一种泄压装置的制作方法

1.本实用新型涉及防爆技术领域，特别涉及一种泄压装置。


背景技术：

2.碳化硅炉是一种真空设备，在晶体生长之前需要进行抽真空操作，再通入氮气、氩气等惰性气体以及氢气。其中，惰性气体不参与反应，氢气作为还原气体参与反应，且氢气为一种活泼气体不稳定，在非正常运行条件下，真空设备中有可能发生压力猛然升高情况，此时若无保护机制则对产品生产会有不利影响，且压力过高会对设备产生损害甚至会有爆炸风险，对生产人员生命健康造成威胁。
3.但是，现有技术中的真空设备对瞬间产生的高压难以在短时间内进行消除，因此，亟待一种新型的设备，以对真空设备瞬间产生的高压进行消除，降低对生产人员的威胁，且能够保证真空设备的正常运行。


技术实现要素：

4.本实用新型提供了一种泄压装置，用于改善现有技术中，真空设备中瞬间产生的高压无法快速的消除的问题。
5.为达到上述目的，本实用新型提供以下技术方案：
6.一种泄压装置，包括：用于与抽气管道连接的第一泄压结构；
7.所述第一泄压结构包括：第一连接管、第一法兰、压盖和防爆阀罩；
8.所述第一连接管的一端与所述抽气管道连接，所述第一连接管的另一端与所述第一法兰的第一开孔处连接，所述第一法兰与所述防爆阀罩密封连接，所述压盖与所述第一法兰朝向所述防爆阀罩的一端密封连接；
9.所述抽气管道内的气压瞬间达到预设值，所述压盖向远离所述第一法兰的一端移动，所述抽气管道与所述防爆阀罩的内腔连通，以对所述抽气管道泄压。
10.本技术提供的泄压装置包括第一泄压结构，其中，第一泄压结构包括用于与抽气管道连通的第一连接管，第一连接管远离抽气管道的一端与第一法兰的第一开孔处固定连接，第一法兰还与防爆阀罩固定连接，且第一法兰朝向防爆阀罩的一端连接有压盖，当抽气管道内的气压瞬间达到预设值的时候，压盖会向远离第一法兰的一端移动，进而使压盖与第一法兰之间产生间隙，以使抽气管道内的气体通过第一连接管以及间隙进入到防爆阀罩内，从而可以将抽气管道内的高压高效的释放。此外，抽气管道内的气体进入到防爆阀罩内后，由于，防爆阀罩为密封的空间，可以将气体进行收集，以便于气体的重复利用。
11.需要说明的是，待抽气管道内的气压释放完成后，还可以将压盖再次与第一法兰密封连接，以使真空设备中的气体通过抽气管道排出。
12.可选地，所述第一泄压结构还包括多个第一连接件和与所述第一连接件一一对应的弹性件；
13.所述压盖上设有安装孔，所述弹性件设置于所述安装孔，所述第一连接件穿过所
述弹性件与所述第一法兰连接。
14.可选地，所述第一泄压结构还包括第二法兰，所述第二法兰设置于所述第一法兰和所述防爆阀罩之间，且所述第二法兰的第二开孔与所述压盖之间存在间隙，以使所述压盖向远离所述第一法兰的一端移动时，所述抽气管道通过所述间隙与所述防爆阀罩的内腔连通。
15.可选地，所述第一泄压结构还包括第一密封圈，所述第一密封圈设置于所述第一法兰和所述第二法兰之间。
16.可选地，所述第一泄压结构还包括第二密封圈，所述第二密封圈设置于所述第一法兰与所述压盖之间。
17.可选地，所述第一泄压结构还包括多个第二连接件，多个所述第二连接件穿过所述第一法兰与所述防爆阀罩连接。
18.可选地，所述泄压装置还包括第二泄压结构，所述第二泄压结构用于与所述抽气管道连接；
19.其中，所述第一泄压结构的泄压速度大于所述第二泄压结构的泄压速度。
20.可选地，所述第二泄压结构包括第二连接管和泄压阀，所述第二连接管的一端与所述抽气管道连通，所述第二连接管的另一端与所述泄压阀连通，其中，所述第二连接管的内径小于所述第一连接管的内径。
21.可选地，所述第二泄压结构还包括第三连接管，所述第三连接管的一端与所述泄压阀连通，所述第三连接管的另一端与所述防爆阀罩的内腔连通。
22.可选地，所述防爆阀罩上设置有废气收集口，所述废气收集口用于与废气收集管连通。
附图说明
23.图1为本实用新型实施例提供的泄压装置与抽气管道连接的剖视图；
24.图2为本实用新型实施例提供的泄压装置与抽气管道连接的结构示意图。
25.图标：1-第一连接管；2-第一法兰；3-压盖；4-防爆阀罩；5-抽气管道；6-第一连接件；7-弹性件；8-第二法兰；9-第一密封圈；10-第二密封圈；11-第二连接件；12-第二连接管；13-泄压阀；14-第三连接管；15-废气收集管。
具体实施方式
26.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
27.如图1和图2所示，本实施例提供的一种泄压装置包括：用于与抽气管道5连接的第一泄压结构；
28.所述第一泄压结构包括：第一连接管1、第一法兰2、压盖3和防爆阀罩4；
29.所述第一连接管1的一端与所述抽气管道5连接，所述第一连接管1的另一端与所述第一法兰2的第一开孔处连接，所述第一法兰2与所述防爆阀罩4密封连接，所述压盖3与
所述第一法兰2朝向所述防爆阀罩4的一端密封连接；
30.所述抽气管道5内的气压瞬间达到预设值，所述压盖3向远离所述第一法兰2的一端移动，所述抽气管道5与所述防爆阀罩4的内腔连通，以对所述抽气管道5泄压。
31.本技术提供的泄压装置包括第一泄压结构，其中，第一泄压结构包括用于与抽气管道5连通的第一连接管1，第一连接管1远离抽气管道5的一端与第一法兰2的第一开孔处固定连接，第一法兰2还与防爆阀罩4固定连接，且第一法兰2朝向防爆阀罩4的一端连接有压盖3，当抽气管道5内的气压瞬间达到预设值的时候，压盖3会向远离第一法兰2的一端移动，进而使压盖3与第一法兰2之间产生间隙，以使抽气管道5内的气体通过第一连接管1以及间隙进入到防爆阀罩4内，从而可以将抽气管道5内的高压高效的释放。
32.此外，待抽气管道5内的气压释放完成后，还可以将压盖3再次与第一法兰2密封连接，以使真空设备中的气体通过抽气管道5排出。
33.需要说明的是，预设值可以但不限定为0.12mpa。
34.在一种可能的实施例中，第一泄压结构还可以包括多个第一连接件6和多个弹性件7，其中，在压盖3上设置有安装孔，且安装孔可以为阶梯孔，弹性件7可以设置在阶梯孔中，第一连接件6穿过弹性件7与压感可拆卸连接，以使压盖3与第一法兰2连接，且将第一法兰2的第一开孔封堵。当抽气管道5内的气压瞬间达到了设定值时，抽气管道5内的气体会对推动压盖3，进而使设置在安装孔中的弹性件7被进一步的压缩，在弹性件7和气体的作用下，压盖3向远离第一法兰2的一侧运动，以使压盖3与第一法兰2之间存在间隙，使抽气管道5、第一连接管1以及防爆阀罩4连通，以将抽气管道5内的高压高效的释放，防止真空设备产生爆炸等问题。
35.需要说明的是，第一连接件6可以是螺栓，弹性件7可以是压缩弹簧，当压盖3向远离第一法兰2的一侧运动之后(即泄压完成之后)，压盖3还可以通过第一连接件6和弹性件7与第一法兰2密封连接，以使压盖3重复使用。而且，第一泄压结构还可以包括多个第二连接件11，第二连接件11可以穿过第一法兰2将第一法兰2与防爆阀罩4连接，以使第一法兰2固定于防爆阀罩4上，其中，第二连接件11也可以是螺栓。
36.在一种可能的实施例中，第一泄压结构还可以包括第二法兰8，第二法兰8可以设置在第一法兰2和防爆阀罩4之间，其中，压盖3设置在第二法兰8的第二开孔处，且压盖3与第二开孔的内壁之间存在间隙，即当压盖3受力向远离第一法兰2所在的位置移动时，第一连接管1与防爆阀罩4内之间可以通过该间隙来连通，以使抽气管道5内的气压快速的释放，防止危险的产生。
37.在一种可能的实施例中，第一泄压结构还可以包括第一密封圈9和第二密封圈10，其中，第一密封圈9设置在第一法兰2和第二法兰8之间，第一密封圈9的设置可以保证防爆阀罩4与第一法兰2之间连接的密闭性，即可以保证抽气管道5在泄压时，抽气管道5内的气体不会与外部环境之间进行交换，从而保证与抽气管道5连通的系统工作的稳定性。另外，此种方式还可以保证特殊气体在排出防爆阀后，气体依旧在密闭空间(防爆阀罩)中，以便于后续对气体进行收集。第二密封圈10设置在盖板与第一法兰2之间，第二密封圈10的设置为了压盖3未向远离第一法兰2的一侧运动时，抽气管道5内的气体不会通过第一连接管1进入到防爆阀罩4内部，进一步的提高与抽气管道5连通的系统工作的稳定性。
38.在上述的实施例中，泄压装置还可以包括第二泄压结构，第二泄压结构也连接于
抽气管道5，其中，第一泄压结构的泄压速度大于第二泄压结构的泄压速度。当抽气管道5内的气压缓慢的升高至预设值时(即与抽气管道5连通的真空设备内的气压)，第二泄压结构开启，第二泄压结构即可将抽气管道5内的气压排出；当抽气管道5内的气压瞬间提升至预设值时，第二泄压结构开启不能够有效的将抽气管道5内的气压排出，此时，第一泄压结构也工作，压盖3在弹性件7以及气压的作用下，向远离第一法兰2的一侧运动，以保证抽气管道5内的气压快速的降低，保证与抽气管道5连接的真空设备稳定的运行。
39.在一种可能的实施例中，第二泄压结构可以包括第二连接管12和泄压阀13，第二连接管12的一端与抽气管道5连通，第二连接管12的另一端与泄压阀13连通，当抽气管道5内的气压达到预设值时，泄压阀13开启，以对抽气管道5泄压。其中，第二连接管12的内径小于第一连接管1的内径，即进入到第二连接管12的内气体大于进入第一连接管1的气体的量。
40.需要说明的是，第二泄压结构还可以包括第三连接管14，第三连接管14可以为波纹软管，第三连接管14的一端与泄压阀13连通，第三连接管14的另一端可以防爆阀罩4的连通，以使经过泄压阀13排出的气体可以进入到防爆阀罩4内，且防爆阀罩4内还设置有废气收集口，经过第一泄压结构和第二泄压结构排出的气体，均可以通过与废气收集口连接的废气收集管15排出并进行收集。
41.综上所述，第一泄压结构和第二泄压结构的设置，可以对抽气管道5内的气体进行有效的排出，能够在短时间内消除抽气管道5，以及与抽气管道5连接的真空设备的压力风险，对抽气管道5，以及与抽气管道5连接的真空设备(碳化硅炉)进行有效的保护，保证生产正常运行及人员人身安全。
42.显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。