气动刹车装置及运动平台的制作方法

本技术涉及精密设备，具体而言，涉及一种气动刹车装置及运动平台。

背景技术：

1、在半导体精密设备中，包括滑动配合的移动台和固定台，移动台能够相对固定台移动，当精密设备停止时，移动台与固定台之间未设置固定结构，当移动台受到外力时，容易发生抖动和偏移，导致移动台与固定台的相对位置发生变化，由于移动台和固定台是应用于精密设备的，两者之间的位置关系精度要求高，稍有偏移，对后续使用影响很大。

技术实现思路

1、本实用新型的主要目的在于提供一种气动刹车装置及运动平台，能够解决现有移动台和固定台在精密设备停止时无法相对固定的问题。

2、为了实现上述目的，根据本实用新型的一方面，提供了一种气动刹车装置，包括：基座，被构造为能够与移动台连接；弹性件；以及气动结构，具有浮起状态和刹车状态，气动结构包括气垫，气垫的第一面被构造为能够对准固定台，弹性件设置在气垫的第二面与基座之间，气垫上开设有相互连通的正压接口和正压出气孔，正压出气孔沿气垫的第一面向内开设，正压接口被构造为能够连通正压气源；在浮起状态下，正压气源打开，正压气源的气体沿正压接口进入并从正压出气孔输出，在气垫的第一面与固定台之间形成气膜，以使气垫与固定台之间形成气隙，移动台能够相对固定台运动；在刹车状态下，正压气源关闭，弹性件在自身弹力作用下将气垫的第一面抵紧固定台。

3、进一步地，气垫上还开设有均压槽，均压槽沿气垫的第一面向内开设，正压出气孔与均压槽连通，均压槽通过正压出气孔与正压接口连通。

4、进一步地，正压出气孔和均压槽所在区域为正压区，正压出气孔和均压槽均设置为至少两个，正压出气孔与均压槽一一对应，正压出气孔和均压槽沿正压区周向均匀布置。

5、进一步地，气垫上还开设有负压槽、负压抽气孔和负压接口，负压槽沿气垫的第一面向内开设，负压抽气孔沿负压槽的槽底向内开设，负压槽形成负压区，负压区凹于正压区，负压接口与负压抽气孔连通，负压接口能够连通负压气源。

6、进一步地，气垫上还开设有隔离槽和回气孔，隔离槽沿气垫的第一面向内开设，隔离槽形成隔离区，隔离区位于正压区与负压区之间，回气孔沿隔离槽的槽底向内开设。

7、进一步地，气动结构还包括负压传感器和负压流量传感器，负压传感器和负压流量传感器均设置在负压接口与负压气源的连通路径上。

8、进一步地，气动结构还包括正压传感器和正压流量传感器，正压传感器和正压流量传感器均设置在正压接口与正压气源的连通路径上。

9、进一步地，气动结构还包括正压阀门、负压阀门和控制器，正压阀门设置在正压接口与正压气源的连通路径上，负压阀门设置在负压接口与负压气源的连通路径上，正压传感器、正压流量传感器、正压阀门、负压传感器、负压流量传感器和负压阀门均与控制器通信连接。

10、进一步地，气动结构还包括正压阀门，正压阀门设置在正压接口与正压气源的连通路径上；和/或，

11、气动结构还包括负压阀门，负压阀门设置在负压接口与负压气源的连通路径上。

12、进一步地，基座上开设有相互连通的容纳孔和调节孔，弹性件位于容纳孔内，气动刹车装置还包括调节杆，调节杆的第一端穿过调节孔抵住弹性件。

13、进一步地，气动刹车装置还包括解耦件，解耦件设置在气垫与基座之间，气垫和基座均与解耦件连接。

14、进一步地，解耦件包括第一解耦片和第二解耦片，第一解耦片与气垫连接，第一解耦片上开设有至少两个形变孔，形变孔之间形成第一解耦区，第一解耦片和基座均与第二解耦片连接，第二解耦片与第一解耦片的连接处形成第二解耦区。

15、进一步地，气动刹车装置还包括安装块和连接杆，安装块的第一面朝向解耦件，安装块的第二面抵住弹性件，连接杆依次穿过安装块和解耦件后与气垫连接，形变孔与第一解耦区围成浮动区，安装块的第二面全部位于浮动区内。

16、为了实现上述目的，根据本实用新型的一方面，还提供了一种运动平台，包括：固定台；移动台，与固定台滑动配合；以及上述的气动刹车装置，基座与移动台连接，气垫的第一面朝向固定台，在刹车状态下，气垫的第一面抵紧固定台，移动台能够相对固定台固定，气动结构在浮起状态下，气垫与固定台之间形成气隙，移动台能够相对固定台移动。

17、应用本实用新型的技术方案，在移动台和固定台之间增加气动刹车装置，当精密设备停止时，气动结构处于刹车状态，气垫的第一面抵紧固定台，实现移动台与固定台相对固定，当移动台受到外力时，由于气动刹车装置的作用，移动台无法发生抖动和偏移，使得移动台与固定台之间的位置关系不会发生变化，进而避免因此对精密设备使用的影响；当精密设备运行时，气体从正压气源进入正压接口，并从正压出气孔输出至固定台上，产生反作用力作用于弹性件，弹性件被压缩，使得气垫与固定台之间产生气隙，此时，移动台与固定台的固定关系解除，移动台能够相对固定台移动，保证精密设备的正常使用。

技术特征：

1.一种气动刹车装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的气动刹车装置，其特征在于，所述气垫(131)上还开设有均压槽(1312)，所述均压槽(1312)沿所述气垫(131)的第一面向内开设，所述正压出气孔(1311)与所述均压槽(1312)连通，所述均压槽(1312)通过所述正压出气孔(1311)与所述正压接口连通。

3.根据权利要求2所述的气动刹车装置，其特征在于，所述正压出气孔(1311)和所述均压槽(1312)所在区域为正压区，所述正压出气孔(1311)和所述均压槽(1312)均设置为至少两个，所述正压出气孔(1311)与所述均压槽(1312)一一对应，所述正压出气孔(1311)和所述均压槽(1312)沿所述正压区周向均匀布置。

4.根据权利要求3所述的气动刹车装置，其特征在于，所述气垫(131)上还开设有负压槽(1313)、负压抽气孔(1314)和负压接口，所述负压槽(1313)沿所述气垫(131)的第一面向内开设，所述负压抽气孔(1314)沿所述负压槽(1313)的槽底向内开设，所述负压槽(1313)形成负压区，所述负压区凹于所述正压区，所述负压接口与所述负压抽气孔(1314)连通，所述负压接口能够连通负压气源(30)。

5.根据权利要求4所述的气动刹车装置，其特征在于，所述气垫(131)上还开设有隔离槽(1315)和回气孔(1316)，所述隔离槽(1315)沿所述气垫(131)的第一面向内开设，所述隔离槽(1315)形成隔离区，所述隔离区位于所述正压区与所述负压区之间，所述回气孔(1316)沿所述隔离槽(1315)的槽底向内开设。

6.根据权利要求4或5所述的气动刹车装置，其特征在于，所述气动结构(13)还包括负压传感器(1317)和负压流量传感器(1318)，所述负压传感器(1317)和所述负压流量传感器(1318)均设置在所述负压接口与所述负压气源(30)的连通路径上。

7.根据权利要求1至5中任一项所述的气动刹车装置，其特征在于，所述基座(11)上开设有相互连通的容纳孔和调节孔(111)，所述弹性件(12)位于所述容纳孔内，所述气动刹车装置(10)还包括调节杆(14)，所述调节杆(14)的第一端穿过所述调节孔(111)抵住所述弹性件(12)。

8.根据权利要求1至5中任一项所述的气动刹车装置，其特征在于，所述气动刹车装置(10)还包括解耦件(15)，所述解耦件(15)设置在所述气垫(131)与所述基座(11)之间，所述气垫(131)和所述基座(11)均与所述解耦件(15)连接。

9.根据权利要求8所述的气动刹车装置，其特征在于，所述解耦件(15)包括第一解耦片(151)和第二解耦片(152)，所述第一解耦片(151)与所述气垫(131)连接，所述第一解耦片(151)上开设有至少两个形变孔(1511)，所述形变孔(1511)之间形成第一解耦区，所述第一解耦片(151)和所述基座(11)均与所述第二解耦片(152)连接，所述第二解耦片(152)与所述第一解耦片(151)的连接处形成第二解耦区。

10.根据权利要求9所述的气动刹车装置，其特征在于，所述气动刹车装置(10)还包括安装块(16)和连接杆(161)，所述安装块(16)的第一面朝向所述解耦件(15)，所述安装块(16)的第二面抵住所述弹性件(12)，所述连接杆(161)依次穿过所述安装块(16)和所述解耦件(15)后与所述气垫(131)连接，所述形变孔(1511)与所述第一解耦区围成浮动区，所述安装块(16)的第二面全部位于所述浮动区内。

11.一种运动平台，其特征在于，包括：

技术总结
本技术提供了一种气动刹车装置及运动平台。该气动刹车装置包括：基座，被构造为能够与移动台连接；弹性件；以及气动结构，具有浮起状态和刹车状态，气动结构包括气垫，气垫的第一面被构造为能够对准固定台，弹性件设置在气垫的第二面与基座之间，气垫上开设有相互连通的正压接口和正压出气孔，正压出气孔沿气垫的第一面向内开设，正压接口被构造为能够连通正压气源；在刹车状态下，正压气源关闭，弹性件在自身弹力作用下将气垫的第一面抵紧固定台。本技术的技术方案的气动刹车装置能够解决现有移动台和固定台在精密设备停止时无法相对固定的问题。

技术研发人员：梁冰,袁嘉欣,唐艳文,谢怡仁
受保护的技术使用者：上海隐冠半导体技术有限公司
技术研发日：20230616
技术公布日：2024/1/15