可旋转波纹管装置的制作方法

本技术涉及半导体湿制程设备，特别是一种可旋转波纹管装置。

背景技术：

1、在半导体湿制程工艺设备中，存在某些特定环境例如化学腐蚀环境，在此种环境下运动机构金属材质需要避免被化学介质腐蚀失效；同时为了避免占用过多的空间，需要一种密封有效且同时满足升降旋转运动的防护装置。

2、现有技术一：采用交叉伸缩套筒+静密封密封件(密封圈、密封垫片等)。缺点是交叉伸缩部分占据很大高度空间，例如占用空间≥2倍伸缩行程；

3、现有技术二：采用普通波纹管+静密封密封件(密封圈、密封垫片等)；该结构能满足升降运动防护，但是无法做到兼容旋转运动。

技术实现思路

1、本实用新型为了有效的解决上述背景技术中的问题，提出了一种可旋转波纹管装置。

2、具体技术方案如下：

3、一种可旋转波纹管装置，包括波纹管本体，波纹管本体为非金属材质通过一体机械加工方式制造而成，自身具有拉伸压缩功能，两端分别与回转法兰一体成型组合成整体，实现一体回旋功能。

4、优选地，所述回转法兰分为第一回转法兰和第二回转法兰，所述第一回转法兰与运动装置安装，第二回转法兰用于固定于安装基座。

5、优选地，所述第二回转法兰包括由非金属材料制成的第一回转体、第二回转体和第三回转体，第一回转体的一侧与所述波纹管本体的一端一体成型，第一回转体另一侧向外伸出形成凸台结构，第三回转台套在凸台结构上并被第二回转体限位，第一回转体的内圈带有螺纹，第二回转体深入到第一回转体的内圈并与其螺纹连接。

6、优选地，所述第三回转体上设有沉头孔，用于螺栓与基座或底座固定使用。

7、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本装置利用一个非金属材质通过机械加工制作出来，可以同时实现旋转和升降运动防护的功能，占用空间小，寿命长。

技术特征：

1.一种可旋转波纹管装置，包括波纹管本体，其特征在于：所述波纹管本体为非金属材质通过一体机械加工方式制造而成，自身具有拉伸压缩功能，两端分别与回转法兰一体成型组合成整体，实现一体回旋功能；所述回转法兰分为第一回转法兰和第二回转法兰，所述第一回转法兰与运动装置安装，第二回转法兰用于固定于安装基座；所述第二回转法兰包括由非金属材料制成的第一回转体、第二回转体和第三回转体，第一回转体的一侧与所述波纹管本体的一端一体成型，第一回转体另一侧向外伸出形成凸台结构，第三回转台套在凸台结构上并被第二回转体限位，第一回转体的内圈带有螺纹，第二回转体深入到第一回转体的内圈并与其螺纹连接。

2.根据权利要求1所述的可旋转波纹管装置，其特征在于：所述第三回转体上设有沉头孔，用于螺栓与基座或底座固定使用。

技术总结
本技术涉及半导体湿制程设备技术领域，特别是一种可旋转波纹管装置，波纹管本体为非金属材质通过一体机械加工方式制造而成，自身具有拉伸压缩功能，两端分别与回转法兰一体成型组合成整体，实现一体回旋功能。本装置可以同时实现旋转和升降运动防护的功能。

技术研发人员：王淑梅,刘翠,蒋嘉
受保护的技术使用者：盛华基材（天津）科技有限公司
技术研发日：20220902
技术公布日：2024/1/14