用于硅片镀膜装置的减速机油封机构的制作方法

本技术涉及硅片镀膜，尤其涉及一种用于硅片镀膜装置的减速机油封机构。

背景技术：

1、参见公开号为cn113983147a的现有技术所公开的一种自适应减速机轴和螺母不同心的调节装置。该现有技术中的减速机的输出轴通过螺母连接镀膜工艺炉，为便于将减速机的输出轴和螺母调节至同轴状态，采用自适应减速机轴和螺母不同心的调节装置方便快捷实现将减速机的输出轴和螺母调节至同轴状态。该现有技术的结构为：内转向套套设于输出轴上，内转向套间隙设置且转动连接外转向套内，外转向套转动连接于安装固定板，安装固定板固定连接镀膜工艺炉，以使安装固定板可绕减速机的输出端的轴线偏转，便捷调节减速机的输出轴和螺母同轴。

2、为减小外转向套和内转向套的转动连接部位以及外转向套和安装固定板之间的转动连接部位的摩擦力，在外转向套和内转向套上设置用于注入润滑油的油道，以便于转动安装固定板。然而，该润滑油易由内转向套流至减速机的输出轴并进入减速机内，进而导致减速机受损失效。

技术实现思路

1、(一)要解决的技术问题

2、鉴于现有技术的上述缺点、不足，本实用新型提供一种用于硅片镀膜装置的减速机油封机构，其解决了现有技术中的自适应减速机轴和螺母不同心的调节装置，易导致润滑油流至减速机的输出轴并进入减速机内，进而导致减速机受损失效的技术问题。

3、(二)技术方案

4、为了达到上述目的，本实用新型采用的主要技术方案包括：

5、本实用新型实施例提供一种用于硅片镀膜装置的减速机油封机构，包括：

6、油液密封组件，所述油液密封组件能够套设于减速机的输出轴的外周；

7、减速机连接板，所述减速机连接板能够套设于所述输出轴的外周，所述减速机连接板可拆卸连接于所述油液密封组件的第一端；

8、端盖，所述端盖能够套设于所述输出轴的外周，且所述端盖可拆卸连接于所述油液密封组件的第二端；

9、所述油液密封组件、所述减速机连接板、所述端盖和所述输出轴之间能够形成油液收集腔；

10、油液收集器，所述油液收集器可拆卸连接于所述油液密封组件，且所述油液收集器连通所述油液收集腔，所述油液收集器能够吸取所述油液收集腔内的润滑油。

11、根据本实用新型，所述油液密封组件包括：

12、内环，所述内环能够套设于所述输出轴的外周，所述内环的内周向侧壁上设置刮板，所述内环的周向侧壁设置内环油孔；

13、外环，所述外环套设并可拆卸连接于所述内环的外周，所述外环的周向侧壁设置外环油孔，所述外环油孔和所述内环油孔连通；

14、所述内环、所述减速机连接板、所述端盖和所述输出轴之间能够形成所述油液收集腔。

15、根据本实用新型，所述内环的内周向侧壁沿周向间隔设置多个所述刮板，所述刮板的延伸方向倾斜于所述内环的轴向。

16、根据本实用新型，所述内环的外周向侧壁设置凹槽，所述凹槽沿所述内环的轴向延伸设置；

17、所述外环的内周向侧壁设置凸起，所述凸起沿所述外环的轴向延伸设置；

18、所述凸起能够卡接于所述凹槽内。

19、根据本实用新型，所述外环的外周向侧壁沿所述外环的径向向外延伸形成筒状的连接台，所述连接台和所述油液收集器螺纹连接，且所述连接台的空腔连通所述油液收集器和所述外环油孔。

20、根据本实用新型，所述外环的第一端和所述减速机连接板可拆卸连接；

21、所述外环的第二端和所述端盖可拆卸连接。

22、根据本实用新型，还包括轴承，所述轴承位于所述输出轴和所述外环之间。

23、根据本实用新型，所述油液收集器的内部设置油液吸取腔，所述油液吸取腔连通所述连接台的空腔，所述油液吸取腔为负压环境。

24、根据本实用新型，所述油液收集器包括离心泵，所述离心泵通过管道连通所述油液吸取腔。

25、(三)有益效果

26、本实用新型的有益效果是：本实用新型提供的用于硅片镀膜装置的减速机油封机构，通过设置油液密封组件、减速机连接板和端盖，油液密封组件、减速机连接板和端盖均套设于减速机的输出轴的外周，且减速机连接板可拆卸连接于油液密封组件的第一端，减速机连接板可拆卸连接于减速机的外壳，端盖可拆卸连接于油液密封组件的第二端，以在油液密封组件、减速机连接板、端盖和输出轴之间形成油液收集腔，油液收集腔用于收集减速机的输出轴上的润滑油，以避免输出轴上的润滑油进入减速机导致减速机受损失效。同时，本用于硅片镀膜装置的减速机油封机构还包括油液收集器，油液收集器可拆卸连接于油液密封组件，且油液收集器连通油液收集腔，油液收集器能够吸取油液收集腔内的润滑油，以排出油液收集腔内的润滑油。

27、同时，本用于硅片镀膜装置的减速机油封机构中的油液密封组件、减速机连接板、端盖、输出轴和减速机的外壳之间均可采用拆卸连接，以便于装卸和维护。

技术特征：

1.一种用于硅片镀膜装置的减速机油封机构，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的用于硅片镀膜装置的减速机油封机构，其特征在于，所述油液密封组件(1)包括：

3.如权利要求2所述的用于硅片镀膜装置的减速机油封机构，其特征在于，所述内环(11)的内周向侧壁沿周向间隔设置多个所述刮板(111)，所述刮板(111)的延伸方向倾斜于所述内环(11)的轴向。

4.如权利要求2所述的用于硅片镀膜装置的减速机油封机构，其特征在于，所述内环(11)的外周向侧壁设置凹槽(113)，所述凹槽(113)沿所述内环(11)的轴向延伸设置；

5.如权利要求2所述的用于硅片镀膜装置的减速机油封机构，其特征在于，所述外环(12)的外周向侧壁沿所述外环(12)的径向向外延伸形成筒状的连接台(123)，所述连接台(123)和所述油液收集器(2)螺纹连接，且所述连接台(123)的空腔连通所述油液收集器(2)和所述外环油孔(121)。

6.如权利要求2所述的用于硅片镀膜装置的减速机油封机构，其特征在于，所述外环(12)的第一端和所述减速机连接板(3)可拆卸连接；

7.如权利要求2所述的用于硅片镀膜装置的减速机油封机构，其特征在于，还包括轴承(5)，所述轴承(5)位于所述输出轴(6)和所述外环(12)之间。

8.如权利要求5所述的用于硅片镀膜装置的减速机油封机构，其特征在于，所述油液收集器(2)的内部设置油液吸取腔，所述油液吸取腔连通所述连接台(123)的空腔，所述油液吸取腔为负压环境。

9.如权利要求8所述的用于硅片镀膜装置的减速机油封机构，其特征在于，所述油液收集器(2)包括离心泵，所述离心泵通过管道连通所述油液吸取腔。

技术总结
本技术涉及一种用于硅片镀膜装置的减速机油封机构，包括：油液密封组件，油液密封组件套设于减速机的输出轴的外周；减速机连接板，减速机连接板套设于输出轴的外周，减速机连接板可拆卸连接于油液密封组件的第一端；端盖，端盖套设于输出轴的外周，且端盖可拆卸连接于油液密封组件的第二端；油液密封组件、减速机连接板、端盖和输出轴之间形成油液收集腔；油液收集器，油液收集器可拆卸连接于油液密封组件油液收集器连通油液收集腔，油液收集器能够吸取油液收集腔内的润滑油。其有益效果是，油液收集腔用于收集减速机的输出轴上的润滑油，以避免输出轴上的润滑油进入减速机导致减速机受损失效。

技术研发人员：李阳,杨永远
受保护的技术使用者：连城凯克斯科技有限公司
技术研发日：20230104
技术公布日：2024/1/13