一种晶圆防震动系统的制作方法

1.本实用新型涉及半导体行业晶圆领域，尤其涉及一种晶圆防震动系统。


背景技术：

2.目前，在晶圆的涂布工艺中，为保证药液附着的均匀性，以及晶圆的稳定性，需要将晶圆安装至承片台上，使晶圆随承片台旋转，同时进行涂布。但是，由于晶圆本身的结构特性，旋转时会产生偏心振动。低转速下，例如转速3000rpm时，晶圆的偏心振动不明显；高转速下，例如4000至5000rpm时，晶圆的振动显著增加，导致晶圆不稳定，涂布不均匀。


技术实现要素：

3.因此，本实用新型提供一种晶圆防震动系统，有效解决晶圆承片高速转动时晶圆偏心振动明显，导致晶圆不稳定，涂布不均匀的问题。
4.本实用新型提供一种晶圆防震动系统，包括：晶圆，所述晶圆包括晶圆本体和减重位，所述减重位位于所述晶圆本体的一侧；承片台，所述承片台的顶部为承载面，所述晶圆设于所述承载面；配重组件，所述配重组件连接于所述承片台的一侧。
5.与现有技术相比，采用该技术方案后所达到的技术效果：晶圆安装在承片台上随承片台旋转，实现均匀涂布。其中，减重位使晶圆的重心向远离减重位的一侧偏移，配重组件使承片台的重心向另一侧偏移，在承片台的转动过程中，保证晶圆防震动系统的力矩平衡，从而提高晶圆在承片台上的稳定性，减少晶圆的偏心振动，提高均匀涂布的效果。
6.进一步的，所述承片台包括：承片部，所述承载面为所述承片部的顶面；支撑部，所述支撑部设于所述承片部底部。
7.采用该技术方案后所达到的技术效果：承片部用于支撑杆晶圆；支撑部用于和驱动装置连接，从而驱动承片台和晶圆旋转。
8.进一步的，所述配重组件设于所述承片部的底面，并位于所述支撑部的一侧。
9.采用该技术方案后所达到的技术效果：承片部底面具有足够的空间安装配重组件，便于配重组件的拆卸和安装，从而根据晶圆的规格或位置调整配重组件的重量，以达到更好的平衡效果。
10.进一步的，所述承片部包括：配重安装槽，所述配重组件位于所述配重安装槽内。
11.采用该技术方案后所达到的技术效果：配重组件位于配重安装槽内可以避免承片部工作环境内飞溅的液体影响配重组件，配重安装槽提供了足够的空间用于容纳不同大小或数量的配重组件，避免配重组件伸出承片部底面的长度较大，导致承片台旋转过程中配重组件与其他装置发生干涉。
12.进一步的，所述配重组件包括：至少一个配重块；锁定件，所述锁定件可拆卸连接所述承片部，所述配重块设于所述锁定件和所述承片部之间，所述配重块由所述锁定件支撑。
13.采用该技术方案后所达到的技术效果：配重块由锁定件支撑，使得配重块能够稳
定地安装在承片部底面。
14.进一步的，所述锁定件包括：安装杆，所述安装杆可拆卸连接所述承片部；法兰件，所述法兰件连接所述安装杆远离所述承片部的一侧；其中，所述配重块包括安装孔，所述安装孔套设于所述安装杆，多个所述配重块依次叠放于所述法兰件。
15.采用该技术方案后所达到的技术效果：安装杆可拆卸连接所述承片部，便于配重块的增加或减少；配重块通过与安装杆的套接，可以避免脱离锁定件，并且不容易松动，从而起到稳定的配重效果。
16.进一步的，所述配重块的数量n＝n0时，所述配重组件和所述承片台整体的重心位于所述承片台的中心轴线；其中，n0为基础数量值。
17.采用该技术方案后所达到的技术效果：所述配重块的数量n＝n0时，承片台本身能够实现平衡，从而平稳转动。
18.进一步的，所述配重块的数量n＝n1时，所述配重组件、所述承片台以及所述晶圆整体的重心位于所述承片台的中心轴线；其中，n1为第一数量值。
19.采用该技术方案后所达到的技术效果：n1≠n0，即改变所述配重块的数量，可以使承片台的重心向一侧偏移；n1＞n0，承片台的重心向配重组件所在一侧偏移，此时控制晶圆的减重位所在一侧与配重组件所在一侧对应，可以使配重组件、承片台以及晶圆整体保持平衡，从而减少晶圆的偏心振动；n1＜n0，承片台的重心向远离配重组件的另一侧偏移，此时控制晶圆的减重位所在一侧与配重组件所在一侧相对，可以使配重组件、承片台以及晶圆整体保持平衡，从而减少晶圆的偏心振动。
20.进一步的，所述减重位为开设于所述晶圆本体一侧形成的平边。
21.采用该技术方案后所达到的技术效果：便于夹持晶圆，也便于通过数学方法计算晶圆重心所在的位置，从而便于确定配重组件所需的配重块的数量n。
22.进一步的，所述平边中点和所述承片台中心的连线，与所述配重组件与所述承片台重心的连线，成角度α。
23.采用该技术方案后所达到的技术效果：根据承片台的转速，控制合适的角度α，可以使晶圆防震动系统在旋转过程中整体的力矩平衡，从而进一步减小晶圆的偏心振动，提高稳定性。
24.综上所述，本技术上述各个实施例可以具有如下一个或多个优点或有益效果：i)减重位使晶圆的重心向远离减重位的一侧偏移，配重组件使承片台的重心向另一侧偏移，从而在承片台的转动过程中保证晶圆防震动系统的力矩平衡，减小晶圆的振动，提高晶圆涂布的均匀性和稳定性；ii)锁定件可拆卸连接承片部底面，从而便于调节配重块的数量，以便于适应不同规格或不同位置的晶圆。
附图说明
25.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
26.图1为本实用新型第一实施例提供的一种晶圆防震动系统的结构示意图。
27.图2为图1中晶圆防震动系统另一视角的结构示意图。
28.图3为图2中a-a方向的剖视图。
29.图4为图3中i区域的局部放大图。
30.图5为图1中承片台的结构示意图。
31.主要元件符号说明：
32.100为晶圆防震动系统；110为晶圆；111为减重位；120为承片台；121为承载面；122为承片部；122a为配重安装槽；123为支撑部；123a为轴孔；124为空气流通槽；130为配重组件；131为配重块；132为锁定件；132a为安装杆；132b为法兰件。
具体实施方式
33.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
34.【第一实施例】
35.参见图1-4，本实用新型第一实施例提供一种晶圆防震动系统100，包括：晶圆110、承片台120和配重组件130。其中，晶圆110包括晶圆110本体和减重位111，减重位111位于晶圆110本体的一侧；承片台120的顶部为承载面121，晶圆110设于承载面121；配重组件130连接于承片台120的一侧。
36.在本实施例中，晶圆110安装在承片台120上随承片台120旋转，实现均匀涂布。其中，减重位111使晶圆110的重心向远离减重位111的一侧偏移，配重组件130使承片台120的重心向另一侧偏移，在承片台120的转动过程中，保证晶圆防震动系统100的力矩平衡，从而提高晶圆110在承片台120上的稳定性，减少晶圆110的偏心振动，提高均匀涂布的效果。
37.在一个具体的实施例中，承片台120例如包括：承片部122和支撑部123，承载面121为承片部122的顶面，支撑部123设于承片部122底部。其中，支撑部123用于和驱动装置连接，从而驱动承片台120和晶圆110旋转。
38.优选的，支撑部123中心设有轴孔123a，轴孔123a为多个台阶结构，使得驱动装置的输出轴能够支撑于轴孔123a内，稳定地驱动承片台120转动。
39.优选的，结合图5，轴孔123a延伸至承片部122顶部；承片台120还包括空气流通槽124，空气流通槽124开设于承片台120顶部，并且连通轴孔123a，晶圆110安装至承片台120后覆盖空气流通槽124，轴孔123a进行抽气可以使晶圆110吸附于承载面121上，从而提高晶圆110的稳定性。
40.在一个具体的实施例中，配重组件130设于承片部122的底面，并位于支撑部123的一侧。其中，承片部122底面具有足够的空间安装配重组件130，便于配重组件130的拆卸和安装，从而根据晶圆110的规格或位置调整配重组件130的重量，以达到更好的平衡效果。
41.优选的，配重组件130还可以设置多个；配重组件130也可以设于承片部122的侧面，即承片部122一侧或多侧，此处不做限定。
42.在一个具体的实施例中，承片部122例如还包括，配重安装槽122a，配重组件130位于配重安装槽122a内。举例来说，配重安装槽122a为卡设于承片部122底面的孔状结构，一
方面，配重组件130位于配重安装槽122a内可以避免承片部122工作环境内飞溅的液体影响配重组件130，另一方面，配重安装槽122a提供了足够的空间用于容纳不同大小或数量的配重组件130，避免配重组件130伸出承片部122底面的长度较大，导致承片台120旋转过程中配重组件130与其他装置发生干涉。
43.优选的，配重安装槽122a也可以设置多个，例如多个配重安装槽122a周向分布于承片部122的底面，并且，可以根据实际配重需求，在任意数量的配重安装槽122a上安装配重组件130，提高配重的灵活性。
44.在一个具体的实施例中，配重组件130例如包括：至少一个配重块131；锁定件132，锁定件132可拆卸连接承片部122，配重块131设于锁定件132和承片部122之间，配重块131由锁定件132支撑，使得配重块131能够稳定地安装在承片部122底面。
45.优选的，配重安装槽122a内开设有直径小于配重安装槽122a的螺纹孔，锁定件132端部具有螺纹，从而实现锁定件132和配重安装槽122a的快速装配，并在锁定件132和配重安装槽122a侧面之间留出空隙用于安装配重块131。
46.当然，锁定件132和配重安装槽122a还可以通过卡扣、磁吸等方式连接，此处不做限定。
47.在一个具体的实施例中，锁定件132例如包括：安装杆132a，安装杆132a可拆卸连接承片部122；法兰件132b，法兰件132b连接安装杆132a远离承片部122的一侧。其中，配重块131包括安装孔，安装孔套设于安装杆132a，多个配重块131依次叠放于法兰件132b。配重块131通过与安装杆132a的套接，可以避免脱离锁定件132，并且不容易松动，从而起到稳定的配重效果。
48.优选的，锁定件132例如为螺栓，锁定件132的安装杆132a至少端部具有螺纹；配重块131例如为垫片，此处不做限定。
49.在一个具体的实施例中，配重块131的数量n＝n0时，配重组件130和承片台120整体的重心位于承片台120的中心轴线；其中，n0为基础数量值。在未增加或减少配重块131数量时，承片台120能够平稳转动。
50.在一个具体的实施例中，配重块131的数量n＝n1时，配重组件130、承片台120以及晶圆110整体的重心位于承片台120的中心轴线；其中，n1为第一数量值，n1≠n0。
51.优选的，n1可以小于或大于n0。举例来说，n1大于n0时，承片台120的重心向配重组件130所在一侧偏移，而晶圆110的中心向远离减重位111的一侧偏移，此时，机械手搬运晶圆110时，控制晶圆110的减重位111所在一侧与配重组件130所在一侧对应，可以使配重组件130、承片台120以及晶圆110整体保持平衡，从而减少晶圆110的偏心振动。
52.相应的，n1小于n0时，承片台120的重心向远离配重组件130的另一侧偏移，此时，机械手搬运晶圆110时，控制晶圆110的减重位111所在一侧与配重组件130所在一侧相对，可以使配重组件130、承片台120以及晶圆110整体保持平衡，从而减少晶圆110的偏心振动。
53.优选的，减重位111为开设于晶圆110本体一侧形成的平边。便于夹持晶圆110，也便于通过数学方法计算晶圆110重心所在的位置，从而便于确定配重组件130所需的配重块131的数量n。
54.在一个具体的实施例中，平边中点和承片台120中心的连线，与配重组件130与承片台120重心的连线，成角度α。根据承片台120的转速，控制合适的角度α，可以使晶圆防震
动系统100在旋转过程中整体的力矩平衡，从而进一步减小晶圆110的偏心振动，提高稳定性。
55.最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。