一种用于离子注入机的防微振基座的制作方法

1.本实用新型涉及隔振装置技术领域，具体是一种用于离子注入机的防微振基座。


背景技术：

2.目前半导体行业飞速发展，半导体生产设备的精度要求越来越高，设备对微振动等环境的要求也越来越敏感，少许的微振动就会降低设备的产出良率，甚至使设备不能正常工作，因此对微振动的隔离变得越来越重要。
3.对微振动的隔离通常采用防微振基座实现，传统基座一般为钢结构和混凝土两种，根据不同种类的精密仪器匹配不同结构尺寸的基座，而半导体生产车间经常使用一些大型的精密仪器，如：离子注入机imp型号，这些仪器需要配套的基座较大，如果采用传统的焊接方式制作成一体式的基座，基座运输、移动较困难，且成本较高，而且安装时需要的人力较多，安装费用大。


技术实现要素：

4.实用新型的目的在于提供一种用于离子注入机的防微振基座，以解决上述背景技术中存在的问题。
5.本实用新型的技术方案是这样实现的：
6.一种用于离子注入机的防微振基座，包括单体a、单体b、单体c和单体d，所述单体a、单体b、单体c和单体d均包括顶板、顶梁、支腿和底梁，所述顶板与顶梁焊接固定，所述顶梁底部焊接有支腿，所述支腿底部与底梁顶部焊接固定，所述单体a、单体b、单体c和单体d之间通过顶梁的螺栓栓接固定。
7.进一步地，所述顶梁由h型钢焊接制成框体结构，所述顶梁的框体结构内侧焊接有h型钢制成的横梁和纵梁。
8.进一步地，所述支腿由h型钢制成。
9.进一步地，所述底梁由h型钢焊接制成框体结构，所述底梁的框体结构内侧焊接有h型钢制成的横梁和纵梁。
10.进一步地，所述单体a呈t型结构，所述单体b、单体c、单体d均呈矩形结构。
11.进一步地，所述顶板由不锈钢板制成。
12.进一步地，所述顶板上开设有通孔。
13.本实用新型的有益效果为：
14.本实用新型采用栓接方式将四个单体基座连接成一个大型基座，基座由h型钢制成，提高了基座的承重能力，同时提高了基座的刚性及防微振能力，基座以单体形式移动、运输更加方便，降低了基座运输、安装成本，同时连接后的基座能够满足大型精密仪器的承重及防微振要求，防微振等级可达vc-d级。
附图说明
15.图1为本实用新型的结构示意图。
16.图2为本实用新型的主视图。
17.图中1-单体a，2-单体b，3-单体c，4-单体d，5-顶板，6-顶梁，7-支腿，8-底梁，9-螺栓，10-通孔。
具体实施方式
18.下面将结合实施例对本实用新型技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述地实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
19.如图1-2 所示，一种用于离子注入机的防微振基座，包括单体a1、单体b2、单体c3和单体d4，所述单体a1、单体b2、单体c3和单体d4均包括顶板5、顶梁6、支腿7和底梁8，所述顶板5与顶梁6焊接固定，所述顶梁6底部焊接有支腿7，所述支腿7底部与底梁8顶部焊接固定，所述单体a1、单体b2、单体c3和单体d4之间通过顶梁5的螺栓9栓接固定。
20.所述支腿7由h型钢制成。
21.所述底梁8由h型钢焊接制成框体结构，所述底梁8的框体结构内侧焊接有h型钢制成的横梁和纵梁。
22.所述单体a1呈t型结构，所述单体b2、单体c3、单体d4均呈矩形结构。
23.所述顶板5由不锈钢板制成。
24.所述顶板5上开设有通孔。
25.基座制作时，制作成四个单体，分别是单体a1、单体b2、单体c3和单体d4，在运输和搬运过程中呈现的状态为四个单体，搬运至安装地点后，将四个单体通过顶梁6的螺栓9依次栓接固定即可。
26.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种用于离子注入机的防微振基座，包括单体a、单体b、单体c和单体d，其特征在于，所述单体a、单体b、单体c和单体d均包括顶板、顶梁、支腿和底梁，所述顶板与顶梁焊接固定，所述顶梁底部焊接有支腿，所述支腿底部与底梁顶部焊接固定，所述单体a、单体b、单体c和单体d之间通过顶梁的螺栓栓接固定。2.根据权利要求1所述的一种用于离子注入机的防微振基座，其特征在于，所述顶梁由h型钢焊接制成框体结构，所述顶梁的框体结构内侧焊接有h型钢制成的横梁和纵梁。3.根据权利要求1所述的一种用于离子注入机的防微振基座，其特征在于，所述支腿由h型钢制成。4.根据权利要求1所述的一种用于离子注入机的防微振基座，其特征在于，所述底梁由h型钢焊接制成框体结构，所述底梁的框体结构内侧焊接有h型钢制成的横梁和纵梁。5.根据权利要求1所述的一种用于离子注入机的防微振基座，其特征在于，所述单体a呈t型结构，所述单体b、单体c、单体d均呈矩形结构。6.根据权利要求1所述的一种用于离子注入机的防微振基座，其特征在于，所述顶板由不锈钢板制成。7.根据权利要求1所述的一种用于离子注入机的防微振基座，其特征在于，所述顶板上开设有通孔。

技术总结
本实用新型提供了一种用于离子注入机的防微振基座，包括单体A、单体B、单体C和单体D，其特征在于，所述单体A、单体B、单体C和单体D均包括顶板、顶梁、支腿和底梁，所述顶板与顶梁焊接固定，所述顶梁底部焊接有支腿，所述支腿底部与底梁顶部焊接固定，所述单体A、单体B、单体C和单体D之间通过顶梁的螺栓栓接固定。本实用新型采用栓接方式将四个单体基座连接成一个大型基座，基座由H型钢制成，提高了基座的承重能力，同时提高了基座的刚性及防微振能力，基座以单体形式移动、运输更加方便，降低了基座运输、安装成本，同时连接后的基座能够满足大型精密仪器的承重及防微振要求，防微振等级可达VC-D级。D级。D级。


技术研发人员：尹波 刘国东 张厚根
受保护的技术使用者：大连地拓重工有限公司
技术研发日：2022.06.21
技术公布日：2022/12/19