一种便于开启阀门的半导体炉的制作方法

文档序号:37363845发布日期:2024-03-22 10:17阅读:11来源:国知局
一种便于开启阀门的半导体炉的制作方法

本技术属于半导体炉,具体地说是一种便于开启阀门的半导体炉。


背景技术:

1、随着全球信息科技产业的迅速发展,半导体产业愈发重要,在半导体制造时,半导体炉是重要的设备,现有的半导体炉的进料阀门开启,通常是通过螺纹杆转动将阀门打开,在螺纹杆转动一圈阀门挡板上身距离较短,使阀门打开较为缓慢。

2、综上,因此本实用新型提供了一种便于开启阀门的半导体炉,以解决上述问题。


技术实现思路

1、为了解决上述技术问题,本实用新型提供一种便于开启阀门的半导体炉,以解决现有技术中阀门打开较为缓慢等问题。

2、一种便于开启阀门的半导体炉,包括半导体炉本体,所述半导体炉本体的上侧安装有连接件,所述连接件的一侧安装有输送管,所述输送管的侧面安装有阀门,所述阀门的下侧安装有安装件,所述阀门的内侧安装有弹性密封垫,所述弹性密封垫的内侧安装有限制块,所述限制块的一侧安装有挡板,所述挡板的一侧安装有挡块,所述挡板的下侧安装有伸缩杆,所述伸缩杆的侧面安装有弹簧一,所述挡板的一侧安装有连接环,所述连接环的侧面安装有柔性钢丝绳,所述柔性钢丝绳的一端连接有另一连接环,另一所述连接环安装在转动件的一侧,所述转动件转动安装在安装件的内部。

3、进一步的,所述转动件的一侧设置有限位件,所述限位件的一端安装有限位板,所述限位板的一侧安装有连杆,所述连杆的侧面安装有弹簧二,所述连杆的一侧安装有拉环。

4、进一步的,所述限位件的数量有四个,且两个为一组,关于转动件的转动轴相对设置。

5、进一步的,所述伸缩杆和弹簧一的数量有若干个,且均安装在挡板的下侧。

6、进一步的,所述所述挡板的一侧设置有密封层,所述密封层安装在阀门的一侧。

7、与现有技术相比,本实用新型具有如下有益效果:

8、本实用新型通过转动转动件,使得转动件拉动柔性钢丝绳,使得柔性钢丝绳带动挡板移动,使得在伸缩杆的限制下压缩弹簧一,使得阀门可以方便的开启。



技术特征:

1.一种便于开启阀门的半导体炉,包括半导体炉本体(1),其特征在于:所述半导体炉本体(1)的上侧安装有连接件(2),所述连接件(2)的一侧安装有输送管(3),所述输送管(3)的侧面安装有阀门4(4),所述阀门4(4)的下侧安装有安装件(5),所述阀门4(4)的内侧安装有弹性密封垫(6),所述弹性密封垫(6)的内侧安装有限制块(7),所述限制块(7)的一侧安装有挡板(8),所述挡板(8)的一侧安装有挡块(15),所述挡板(8)的下侧安装有伸缩杆(9),所述伸缩杆(9)的侧面安装有弹簧一(10),所述挡板(8)的一侧安装有连接环(12),所述连接环(12)的侧面安装有柔性钢丝绳(13),所述柔性钢丝绳(13)的一端连接有另一连接环(12),另一所述连接环(12)安装在转动件(11)的一侧,所述转动件(11)转动安装在安装件(5)的内部。

2.如权利要求1所述一种便于开启阀门的半导体炉,其特征在于:所述转动件(11)的一侧设置有限位件(16),所述限位件(16)的一端安装有限位板(17),所述限位板(17)的一侧安装有连杆(19),所述连杆(19)的侧面安装有弹簧二(18),所述连杆(19)的一侧安装有拉环(20)。

3.如权利要求2所述一种便于开启阀门的半导体炉,其特征在于:所述限位件(16)的数量有四个,且两个为一组,关于转动件(11)的转动轴相对设置。

4.如权利要求1所述一种便于开启阀门的半导体炉,其特征在于:所述伸缩杆(9)和弹簧一(10)的数量有若干个,且均安装在挡板(8)的下侧。

5.如权利要求1所述一种便于开启阀门的半导体炉,其特征在于:所述挡板(8)的一侧设置有密封层(14),所述密封层(14)安装在阀门4(4)的一侧。


技术总结
本技术提供一种便于开启阀门的半导体炉,包括半导体炉本体,所述半导体炉本体的上侧安装有连接件,所述连接件的一侧安装有输送管,所述输送管的侧面安装有阀门,所述阀门的下侧安装有安装件,所述阀门的内侧安装有弹性密封垫,所述弹性密封垫的内侧安装有限制块,所述限制块的一侧安装有挡板,所述挡板的一侧安装有挡块,所述挡板的下侧安装有伸缩杆,所述伸缩杆的侧面安装有弹簧一,所述挡板的一侧安装有连接环,所述连接环的侧面安装有柔性钢丝绳,所述柔性钢丝绳的一端连接有另一连接环;本技术通过转动转动件,使得转动件拉动柔性钢丝绳,使得柔性钢丝绳带动挡板移动,使得在伸缩杆的限制下压缩弹簧一,使得阀门可以方便的开启。

技术研发人员:陈洪运,敬康,孙斐,何旭烽
受保护的技术使用者:三合液压(常州)有限公司
技术研发日:20230829
技术公布日:2024/3/21
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