一种便于开启阀门的半导体炉的制作方法

本技术属于半导体炉，具体地说是一种便于开启阀门的半导体炉。

背景技术：

1、随着全球信息科技产业的迅速发展，半导体产业愈发重要，在半导体制造时，半导体炉是重要的设备，现有的半导体炉的进料阀门开启，通常是通过螺纹杆转动将阀门打开，在螺纹杆转动一圈阀门挡板上身距离较短，使阀门打开较为缓慢。

2、综上，因此本实用新型提供了一种便于开启阀门的半导体炉，以解决上述问题。

技术实现思路

1、为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种便于开启阀门的半导体炉，以解决现有技术中阀门打开较为缓慢等问题。

2、一种便于开启阀门的半导体炉，包括半导体炉本体，所述半导体炉本体的上侧安装有连接件，所述连接件的一侧安装有输送管，所述输送管的侧面安装有阀门，所述阀门的下侧安装有安装件，所述阀门的内侧安装有弹性密封垫，所述弹性密封垫的内侧安装有限制块，所述限制块的一侧安装有挡板，所述挡板的一侧安装有挡块，所述挡板的下侧安装有伸缩杆，所述伸缩杆的侧面安装有弹簧一，所述挡板的一侧安装有连接环，所述连接环的侧面安装有柔性钢丝绳，所述柔性钢丝绳的一端连接有另一连接环，另一所述连接环安装在转动件的一侧，所述转动件转动安装在安装件的内部。

3、进一步的，所述转动件的一侧设置有限位件，所述限位件的一端安装有限位板，所述限位板的一侧安装有连杆，所述连杆的侧面安装有弹簧二，所述连杆的一侧安装有拉环。

4、进一步的，所述限位件的数量有四个，且两个为一组，关于转动件的转动轴相对设置。

5、进一步的，所述伸缩杆和弹簧一的数量有若干个，且均安装在挡板的下侧。

6、进一步的，所述所述挡板的一侧设置有密封层，所述密封层安装在阀门的一侧。

7、与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

8、本实用新型通过转动转动件，使得转动件拉动柔性钢丝绳，使得柔性钢丝绳带动挡板移动，使得在伸缩杆的限制下压缩弹簧一，使得阀门可以方便的开启。

技术特征：

1.一种便于开启阀门的半导体炉，包括半导体炉本体(1)，其特征在于：所述半导体炉本体(1)的上侧安装有连接件(2)，所述连接件(2)的一侧安装有输送管(3)，所述输送管(3)的侧面安装有阀门4(4)，所述阀门4(4)的下侧安装有安装件(5)，所述阀门4(4)的内侧安装有弹性密封垫(6)，所述弹性密封垫(6)的内侧安装有限制块(7)，所述限制块(7)的一侧安装有挡板(8)，所述挡板(8)的一侧安装有挡块(15)，所述挡板(8)的下侧安装有伸缩杆(9)，所述伸缩杆(9)的侧面安装有弹簧一(10)，所述挡板(8)的一侧安装有连接环(12)，所述连接环(12)的侧面安装有柔性钢丝绳(13)，所述柔性钢丝绳(13)的一端连接有另一连接环(12)，另一所述连接环(12)安装在转动件(11)的一侧，所述转动件(11)转动安装在安装件(5)的内部。

2.如权利要求1所述一种便于开启阀门的半导体炉，其特征在于：所述转动件(11)的一侧设置有限位件(16)，所述限位件(16)的一端安装有限位板(17)，所述限位板(17)的一侧安装有连杆(19)，所述连杆(19)的侧面安装有弹簧二(18)，所述连杆(19)的一侧安装有拉环(20)。

3.如权利要求2所述一种便于开启阀门的半导体炉，其特征在于：所述限位件(16)的数量有四个，且两个为一组，关于转动件(11)的转动轴相对设置。

4.如权利要求1所述一种便于开启阀门的半导体炉，其特征在于：所述伸缩杆(9)和弹簧一(10)的数量有若干个，且均安装在挡板(8)的下侧。

5.如权利要求1所述一种便于开启阀门的半导体炉，其特征在于：所述挡板(8)的一侧设置有密封层(14)，所述密封层(14)安装在阀门4(4)的一侧。

技术总结
本技术提供一种便于开启阀门的半导体炉，包括半导体炉本体，所述半导体炉本体的上侧安装有连接件，所述连接件的一侧安装有输送管，所述输送管的侧面安装有阀门，所述阀门的下侧安装有安装件，所述阀门的内侧安装有弹性密封垫，所述弹性密封垫的内侧安装有限制块，所述限制块的一侧安装有挡板，所述挡板的一侧安装有挡块，所述挡板的下侧安装有伸缩杆，所述伸缩杆的侧面安装有弹簧一，所述挡板的一侧安装有连接环，所述连接环的侧面安装有柔性钢丝绳，所述柔性钢丝绳的一端连接有另一连接环；本技术通过转动转动件，使得转动件拉动柔性钢丝绳，使得柔性钢丝绳带动挡板移动，使得在伸缩杆的限制下压缩弹簧一，使得阀门可以方便的开启。

技术研发人员：陈洪运,敬康,孙斐,何旭烽
受保护的技术使用者：三合液压（常州）有限公司
技术研发日：20230829
技术公布日：2024/3/21