一种附着物沉积装置的制作方法

本技术涉及半导体工艺，特别是涉及一种附着物沉积装置。

背景技术：

1、扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。扩散炉设有供气体通过的管道，在气流流经管道时，由于气流凝结，管道中会沉积大量附着物，导致阻塞管道。

2、目前，通常通过在管道外围加热，减缓气流凝结的速度，进而减少附着物的形成，但是效果很差，依然有大量的附着物沉积在管道内壁上。导致管道内壁短时间就要清除保养一次，由于保养时间很长，影响了生产效率。

技术实现思路

1、基于此，有必要针对附着物大量附着在管道内壁上，提供一种附着物沉积装置，以大量减少附着物的沉积。包括：

2、附着管，附着管内部中空，附着管用于可拆卸安装在管道的内壁上，以使附着管的外壁与管道的内壁上沿周向的至少部分区域贴合；

3、连接件，连接件位于附着管的内部，且与附着管的内壁固定连接。

4、在其中一个实施例中，还包括凸起，多个凸起沿附着管的周向间隔排布在附着管的外壁上，凸起用于与管道的内壁贴合。

5、在其中一个实施例中，凸起呈长条状。

6、在其中一个实施例中，凸起沿附着管的周向平行间隔排布。

7、在其中一个实施例中，凸起沿其长度方向的投影为半圆，凸起的弧形面用于与管道内壁接触。

8、在其中一个实施例中，附着管包括两个沿连接件的长度方向排布的第一附着部和第二附着部，第一附着部和第二附着部的外壁均用于与管道的内壁贴合，第一附着部和第二附着部沿自身长度方向投影均为圆弧，且半径相同，第一附着部和第二附着部之间形成缝隙，连接件的一端与第一附着部的内壁固定连接，另一端与第二附着部的内壁固定连接。

9、在其中一个实施例中，连接件能够通过沿自身长度方向收缩或者伸展，以调节第一附着部和第二附着部之间的距离。

10、在其中一个实施例中，连接件的一端与第一附着部连接，连接件的另一端与第二附着部螺纹连接，连接件被配置为通过旋转以调节第一附着部和第二附着部之间的距离。

11、在其中一个实施例中，第一附着部和第二附着部上均设有连接板，两个连接板沿连接件的长度方向平行排布，两个连接板上设有螺纹孔，两个螺纹孔内设有的螺纹旋转方向相反，连接件的两端均设有外螺纹，连接件的两端与两个连接板上的螺纹孔一一对应的螺纹连接。

12、在其中一个实施例中，第一附着部和第二附着部沿自身长度方向的投影形状为优弧和劣弧。

13、上述的一种附着物沉积装置，包括附着管和连接件，附着管内部中空，因此，当附着管安装于管道的内壁时，气流能经附着管内正常通过，以保证气流的正常流动。气流流动过程中，由于附着管的外壁与管道的内壁至少部分区域贴合，相当于对管道内壁上这些区域形成了遮挡，气流中因凝结而形成的附着物将不会大量沉积在管道内壁上，而会大量沉积在附着管的内壁，以及沉积在附着管外壁上未与管道内壁贴合的区域。连接件位于附着管的内部，且与附着管的内壁固定连接，设置连接件可以方便附着物的放入和取出。由于本申请提供的附着物沉积装置从物理角度减少了附着物与管道内壁的接触，使得附着物大量沉积在附着管上，只要隔一段时间取出来清洗一次换上去或者直接换一个新的，扩散炉就可以继续工作，不需要很长的保养时间，能够保证生产效率。

技术特征：

1.一种附着物沉积装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种附着物沉积装置，其特征在于，还包括凸起，多个所述凸起沿所述附着管的周向间隔排布在所述附着管的外壁上，所述凸起用于与所述管道的内壁贴合。

3.根据权利要求2所述的一种附着物沉积装置，其特征在于，所述凸起呈长条状。

4.根据权利要求3所述的一种附着物沉积装置，其特征在于，所述凸起沿所述附着管的周向平行间隔排布。

5.根据权利要求4所述的一种附着物沉积装置，其特征在于，所述凸起沿其长度方向的投影轮廓为半圆，所述凸起的弧形面用于与管道内壁接触。

6.根据权利要求1所述的一种附着物沉积装置，其特征在于，所述附着管包括两个沿所述连接件的长度方向排布的第一附着部和第二附着部，所述第一附着部和所述第二附着部的外壁均用于与所述管道的内壁贴合，所述第一附着部和所述第二附着部沿自身长度方向投影均为圆弧，且半径相同，所述第一附着部和所述第二附着部之间形成缝隙，所述连接件的一端与所述第一附着部的内壁固定连接，另一端与所述第二附着部的内壁固定连接。

7.根据权利要求6所述的一种附着物沉积装置，其特征在于，所述连接件能够通过沿自身长度方向收缩或者伸展，以调节所述第一附着部和所述第二附着部之间的距离。

8.根据权利要求7所述的一种附着物沉积装置，其特征在于，所述连接件的一端与所述第一附着部连接，所述连接件的另一端与所述第二附着部螺纹连接，所述连接件被配置为通过旋转以调节所述第一附着部和所述第二附着部之间的距离。

9.根据权利要求8所述的一种附着物沉积装置，其特征在于，所述第一附着部和所述第二附着部上均设有连接板，两个所述连接板沿所述连接件的长度方向平行排布，两个所述连接板上设有螺纹孔，两个所述螺纹孔内设有的螺纹旋转方向相反，所述连接件的两端均设有外螺纹，所述连接件的两端与两个所述连接板上的螺纹孔一一对应的螺纹连接。

10.根据权利要求6所述的一种附着物沉积装置，其特征在于，所述第一附着部和所述第二附着部中，其中一个沿自身长度方向的投影形状为优弧，另一个为劣弧。

技术总结
本技术涉及一种附着物沉积装置，包括附着管和连接件。附着管内部中空，附着管用于可拆卸安装在管道的内壁上，以使附着管的外壁与管道的内壁上沿周向的至少部分区域贴合。连接件位于附着管的内部，且与附着管的内壁固定连接。由于本申请提供的附着物沉积装置从物理角度隔绝了附着物与管道内壁的接触，使得附着物大量沉积在附着管上，只要隔一段时间取出来清洗一次换上去或者直接换一个新的，扩散炉就可以继续工作，不需要很长的保养时间，能够保证生产效率。

技术研发人员：生建军
受保护的技术使用者：上海积塔半导体有限公司
技术研发日：20221124
技术公布日：2024/1/11