一种高精度气浮平台的制作方法

本技术涉及气浮平台，具体为一种高精度气浮平台。

背景技术：

1、高精度、高分辨率的气浮平台系统在现代工业生产和科学研究中发挥着极其重要的作用，它直接影响精密和超精密切割、精密测量和超大规模集成电路生产的水平，其技术指标是各国高科技发展水平的重要标志，气浮平台系统的定位精度和行程范围直接影响生产加工的精度和加工能力，同时，工作台的速度、加速度和启停过程的稳定时间影响着设备的效率，成为系统的重要指标。

2、目前产品多采用接触式滚轮传输或皮带传输，这些接触传输的方式很容易造成对产品的划伤与污染，并且易造成原料的破碎，而现有导轨传动导向的大理石直线电机平台的xy叠加组合后上下跳动高难以保证较高的行走平面度，行走平面度较差会影响高倍显微镜的成像效果和检查良品率不达标，现有导轨传动的核心部件高精度直线导轨国内技术仍在发展中。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种高精度气浮平台，以解决上述背景技术中提出的xy叠加组合后上下跳动高难以保证较高的行走平面度影响高倍显微镜的成像效果和检查良品率不达标的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高精度气浮平台，包括大理石气浮基座、第一气浮固定块和第二大理石气浮导轨，所述大理石气浮基座的上表面固定有2个第一大理石气浮导轨，且第一大理石气浮导轨的表面固定连接有第一直线电机定子，所述第一直线电机定子的表面设置有空腔，且第一直线电机定子空腔的内壁嵌入式安装有第一直线电机动子，所述第一直线电机动子的上端固定连接有第一气浮固定块，且第一气浮固定块的两端下表面均固定有第一气浮板，2个所述第一气浮固定块之间固定连接有第二大理石气浮导轨，且第二大理石气浮导轨的上表面固定有第二直线电机定子，并且第二直线电机定子的表面设置有第二直线电机动子，所述第二大理石气浮导轨的表面设置有位置反馈光栅尺，所述第二大理石气浮导轨的表面安装有第二气浮固定块，且第二气浮固定块的下端固定连接有第二气浮板。

3、优选的，所述第一直线电机定子与第一直线电机动子构成滑动连接，所述第一气浮固定块与第一大理石气浮导轨构成滑动连接。

4、采用上述技术方案，通过第一直线电机定子控制空腔中的第一直线电机动子进行运动，使得第一直线电机动子带动表面的第一气浮固定块进行滑动，使得第一气浮固定块相对第一大理石气浮导轨进行滑动。

5、优选的，2个所述第一气浮板相向的表面设置有凸起，所述大理石气浮基座的上表面固定安装有缓冲器撞块。

6、采用上述技术方案，通过第一气浮板表面的凸起对第二大理石气浮导轨进行支撑固定，并且通过缓冲器撞块对油液缓冲器进行限位。

7、优选的，所述第一气浮固定块的表面固定安装有拖链连接板，所述大理石气浮基座的上表面固定有无尘防静电拖链，所述第一气浮固定块的下表面设置有编码器。

8、采用上述技术方案，通过第一气浮固定块对拖链连接板进行连接固定，通过大理石气浮基座对无尘防静电拖链进行连接固定，并且通过第一气浮固定块对编码器进行固定。

9、优选的，所述缓冲器撞块为l型设计，所述第一气浮固定块的侧表面固定连接有缓冲器固定块，且缓冲器固定块的表面安装有油液缓冲器。

10、采用上述技术方案，通过缓冲器撞块的l型设计便于对油液缓冲器进行限位，并且通过缓冲器固定块对油液缓冲器进行安装固定。

11、优选的，所述缓冲器固定块表面设置有凹槽，2个所述油液缓冲器相对缓冲器固定块的中心线对称设置。

12、采用上述技术方案，通过缓冲器固定块带动两端的油液缓冲器滑动，使得油液缓冲器对本装置产生的冲击力进行缓冲消解。

13、优选的，所述第二大理石气浮导轨与大理石气浮基座构成滑动连接，且第二大理石气浮导轨与第二气浮固定块构成滑动连接。

14、采用上述技术方案，通过第二大理石气浮导轨的滑动改变第二气浮固定块的垂直位置，并且通过第二气浮固定块的滑动改变其的水平位置。

15、优选的，所述第二直线电机定子与第二直线电机动子构成滑动连接，所述第二气浮固定块的上表面设置有载物台。

16、采用上述技术方案，通过第二直线电机定子带动第二直线电机动子进行滑动，使得第二直线电机动子带动第二气浮固定块滑动，使得第二气浮固定块通过表面的载物台带动产品进行移动。

17、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该高精度气浮平台：

18、1.设置有第一大理石气浮导轨和第二大理石气浮导轨，气浮导轨使用大理石研磨至超高精度，具有优良的热胀冷缩性能和优质的直线度及平面度可以替换超高精度up精度等级及以上的直线导轨，并且大理石气浮导轨为导向作用具有超高的直线度和平面度，直线度保证平台在xy运动时的直线度和垂直度，平面度保证气浮块的气体消耗量小，在保证本装置运动精度的同时，便于本装置对成本进行控制降低消耗；

19、2.设置有第一气浮板和第二气浮板，气浮平台使用高性能直线电机及高性能闭环位置反馈系统可以组合成具有超高的重复位置精度，绝对位置精度，直线度，行走平行度的高精密运动平台，使得气浮板通过洁净的压缩空气从气浮板内部气孔吹向导轨使其浮起来，压缩空气作为润滑剂，无接触，无摩擦，大理石气浮基座，具有超高的平面度，保证平台具有较高的行走平面度；

20、3.设置有油液缓冲器和缓冲器撞块，使本装置在工作时，通过气浮板的运动带动上端的油液缓冲器同步滑动，在两端通过缓冲器撞块对气浮板进行限位，同时通过油液缓冲器挤压缓冲器撞块对本装置产生的冲击力进行缓冲吸收，减少震动对本装置造成的损伤。

技术特征：

1.一种高精度气浮平台，包括大理石气浮基座（1）、第一气浮固定块（5）和第二大理石气浮导轨（14），其特征在于：所述大理石气浮基座（1）的上表面固定有2个第一大理石气浮导轨（2），且第一大理石气浮导轨（2）的表面固定连接有第一直线电机定子（3），所述第一直线电机定子（3）的表面设置有空腔，且第一直线电机定子（3）空腔的内壁嵌入式安装有第一直线电机动子（4），所述第一直线电机动子（4）的上端固定连接有第一气浮固定块（5），且第一气浮固定块（5）的两端下表面均固定有第一气浮板（6），2个所述第一气浮固定块（5）之间固定连接有第二大理石气浮导轨（14），且第二大理石气浮导轨（14）的上表面固定有第二直线电机定子（15），并且第二直线电机定子（15）的表面设置有第二直线电机动子（16），所述第二大理石气浮导轨（14）的表面设置有位置反馈光栅尺（13），所述第二大理石气浮导轨（14）的表面安装有第二气浮固定块（18），且第二气浮固定块（18）的下端固定连接有第二气浮板（17）。

2.根据权利要求1所述的一种高精度气浮平台，其特征在于：所述第一直线电机定子（3）与第一直线电机动子（4）构成滑动连接，所述第一气浮固定块（5）与第一大理石气浮导轨（2）构成滑动连接。

3.根据权利要求1所述的一种高精度气浮平台，其特征在于：2个所述第一气浮板（6）相向的表面设置有凸起，所述大理石气浮基座（1）的上表面固定安装有缓冲器撞块（7）。

4.根据权利要求1所述的一种高精度气浮平台，其特征在于：所述第一气浮固定块（5）的表面固定安装有拖链连接板（10），所述大理石气浮基座（1）的上表面固定有无尘防静电拖链（11），所述第一气浮固定块（5）的下表面设置有编码器（12）。

5.根据权利要求3所述的一种高精度气浮平台，其特征在于：所述缓冲器撞块（7）为l型设计，所述第一气浮固定块（5）的侧表面固定连接有缓冲器固定块（8），且缓冲器固定块（8）的表面安装有油液缓冲器（9）。

6.根据权利要求5所述的一种高精度气浮平台，其特征在于：所述缓冲器固定块（8）表面设置有凹槽，2个所述油液缓冲器（9）相对缓冲器固定块（8）的中心线对称设置。

7.根据权利要求1所述的一种高精度气浮平台，其特征在于：所述第二大理石气浮导轨（14）与大理石气浮基座（1）构成滑动连接，且第二大理石气浮导轨（14）与第二气浮固定块（18）构成滑动连接。

8.根据权利要求1所述的一种高精度气浮平台，其特征在于：所述第二直线电机定子（15）与第二直线电机动子（16）构成滑动连接，所述第二气浮固定块（18）的上表面设置有载物台。

技术总结
本技术公开了一种高精度气浮平台，包括大理石气浮基座、第一气浮固定块和第二大理石气浮导轨，所述大理石气浮基座的上表面固定有2个第一大理石气浮导轨，且第一大理石气浮导轨的表面固定连接有第一直线电机定子,所述第一直线电机定子的表面设置有空腔。该高精度气浮平台，设置有第一大理石气浮导轨和第二大理石气浮导轨，气浮导轨使用大理石研磨至超高精度，具有优良的热胀冷缩性能和优质的直线度及平面度可以替换超高精度UP精度等级及以上的直线导轨，并且大理石气浮导轨为导向作用具有超高的直线度和平面度，直线度保证平台在XY运动时的直线度和垂直度，平面度保证气浮块的气体消耗量小，提高本装置的实用性。

技术研发人员：吴仁财
受保护的技术使用者：苏州玖钧智能装备有限公司
技术研发日：20230815
技术公布日：2024/3/11