一种用于外延炉的监测装置的制作方法

1.本实用新型涉及外延炉领域，尤其涉及一种用于外延炉的监测装置。


背景技术：

2.为了加工出高性能的半导体器件，一般采用需要采用外延工艺在衬底材料上外延生长一层电阻率和厚度可控的高质量单晶层，以提供高一致性的外延材料，上述外延工艺工作时，则需要使用到外延炉。
3.外延炉通过感应线圈对石墨基座加热，通入相关气源，气源分解沉积在衬底表层，形成目标外延层。由于温度对生长速率、杂质掺杂、衬底自掺杂影响很大，因此在外延过程中温区分布对外延参数的一致性影响较大。
4.在相关技术中，外延炉在工作的过程中，需要对内部的温度进行监测。然而，现有的部分监测设备在使用的过程中，不便于调节温度计的工作位置，在调节的过程中需要花费大量的时间和精力。以及不便于进行快速安装，在安装的过后才能中需要花费大量的时间，进而导致工作人员的工作效率较低。
5.因此，有必要提供一种用于外延炉的监测装置解决上述技术问题。


技术实现要素：

6.本实用新型提供一种用于外延炉的监测装置，解决了在相关技术中，现有的部分监测设备在使用时不便于调节温度计的工作位置，以及不便于进行快速安装的问题。
7.为解决上述技术问题，本实用新型提供的一种用于外延炉的监测装置，包括：炉体；
8.把手，所述把手的底部固定连接于炉体的顶部；
9.调节组件，所述调节组件的底部设置于炉体的顶部，所述调节组件包括安装架，所述安装架的底部设置于炉体的顶部，所述安装架的顶部转动连接有转动盘，所述转动盘的底部贯穿安装架的顶部且延伸至安装架的内部，所述转动盘的底部固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的底端与安装架内壁的底部转动连接，所述螺纹杆的周侧面螺纹连接有螺块；
10.安装组件，所述安装组件的左侧固定连接于调节组件的右侧。
11.优选的，所述螺块的正面和背面均固定连接有凸块，所述凸块的周侧面与安装架的内侧滑动连接，所述安装架的内侧开设有滑动槽。
12.优选的，所述安装组件包括横板，所述横板的左侧固定连接于安装架的右侧，所述横板的内壁滑动连接有两个滑动块，两个所述滑动块的正面和背面均固定连接有凸板。
13.优选的，四个所述凸板的周侧面与横板的内侧滑动连接，两个所述滑动块相离的一侧均固定连接有弹簧，两个所述弹簧相离的一侧与横板的内侧固定连接。
14.优选的，两个所述滑动块的底部均固定连接有夹持板，两个所述夹持板相离的一侧均固定连接有拉环，所述横板的内侧开设有滑槽。
15.优选的，所述螺块的左侧固定连接有安装板，所述安装板的内侧固定连接有金属
温度计，所述安装板顶部的左侧固定连接有监测装置。
16.与相关技术相比较，本实用新型提供的一种用于外延炉的监测装置具有如下有益效果：
17.本实用新型提供一种用于外延炉的监测装置，通过螺纹杆的转动带动螺块向下进行移动，螺块的移动带动安装板向下进行移动，进而调节金属温度计工作时的高度位置，操作简单便捷，十分便于调节金属温度计的工作位置，便于工作人员对炉内温度进行监测，通过两个弹簧的弹力作用带动两个滑动块向相对的一侧进行移动，从而带动两个夹持板对把手的两侧进行夹持，进而完成对装置的安装，操作简单，且安装的过程较快，无需花费大量的时间对装置进行安装。
附图说明
18.图1为本实用新型提供的一种用于外延炉的监测装置的一种较佳实施例的结构示意图；
19.图2为图1所示a区的结构放大示意图；
20.图3为图1所示横板剖视图的结构示意图；
21.图4为图1所示安装架剖视图的结构示意图。
22.图中标号：1、炉体；2、把手；3、调节组件；31、安装架；32、转动盘；33、螺纹杆；34、螺块；35、凸块；36、滑动槽；4、安装组件；41、横板；42、滑动块；43、凸板；44、弹簧；45、夹持板；46、拉环；47、滑槽；5、安装板；6、金属温度计；7、监测装置。
具体实施方式
23.下面结合附图和实施方式对本实用新型作进一步说明。
24.请结合参阅图1、图2、图3和图4，其中图1为本实用新型提供的一种用于外延炉的监测装置的一种较佳实施例的结构示意图；图2为图1所示a区的结构放大示意图；图3为图1所示横板剖视图的结构示意图；图4为图1所示安装架剖视图的结构示意图，一种用于外延炉的监测装置，包括：炉体1；
25.把手2，把手2的底部固定连接于炉体1的顶部；
26.调节组件3，调节组件3的底部设置于炉体1的顶部，调节组件3包括安装架31，安装架31的底部设置于炉体1的顶部，安装架31的顶部转动连接有转动盘32，转动盘32的底部贯穿安装架31的顶部且延伸至安装架31的内部，转动盘32的底部固定连接有螺纹杆33，螺纹杆33的底端与安装架31内壁的底部转动连接，螺纹杆33的周侧面螺纹连接有螺块34，螺块34的内侧设置有与螺纹杆33配合使用的螺纹，通过螺纹杆33的转动可以带动螺块34进行上下移动；
27.安装组件4，安装组件4的左侧固定连接于调节组件3的右侧。
28.螺块34的正面和背面均固定连接有凸块35，凸块35的周侧面与安装架31的内侧滑动连接，安装架31的内侧开设有滑动槽36，滑动槽36与凸块35配合使用，可以提供凸块35进行上下滑动。
29.安装组件4包括横板41，横板41的左侧固定连接于安装架31的右侧，横板41的内壁滑动连接有两个滑动块42，两个滑动块42的正面和背面均固定连接有凸板43。
30.四个凸板43的周侧面与横板41的内侧滑动连接，两个滑动块42相离的一侧均固定连接有弹簧44，两个弹簧44相离的一侧与横板41的内侧固定连接。
31.两个滑动块42的底部均固定连接有夹持板45，两个夹持板45相离的一侧均固定连接有拉环46，横板41的内侧开设有滑槽47，滑槽47与四个凸板43配合使用，可以提供四个凸板43进行左右滑动。
32.螺块34的左侧固定连接有安装板5，安装板5的内侧固定连接有金属温度计6，安装板5顶部的左侧固定连接有监测装置7，监测装置7为：安科瑞artm8温度监测仪，且外接有电源。
33.本实用新型提供的一种用于外延炉的监测装置的工作原理如下：
34.第一步：在使用时，转动转动盘32，通过转动盘32的转动带动螺纹杆33进行转动，螺纹杆33的转动带动螺块34向下进行移动，螺块34的移动带动安装板5向下进行移动，进而调节金属温度计6工作时的高度位置；
35.第二步：将两个拉环46向相离的一侧进行拉动，通过两个拉环46的移动带动两个夹持板45向相离的一侧进行移动，然后将两个夹持板45放在把手2的两侧，松开拉环46，通过两个弹簧44的弹力作用带动两个滑动块42向相对的一侧进行移动，从而带动两个夹持板45对把手2的两侧进行夹持，进而完成对装置的安装。
36.与相关技术相比较，本实用新型提供的一种用于外延炉的监测装置具有如下有益效果：
37.通过螺纹杆33的转动带动螺块34向下进行移动，螺块34的移动带动安装板5向下进行移动，进而调节金属温度计6工作时的高度位置，操作简单便捷，十分便于调节金属温度计6的工作位置，便于工作人员对炉内温度进行监测，通过两个弹簧44的弹力作用带动两个滑动块42向相对的一侧进行移动，从而带动两个夹持板45对把手2的两侧进行夹持，进而完成对装置的安装，操作简单，且安装的过程较快，无需花费大量的时间对装置进行安装。
38.以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。