检测探头的安装机构的制作方法

文档序号:33533454发布日期:2023-03-22 08:13阅读:22来源:国知局
检测探头的安装机构的制作方法

1.本实用新型涉及半导体检测技术领域,尤其涉及一种检测探头的安装机构。


背景技术:

2.由于半导体技术的崛起,半导体等相关产业显得越发越重要,在半导体制造中,任何制造的缺陷,诸如裂纹、缝隙、空洞、气泡等都可以导致整个集成电路的失效。而目前超生半导体检测是检测性能较高的权威性检测,但是目前的超声检测扫描设备主要是采用的单探头设置在检测设备上进行扫描,虽然成本低,但是检测效率也较低,同时检测探头的位置无法进行调整,已经无法满足逐渐发展的封装检测市场的需求。


技术实现要素:

3.本实用新型的目的在于提供一种检测探头的安装机构,可以安装多个检测探头,并可以对检测探头进行位置调整,以提升检测效率。
4.为达此目的,本实用新型采用以下技术方案:
5.检测探头的安装机构,包括:
6.固定板,所述固定板的第一端连接外部的检测设备;
7.调节板,所述调节板可拆卸地连接在所述固定板的第二端,所述调节板上设置有多个检测通孔,所述检测通孔被配置为供与所述检测设备连接的检测探头穿出以进行检测;
8.固定夹,所述固定夹插接在所述检测通孔中,以能够夹持固定所述检测探头。
9.作为优选,所述调节板包括第一调节板与第二调节板,所述第一调节板垂直于所述第二调节板,所述检测通孔设置在所述第二调节板上,所述第一调节板与所述固定板的第二端可拆卸的连接。
10.作为优选,所述第一调节板设置有多个固定通孔,所述固定板上设置有与所述固定通孔匹配的固定螺纹孔。
11.作为优选,多个所述检测通孔位于同一直线上。
12.作为优选,相邻的所述检测通孔的中心间距相同。
13.作为优选,所述固定夹包括第一固定环和插接环,所述第一固定环单向开口,所述插接环的上端面与所述第一固定环上背离其开口的端部固定连接,所述插接环的外壁周向设置有第一限位板,所述插接环插接到所述检测通孔时,所述第一限位板与所述第二调节板抵接,所述第一限位板上设置有限位通孔,所述第二调节板上设置有与所述限位通孔相配合的限位螺孔。
14.作为优选,所述插接环的长度小于所述检测通孔的深度。
15.作为优选,所述第一限位板上还设置有第一定位孔,所述第二调节板上设置有与第一定位孔同轴心的第二定位孔。
16.作为优选,还包括第二固定环,所述第二固定环能够插接于所述第一固定环中,所
述第二固定环单向开口,所述第二固定环的上端面设置有第二限位板,所述第二限位板的外径大于所述第二固定环的外径,所述第二限位板与所述第二固定环上背离所述第二固定环的开口端固定连接,所述第二限位板上设置有与所述第一固定环同轴心的插接孔。
17.作为优选,所述固定板的第一端设置有固定箍,所述固定箍的两个端部设置有固定孔,所述固定板的相对侧设置有与所述固定孔相配合的紧固螺纹孔,所述固定箍与所述固定板之间夹持固定与所述检测探头连接的超声放大器。
18.本实用新型的有益效果:
19.通过固定板与可拆卸的调节板,将多个检测探头设置在设置检测设备上以对待检测物进行检测,以提高检测的效率,同时针对不同的检测情景,可以更换调节板上的大小来调节检测通孔上的数量和位置从而快速适应检测场景,以提高检测的效率。
附图说明
20.图1是本实用新型检测探头的安装机构中其中一个视角的示意图;
21.图2是本实用新型检测探头的安装机构中另一个视角的示意图;
22.图3是本实用新型检测探头的安装机构中调节板的示意图;
23.图4是本实用新型检测探头的安装机构中第一固定环的示意图;
24.图5是本实用新型检测探头的安装机构中第二固定环的示意图。
25.图中:
26.1、固定板;11、固定螺纹孔;2、调节板;21、第一调节板;211、固定通孔;22、第二调节板;221、限位螺孔;222、第二定位孔;23、检测通孔;3、检测探头;4、固定夹;41、第一固定环;42、插接环;43、第一限位板;431、限位通孔;432、第一定位孔;44、第二固定环;45、第二限位板;451、插接孔;5、固定箍;51、固定孔;52、散热通孔。
具体实施方式
27.下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是,此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型,而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是,为了便于描述,附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。
28.在本实用新型的描述中,除非另有明确的规定和限定,术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
29.在本实用新型中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触,也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
30.在本实施例的描述中,术语“上”、“下”、“左”、“右”、等方位或位置关系为基于附图
所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述和简化操作,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分,并没有特殊的含义。
31.如图1至图5所示,本实施例提供一种检测探头的安装机构,该安装机构包括固定板1,固定板1的第一端连接外部的检测设备,固定板1的第二端可拆卸的连接调节板2,其中调节板2上设置有多个检测通孔23,检测通孔23被配置为供与检测设备连接的检测探头3穿出以进行检测,检测通孔23中插接有固定夹4,以能够夹持固定检测探头3。
32.通过固定板1与可拆卸的调节板2,将多个检测探头3设置在设置检测设备上以对待检测物进行检测,以提高检测的效率,同时针对不同的检测情景,可以更换调节板2上的大小来调节检测通孔23的数量和位置从而快速适应检测场景,以提高检测的效率。
33.下面详细介绍本实施例,如图1至图3所示,一种检测探头的安装机构,该机构包括固定板1,本实施例固定板1的第一端通过螺栓连接外部的检测设备;固定板1的第二端可拆卸的连接调节板2,调节板2上设置有多个检测通孔23,检测通孔23被配置为供与检测设备连接的检测探头3穿出以进行检测。具体的,调节板2包括第一调节板21与第二调节板22,第一调节板21垂直于第二调节板22,检测通孔23设置在第二调节板22上,第一调节板21与固定板1的第二端可拆卸的连接;本实施例中,第一调节板21设置有多个固定通孔211,固定板1上设置有与固定通孔211匹配的固定螺纹孔11,螺栓穿过固定通孔211旋紧在固定螺纹孔11中以将第一调节板21与固定板1紧固连接。
34.为了方便工作人员对待检测物进行统一的放置,减少对放置物品的调整,多个检测通孔23位于同一直线上,相邻的检测通孔23的中心间距相同,本实施例中的检测探头的安装机构设置两个检测通孔,两个检测通孔设置在固定板1的两侧。为了固定检测探头3,检测通孔23中设置有固定夹4。具体的,如图4所示,固定夹4包括第一固定环41和插接环42,第一固定环41单向开口,需要说明的是,本实施例中的第一固定环41的开口端配置有旋紧用的螺栓,此为现有技术中固定环的固有配置。插接环42的端面与第一固定环41上背离其开口的端部固定连接,插接环42的外壁周向设置有第一限位板43,第一限位板43上设置有限位通孔431,当插接环42插接到检测通孔23时,第一限位板43与第二调节板22抵接,第二调节板22上设置有与限位通孔431相配合的限位螺孔221,螺栓穿过限位通孔431旋紧在限位螺孔221上使第二调节板22和第一限位板43固定,本实施例中,第一固定环41、插接环42和第一限位板43一体成型以方便制造。进一步地,插接环42的长度小于检测通孔23的深度,以避免插接环42伸出检测通孔23而干涉待检测物。进一步地,第一限位板43上还设置有第一定位孔432,第二调节板22上设置有与第一定位孔432同轴心的第二定位孔222;此设置方便固定夹4的安装,在安装固定夹4时将第一定位孔432与第二定位孔222通过插销对接以初步定位,为安装固定夹4提供便利。
35.进一步地,为了适应更多型号的检测探头3(型号不同的检测探头,其直径不同),如图5所示,固定夹4还设置有第二固定环44,第二固定环44能够插接于第一固定环41中,第二固定环44单向开口,需要说明的是,本实施例中的第二固定环44的开口端配置有旋紧用的螺栓,此为现有技术中固定环的固有配置。第二固定环44的上端面设置有第二限位板45,第二限位板45的外径大于第二固定环44的外径以形成限位台阶,第二限位板45与第二固定环44上背离第二固定环44的开口端固定连接,第二限位板45上设置有与第一固定环41同轴
心的插接孔451,检测探头3通过插接在插接孔451中。本实施例中,第二固定环44与第二限位板45一体成型以方便制造。对于较小直径的检测探头3,可以将其固定在第二固定环44中,并将第二固定环44插接到第一固定环41中,而第二限位板45与第一固定环41的上端部抵接进行固定,而对于直径较大的检测探头3可以不使用第二固定环44,直接将其插接在第一固定环41上进行固定。
36.如图1和图2所示,固定板1的第一端设置有固定箍5,固定箍5的两个端部设置有固定孔51,固定板1的相对侧设置有与固定孔51相配合的紧固螺纹孔,固定箍5与固定板1之间夹持固定与检测探头3连接的超声放大器,通过螺栓穿过固定孔51旋紧在紧固螺纹孔中以固定固定箍5,其中本实施例中,固定板1的第一端具有散热通孔52,散热通孔52与超声放大器的位置一一对应,一方面可以进行散热,另一方面为了对整体机构进行减重。
37.显然,本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例,而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说,能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。
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