防尘密封结构的制作方法

本公开涉及一种防尘密封结构。

背景技术：

1、传统上，在其中由三轴正交坐标形成待测量的空间的三维测量机中，特别地，在高精度地测量具有旋转轴(例如辊或齿轮)的待测量的对象的情况下，旋转台用作第四轴。申请公开号为61-91624的日本未审查的实用新型(登记)公开了一种几乎不受异物(例如灰尘或锈)影响的径向静压空气静压轴承。

技术实现思路

1、本发明要解决的问题

2、包括空气轴承的旋转台在确保高旋转精度方面是有利的。然而，灰尘或异物从外部进入空气轴承的轴承间隙会降低旋转台的旋转性能，并且在某些情况下损坏轴承引导表面。

3、因此，本公开是鉴于这些观点而做出的，并且其目的是设置一种防尘密封结构，该防尘密封结构防止灰尘或异物容易地进入空气轴承的轴承间隙，并在长时间内保持旋转台的旋转性能。

4、解决问题的手段

5、本公开的防尘密封结构包括：转子组件，该转子组件具有圆盘形推力板和设置在该推力板的下表面上的柱状转子；定子组件，该定子组件可旋转地支撑转子组件，其中，当压缩空气供应在推力板的下表面和定子组件的上表面之间时，定子组件在推力板的下表面和定子组件的上表面之间形成水平的推力空气静压轴承，其中，推力板和定子组件在从推力空气静压轴承径向向外的位置处形成压缩空气流过的密封部，并且密封部包括倾斜流道，该倾斜流道的高度沿径向方向从推力板的外周表面向内侧增加。

6、推力板和定子组件可在推力空气静压轴承和密封部之间的位置处形成与密封部连通的空腔，并且空腔的下表面可低于形成推力空气静压轴承的定子组件的上表面。

7、推力板的外周表面可从倾斜流道径向向外定位。

8、推力板和定子组件可设置成使从推力空气静压轴承排放的压缩空气流入密封部。

9、定子组件可包括：形成容纳转子的凹陷部的定子；以及设置在定子外部的套筒，其中，密封部可形成在套筒的上表面和推力板的下表面之间。

10、套筒的上表面的最高部分可位于推力空气静压轴承的上方。

11、在密封部的竖直剖面上，密封部可具有包括至少一个山脊状流道部分的弯曲流道，并且倾斜流道可形成在弯曲流道的一部分中。

12、多个凸部可形成在套筒的上表面上，具有与凸部互补的剖面形状的多个凹部可形成在推力板的下表面上，并且多个凸部和多个凹部可形成多个山脊状流道部分。

13、防水涂层可形成在推力板面向密封部的区域的至少一部分上，或定子组件面向密封部的区域的至少一部分上。

14、本发明的效果

15、根据本公开，防尘密封结构可防止灰尘或异物容易地进入空气轴承的轴承间隙，并在长时间内保持旋转台的旋转性能。

技术特征：

1.一种防尘密封结构，包括：

2.根据权利要求1所述的防尘密封结构，其中，

3.根据权利要求1或2所述的防尘密封结构，其中，

4.根据权利要求1或2所述的防尘密封结构，其中，

5.根据权利要求1或2所述的防尘密封结构，其中，

6.根据权利要求1或2所述的防尘密封结构，其中，

7.根据权利要求5所述的防尘密封结构，其中，

8.根据权利要求7所述的防尘密封结构，其中，

9.根据权利要求1或2所述的防尘密封结构，其中，

技术总结
防尘密封结构包括转子组件10和可旋转地支撑转子组件10的定子组件20。当压缩空气被供应到推力板11的下表面11b和定子组件20的上表面之间时，定子组件20在推力板11的下表面11b和定子组件20的上表面之间形成水平推力空气静压轴承S1。推力板11和定子组件20形成密封部15，压缩空气流过该密封部15。密封部15包括倾斜流道16，该倾斜流道16的高度沿径向方向从推力板11的外周表面向内侧增加。

技术研发人员：境久嘉,宇贺神努
受保护的技术使用者：株式会社三丰
技术研发日：
技术公布日：2024/2/25