一种用于半导体生产线上的低振动真空阀门的制作方法

本发明涉及真空矩形阀门，具体为一种用于半导体生产线上的低振动真空阀门。

背景技术：

1、现有技术中在半导体生产线上具有传输腔、反应腔或efem，各个腔室上设有真空阀门是至关重用的，真空阀门密封性、稳定性、低振动性及易维修性对整个制程的效率及良品率具有很大的影响。

2、目前的各类真空阀门一般采用气缸驱动，并通过设计对应气路完成阀门的升降动作，此类真空阀门装配复杂、气路故障率高，在气路失效后真空阀门作废，影响产品的品质；现有方式在关闭/打开真空阀门时密封面会有一定的摩擦，容易产生微小颗粒，污染生产线上腔室的内部环境。

技术实现思路

1、为解决上述技术问题，本发明提供了一种用于半导体生产线上的低振动真空阀门，解决了目前的各类阀门一般采用自行设计的气缸驱动与关闭打开时密封面会有一定的摩擦，很容易产生微小颗粒，污染腔室环境的问题。

2、本发明采用的具体技术方案如下：

3、一种用于半导体生产线上的低振动真空阀门，包括外框架，其特征在于：所述外框架上端设置有真空腔体，所述真空腔体下端连接有腔体连接板，所述真空腔体内部设置有阀门板，所述阀门板下端连接有波纹管一体轴，所述波纹管一体轴下端穿过腔体连接板，所述腔体连接板下表面两侧设置有气动固定座，所述气动固定座下端连接有气动组件，所述气动组件下端连接有连接座，所述连接座上端设置有连杆支撑板，所述连杆支撑板与连接座内部固定连接有下滑块，所述腔体连接板下表面且位于气动固定座之间设置有限位块，所述限位块下端设置有花键轴，所述花键轴穿过下滑块连接至外框架，所述花键轴外表面包裹有弹簧，所述花键轴外表面一周且位于弹簧上端设置有上滑块，所述上滑块内侧设置有连接块，所述连接块与波纹管一体轴连接处设置有支点轴，所述连杆支撑板上表面前端设置有四个转动底座，所述转动底座之间设置有摆动杆，所述摆动杆与转动底座连接处设置有转动轴，所述摆动杆一端与波纹管一体轴连接，所述摆动杆与波纹管一体轴通过摆动轴连接。

4、优选的，所述花键轴前端设置有限位框，所述限位框后端与花键轴插入配合且位于上滑块与弹簧之间，所述连杆支撑板上表面且位于花键轴前端设置有限位导向板，所述限位导向板与限位框插入配合。

5、优选的，所述波纹管一体轴上端波纹管与腔体连接板连接处设置有密封圈，所述阀门板外表面包裹有密封垫。

6、优选的，所述外框架内部呈阵列开设有安装孔。

7、优选的，所述限位导向板上端内部设置有接触传感模块，所述腔体连接板前表面设置有显示灯，所述显示灯与接触传感器模块电性连接。

8、优选的，所述转动轴、摆动轴与支点轴外表面设置有锌镀层。

9、本发明提供了一种用于半导体生产线上的低振动真空阀门，具备以下有益效果：

10、（1）该用于半导体的真空低振动阀门选用标准气动组件，经济性较好，通过设计连杆机构与杠杆机理的运用，实现了阀门的稳定关闭与打开。

11、（2）该用于半导体的真空低振动阀门，通过设计波纹管一体轴，避免摩擦产生污染颗粒落入生产线上的腔室内部，降低生产线上污染颗粒的产生。

技术特征：

1.一种用于半导体生产线上的低振动真空阀门，包括外框架（13），其特征在于：所述外框架（13）上端设置有真空腔体（2），所述真空腔体（2）下端连接有腔体连接板（3），所述真空腔体（2）内部设置有阀门板（23），所述阀门板（23）下端连接有波纹管一体轴（21），所述波纹管一体轴（21）下端穿过腔体连接板（3），所述腔体连接板（3）下表面两侧设置有气动固定座（8），所述气动固定座（8）下端连接有气动组件（1），所述气动组件（1）下端连接有连接座（19），所述连接座（19）上端设置有连杆支撑板（17），所述连杆支撑板（17）与连接座（19）内部固定连接有下滑块（5），所述腔体连接板（3）下表面且位于气动固定座（8）之间设置有限位块（22），所述限位块（22）下端设置有花键轴（4），所述花键轴（4）穿过下滑块（5）连接至外框架（13），所述花键轴（4）外表面包裹有弹簧（12），所述花键轴（4）外表面一周且位于弹簧（12）上端设置有上滑块（6），所述上滑块（6）内侧设置有连接块（7），所述连接块（7）与波纹管一体轴（21）连接处设置有支点轴（16），所述连杆支撑板（17）上表面前端设置有四个转动底座（20），所述转动底座（20）之间设置有摆动杆（9），所述摆动杆（9）与转动底座（20）连接处设置有转动轴（14），所述摆动杆（9）一端与波纹管一体轴（21）连接，所述摆动杆（9）与波纹管一体轴（21）通过摆动轴（15）连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体生产线上的低振动真空阀门，其特征在于：所述花键轴（4）前端设置有限位框（10），所述限位框（10）后端与花键轴（4）插入配合且位于上滑块（6）与弹簧（12）之间，所述连杆支撑板（17）上表面且位于花键轴（4）前端设置有限位导向板（11），所述限位导向板（11）与限位框（10）插入配合。

3.根据权利要求1所述的一种用于半导体生产线上的低振动真空阀门，其特征在于：所述波纹管一体轴（21）上端波纹管与腔体连接板（3）连接处设置有密封圈，所述阀门板（23）外表面包裹有密封垫。

4.根据权利要求1所述的一种用于半导体生产线上的低振动真空阀门，其特征在于：所述外框架（13）内部呈阵列开设有安装孔（30）。

5.根据权利要求2所述的一种用于半导体生产线上的低振动真空阀门，其特征在于：所述限位导向板（11）上端内部设置有接触传感器模块，所述腔体连接板（3）前表面设置有显示灯（31），所述显示灯（31）与接触传感器模块电性连接。

6.根据权利要求1所述的一种用于半导体生产线上的低振动真空阀门，其特征在于：所述转动轴（14）、摆动轴（15）与支点轴（16）外表面设置有锌镀层。

技术总结
本发明公开了一种用于半导体生产线上的低振动真空阀门，涉及真空矩形阀门技术领域。该用于半导体的真空低振动阀门，包括外框架，所述外框架上端设置有真空腔体，所述真空腔体下端连接有腔体连接板，所述真空腔体内部设置有阀门板，所述阀门板下端连接有波纹管一体轴，所述腔体连接板下表面两侧设置有气动固定座，所述气动固定座下端连接有气动组件，所述气动组件下端连接有连接座，所述连接座上端设置有连杆支撑板，所述连杆支撑板与连接座内部固定连接有下滑块，所述限位块下端设置有花键轴，所述花键轴外表面包裹有弹簧，所述花键轴外表面一周设置有上滑块，所述连杆支撑板上表面前端设置有四个转动底座，所述摆动杆与转动底座连接处设置有转动轴。

技术研发人员：李加平,姜小蛟,李茂程
受保护的技术使用者：沈阳富创精密设备股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15