一种可测振幅的精密机台减振座的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体光刻机技术领域，具体是一种可测振幅的精密机台减振座。
【背景技术】
[0002]精密机台是PCB光刻设备的重要组成部分，在工作过程中，其上部连接曝光装置，下部通过安装座与大地或者底框连接。PCB光刻设备对精度要求很高，环境周边的振动对其光刻精度有很大影响，严重时会造成光刻图形错位。由于环境振动源多样，振动传递过程复杂，如果能及时测量出精密机台受到振动的大小，将精密机台安装在较平稳的地方，可以大大提高PCB光刻设备的稳定性。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的在于提供一种可测振幅的精密机台减振座，能够减小环境振动对精密机台的影响同时测量振幅大小。
[0004]本实用新型的技术方案为:
[0005]—种可测振幅的精密机台减振座，包括上减振块、下减振块和若干滚柱，所述上减振块与精密机台固定连接，所述若干滚柱紧压设置在所述上减振块的下表面与所述下减振块的上表面之间，所述上减振块的下表面为外凸弧面，所述下减振块的上表面为与所述外凸弧面配合的内凹弧面，所述下减振块的一侧面设有振幅刻度条，所述上减振块的相应侧面设有用于指向所述振幅刻度条的指示条。
[0006]所述的可测振幅的精密机台减振座，所述下减振块设置所述振幅刻度条的侧面在所述振幅刻度条的两端上方各设有一个限位块，所述限位块与所述指示条配合，用于防止上减振块滑脱。
[0007]所述的可测振幅的精密机台减振座，所述下减振块的上表面边缘处设有挡条，用于防止滚柱滑脱。
[0008]由上述技术方案可知，当精密机台受到振动时，本实用新型的上减振块会带动精密机台相对于下减振块沿弧面滑动，吸收振动能量，减小振幅，并随着上减振块的移动测量振幅。本实用新型巧妙结合指针刻度和滚柱结构，不但可以减小振动对精密机台的影响，同时还可以测量振幅大小，为进一步消减振动提供数据支持。本实用新型结构简单，设计合理。
【附图说明】
[0009]图1是本实用新型的结构示意图；
[0010]图2是本实用新型的上减振块示意图；
[0011]图3是本实用新型的下减振块示意图；
[0012]图4是本实用新型与精密机台配合示意图。
【具体实施方式】
[0013]下面结合附图和具体实施例进一步说明本实用新型。
[0014]如图1?图4所示，一种可测振幅的精密机台减振座，包括上减振块1、下减振块2和若干滚柱3。上减振块1的下表面为外凸弧面，下减振块2的上表面为内凹弧面，外凸弧面与内凹弧面配合，可以使上减振块1与下减振块2构成的整体结构呈长方体状。上减振块1的上表面开设有若干螺栓安装孔，用于与精密机台0通过螺栓固定连接。若干滚柱3紧压设置在上减振块1的下表面与下减振块2的上表面之间。当精密机台0受到振动时，上减振块1带动精密机台0向两侧沿弧面滑动，吸收振动能量，减小振幅。
[0015]下减振块2的一侧面刻有振幅刻度条21，并在振幅刻度条21的两端上方各固定设有一个限位块22，上减振块1的相应侧面固定设有指示条11。在精密机台0振动过程中，可根据指示条11指向振幅刻度条21上的刻度位置来获知精密机台0的振幅，同时指示条11与限位块22配合，可防止上减振块1在振动过程中滑脱。下减振块2的上表面四周边缘处设有挡条23，挡条23与内凹弧面构成四周封闭的凹槽，可防止滚柱3在振动过程中滑脱。当滑动到最高点或指示条11碰触到限位块22时，精密机台0会沿弧面滑回原位。
[0016]以上所述实施方式仅仅是对本实用新型的优选实施方式进行描述，并非对本实用新型的范围进行限定，在不脱离本实用新型设计精神的前提下，本领域普通技术人员对本实用新型的技术方案作出的各种变形和改进，均应落入本实用新型的权利要求书确定的保护范围内。
【主权项】
1.一种可测振幅的精密机台减振座，其特征在于:包括上减振块、下减振块和若干滚柱，所述上减振块与精密机台固定连接，所述若干滚柱紧压设置在所述上减振块的下表面与所述下减振块的上表面之间，所述上减振块的下表面为外凸弧面，所述下减振块的上表面为与所述外凸弧面配合的内凹弧面，所述下减振块的一侧面设有振幅刻度条，所述上减振块的相应侧面设有用于指向所述振幅刻度条的指示条。2.根据权利要求1所述的可测振幅的精密机台减振座，其特征在于:所述下减振块设置所述振幅刻度条的侧面在所述振幅刻度条的两端上方各设有一个限位块，所述限位块与所述指示条配合，用于防止上减振块滑脱。3.根据权利要求1所述的可测振幅的精密机台减振座，其特征在于:所述下减振块的上表面边缘处设有挡条，用于防止滚柱滑脱。
【专利摘要】本实用新型提供一种可测振幅的精密机台减振座，包括上减振块、下减振块和若干滚柱，所述上减振块与精密机台固定连接，所述若干滚柱紧压设置在所述上减振块的下表面与所述下减振块的上表面之间，所述上减振块的下表面为外凸弧面，所述下减振块的上表面为与所述外凸弧面配合的内凹弧面，所述下减振块的一侧面设有振幅刻度条，所述上减振块的相应侧面设有用于指向所述振幅刻度条的指示条。本实用新型巧妙结合指针刻度和滚柱结构，不但可以减小振动对精密机台的影响，同时还可以测量振幅大小，为进一步消减振动提供数据支持。本实用新型结构简单，设计合理。
【IPC分类】F16M5/00, F16F15/02
【公开号】CN204962175
【申请号】CN201520707184
【发明人】曹常瑜
【申请人】合肥芯碁微电子装备有限公司
【公开日】2016年1月13日
【申请日】2015年9月14日