一种基于磁浮-气囊主被动并联隔振基座的制作方法

本技术涉及隔振装置，具体是一种基于磁浮-气囊主被动并联隔振基座。

背景技术：

1、目前半导体行业飞速发展，半导体生产设备的精度要求越来越高，设备对微振动等环境的要求也越来越敏感，少许的微振动就会降低设备的产出良率，甚至使设备不能正常工作，因此对微振动的隔离变得越来越重要。

2、由外部环境振动及设备内部反作用力引起的微振动是制约超精密仪器测量精度与超精密加工装备制造精度的关键因素之一，高性能精密隔微振技术成为精密工程、超精密制造等领域的一项核心关键技术，对该技术的研究具有重要的实际意义与应用价值。振动控制部分是隔振平台的核心，针对中高频振动，多采用被动隔振，被动隔振结构简单、工作可靠、不依赖电源，可以有效地隔绝中高频振动干扰。针对低频甚至或超低频振动，多采用主动隔振。但精密仪器所处的环境是复杂的，不仅仅是单一的低频振动或高频振动，往往是低频振动和高频振动同时存在，而传统的隔振装置很难满足这种复杂环境振动的隔振要求。虽然出现了主动与被动混合隔振装置，但是往往存在占地空间大，隔振带宽较窄，系统定位精确度较差，对于复杂振动环境的隔振能力较弱等问题。

技术实现思路

1、实用新型的目的在于提供一种基于磁浮-气囊主被动并联隔振基座，以解决上述背景技术中存在的问题。

2、本实用新型的技术方案是这样实现的：

3、一种基于磁浮-气囊主被动并联隔振基座，包括顶板、隔振装置和底板，所述顶板底部四个角分别连接隔振装置，所述隔振装置底部分别与底板顶部四个角连接，所述隔振装置包括气囊，所述气囊顶部安装有支撑板，所述气囊底部安装有底座，所述支撑板底部中间连接支撑杆a，所述支撑杆a底部安装有永磁铁，所述底座顶部中间连接支撑杆b，所述支撑杆b顶部安装有电磁铁， 所述顶板底部还安装有位置传感器和速度传感器，所述底板顶部安装有控制器。

4、进一步地，所述顶板、底板均由不锈钢板制成矩形结构。

5、进一步地，所述支撑板、底座均由铝合金板制成圆形结构。

6、进一步地，所述支撑杆a、永磁铁、支撑杆b、电磁铁中心在同一垂线上。

7、进一步地，所述底座、支撑杆b中间垂直贯穿开设有线孔。

8、进一步地，所述控制器通过电缆与电磁铁、位置触感器、速度传感器连接。

9、本实用新型的有益效果为：

10、本实用新型将磁浮装置设置在气囊内部形成主被动并联的混合隔振结构，扩大了隔振带宽，减小了隔振装置的占地空间，同时在磁浮装置的上下采用铝合金材质的支撑板和底座，避免了其内部的磁场泄漏对上部精密仪器造成影响；通过气囊实现高频隔振，通过磁浮方式实现低频隔振，隔振带宽，定位精确，稳定性高，对0.5hz~200hz的振动干扰具有较好的隔振效果。

技术特征：

1.一种基于磁浮-气囊主被动并联隔振基座，包括顶板、隔振装置和底板，其特征在于，所述顶板底部四个角分别连接隔振装置，所述隔振装置底部分别与底板顶部四个角连接，所述隔振装置包括气囊，所述气囊顶部安装有支撑板，所述气囊底部安装有底座，所述支撑板底部中间连接支撑杆a，所述支撑杆a底部安装有永磁铁，所述底座顶部中间连接支撑杆b，所述支撑杆b顶部安装有电磁铁， 所述顶板底部还安装有位置传感器和速度传感器，所述底板顶部安装有控制器。

2.根据权利要求1所述的一种基于磁浮-气囊主被动并联隔振基座，其特征在于，所述顶板、底板均由不锈钢板制成矩形结构。

3.根据权利要求1所述的一种基于磁浮-气囊主被动并联隔振基座，其特征在于，所述支撑板、底座均由铝合金板制成圆形结构。

4.根据权利要求1所述的一种基于磁浮-气囊主被动并联隔振基座，其特征在于，所述支撑杆a、永磁铁、支撑杆b、电磁铁中心在同一垂线上。

5.根据权利要求1所述的一种基于磁浮-气囊主被动并联隔振基座，其特征在于，所述底座、支撑杆b中间垂直贯穿开设有线孔。

6.根据权利要求1所述的一种基于磁浮-气囊主被动并联隔振基座，其特征在于，所述控制器通过电缆与电磁铁、位置传感器、速度传感器连接。

技术总结
本技术提供一种基于磁浮‑气囊主被动并联隔振基座，包括顶板、隔振装置和底板，所述顶板底部四个角分别连接隔振装置，所述隔振装置底部分别与底板顶部四个角连接，所述隔振装置包括气囊，所述气囊顶部安装有支撑板，所述气囊底部安装有底座，所述支撑板底部中间连接支撑杆A，所述支撑杆A底部安装有永磁铁，所述底座顶部中间连接支撑杆B，所述支撑杆B顶部安装有电磁铁，所述顶板底部还安装有位置传感器和速度传感器，所述底板顶部安装有控制器。本技术将磁浮装置设置在气囊内部形成主被动并联的混合隔振结构，扩大了隔振带宽，减小了隔振装置的占地空间；隔振带宽，定位精确，稳定性高，对0.5Hz~200Hz的振动干扰具有较好的隔振效果。

技术研发人员：尹波,李斌,于炀
受保护的技术使用者：大连地拓电子工程技术有限公司
技术研发日：20221227
技术公布日：2024/1/12