气基块908与出气基块909之间，以控制进气通道902与出气通道903间的气体流通。
43.通过上述气路基块的结构和具体实施过程可知，将基块本体9划分为进气基块908和出气基块909。进气基块908内设置进气通道902；出气基块909内设置出气通道903，进气基块908与出气基块909之间的距离可调，以适应不同类型的阀体10。
44.请参阅图3～图7，在一些实施例中，当阀体10设置一个时，进气通道902为l型通道；当阀体10设置多个时，进气通道902包括一个进气主通道910和连接于进气主通道910的多个进气支通道911；当阀体10设置一个时，出气通道903为l型通道，当阀体10设置多个时，出气通道903包括一个出气主通道912和连接于出气主通道912的多个出气支通道913；另外，当阀体10设置一个时，进气通道902还可以为c型通道；出气通道903可以为c型通道。
45.具体实施时：当阀体10设置一个时，在基块本体9上的进气通道902设置一个第一进气口904和一个第一出气口905，第一进气口904和第一出气口905设置在不同的面上，构成l型通道；出气通道903设置一个第二进气口906和第二出气口907，第二进气口906和第二出气口907在不同的面上，构成l型通道；当阀体10设置多个时，进气通道902分出了进气主通道910和多个进气支通道911，气体首先经过进气主通道910，接着进入多个进气支通道911，进气支通道911的数目与阀体10的数目相同，每个进气支通道911内的气体进入各自对应的阀体10，由阀体10控制气体的流通；通过阀体10的气体进入出气通道903，气体首先进入出气主通道912，接着进入每个阀体10对应的出气支通道913，最后到达第二出气口907。
46.通过上述气路基块的结构和具体实施过程可知，当阀体10设置一个时，进气通道902和出气通道903均为l型通道。连接时只需要将气体管道的一个端部连接在第一进气口904上。气体从阀体10出来后，在第二出气口907接上出气管道，结构简单，安装方便；当阀体10设置多个时，进气通道902设置一个进气主通道910和多个进气支通道911；出气通道903设置一个出气主通道912和多个出气支通道913。这种采用内部分流的结构设置，避免了在基块本体9外部设置多个管道，同时也不需要多个直角接头或三通接头进行管路的连接，大
大简化了基块本体9与阀体10的连接结构；常规气路在阀体10或气路分路时，采用三通(四通等)连接时对应阀体10需要阀体10数量双倍的接头；不仅安装繁琐，而且增加了特气管路的泄露危险；本发明根据管路需求，采取内部分流的方式，大大降低了分流的危险性、并且增加了稳定性。
47.在一些实施例中，进气通道902具有贯通进气基块908的第一直线通道，第一直线通道的两端均设置有第一工艺孔堵帽914，用于密封第一直线通道；出气通道903具有贯通出气基块909的第二直线通道，第二直线通道的两端均设置有第二工艺堵帽915，用于密封第二直线通道。
48.具体实施时：两个第一工艺孔堵帽914设置于第一直线通道的两端，起到密封的作用。同理，两个第二工艺堵帽915设置于第二直线通道的两端，也起到密封的作用。将第一直线通道和第二直线通道均设置为贯通的通道是加工过程中不可避免的，只需要通过第一工艺孔堵帽914保证第一直线通道的气密性；通过第二工艺堵帽915保证第二直线通道的气密性即可。
49.请参阅图8，在一些实施例中，进气通道902的第一出气口905与阀体10的进气口之间设置有c型环916；出气通道903的第二进气口906与阀体10的出气口之间设置有c型环916，c型环916用于压紧密封。第一出气口905与阀体10的进气口之间也可以通过密封圈密封；第二进气口906与阀体10的出气口之间也可以通过密封圈密封。
50.具体实施时：在进气通道902的第一出气口905放置c型环916，然后将阀体10的进气口压紧密封于c型环916。c型环916使第一出气口905与阀体10的进气口得到有效地密封，使第二进气口906与阀体10的出气口之间得到有效地密封。
51.通过上述气路基块的结构和具体实施过程可知，不同于常规管路的连接方式，本发明通过c型环916压紧密封的方法作为安装、连接方式，此方式不仅安装方便、密封效果稳定，而且大大减小了气路集成系统的使用面积(基本1/2以上)。
52.请参阅图8，作为一种可能的实现方式，气路基块还包括：底座11，底座11为板状结构，基块本体9上还设置有多个固定孔917，固定孔917用于将基块本体9限位固定于底座11。
53.具体实施时：将基块本体9放置到底座11的适当位置，多个固定孔917可均为螺纹孔，通过螺栓配合螺纹孔的方式将基块本体9固定设置于底座11上。
54.通过上述气路基块的结构和具体实施过程可知，将基块本体9通过固定孔917固定于底座11，使得整个装置更加稳定，提高了装置的安全系数。
55.请参阅图4，在一些实施例中，基块本体9上位于第一出气口905的两侧各设置有一个安装孔901；基块本体9上位于第二进气口906的两侧各设置有一个安装孔901。在具体实施时，第一出气口905两侧的安装孔901距离第一出气口905的距离相等；第二进气口906两侧的安装孔901距离第二进气口906的距离相等。这样设置的目的是使阀体10与基块本体9之间的连接更加牢固，防止漏气。
56.在一些实施例中，进气通道902的第一进气口904和第一出气口905设置于基块本体9的同一面上，进气通道902为c型通道；出气通道903的第二进气口906和第二出气口907设置于基块本体9的同一面上，出气通道903为c型通道。
57.具体实施时：可根据基块本体9的具体尺寸将第一进气口904和第一出气口905设置于基块本体9的同一面，需要注意的是进气通道902与出气通道903应有良好的气密性。
58.本技术涉及的气路基块内部流道采用1/2英寸管件对应流道，流量大，满足多种特气管路流量需求。
59.在上述实施方式的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
60.以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。