S卩，如图1?图3(A)、图3(B)所示，在形成于活塞部件76的下端部的大致圆筒形状的下方部80的上部，形成有直径比下方部80小的小径部102，由此形成了台阶部104。
[0123]而且，在活塞部件76的下方部80的外周，如将在后面说明那样，形成有由活塞部件76的下方部80的外周壁106、阀芯82的上端凸缘82a的上表面108、以及按压部件118的下表面118a包围的密封槽110。在该密封槽110的内部安装有环状的密封部件112。
[0124]如图2?图3(B)的局部放大图所示，密封部件112具备剖视时呈大致圆形形状的环状(O型圈形状的)且具有弹性的密封部件主体114。并且，具备嵌合于密封部件主体114的外周、且压接于导向部件24的内周24a的环状的外周侧密封部件116。
[0125]在该情况下，外周侧密封部件116由与密封部件主体114相比硬度高且滑动性良好的材料构成。
[0126]S卩，作为外周侧密封部件116的材质，若是滑动良好的材料、而且具有密封性、且作为压接于导向部件24的内周24a的支承部件发挥功能、并且即使压力变大也不会过度变形的材质即可。
[0127]作为这样的密封部件主体114的材质，没有特别限定，但例如能够使用HNBR(氢化丁腈橡胶)、CR(氯丁橡胶)、FKM(氟系橡胶)等橡胶、具有弹性的树脂等。
[0128]另一方面，作为外周侧密封部件116的材质，也没有特别限定，但例如能够使用为了提高耐磨损性、弹力而添加有碳纤维、石墨、青铜的填充物、另外为了提高滑动性而添加有钼等的、PTFE、PPS、PEEK，另外能够使用添加有PTFE、PFA的PPS、PEEK等。
[0129]在该情况下，作为制成密封部件112的方法，没有特别限定，但例如在外周侧密封部件116的内径侧的内周侧槽部116a，从内径侧嵌装密封部件主体114即可。
[0130]另外，如图1?图3(A)、图3(B)所示，为了将密封部件112安装于密封槽110，而具备固定于活塞部件76的外周的环状的按压部件118。
[0131]S卩，如图1?图3(A)、图3(B)所示，为了嵌合于活塞部件76的外周亦即活塞部件76的小径部102的台阶部104，例如如图2所示地通过压入而固定有按压部件118。
[0132]在该情况下，按压部件118构成为剖面呈大致L字形状，由按压部件主体120和引导部122构成，该引导部122的直径比该按压部件主体120的直径小，且在与活塞部件76的小径部102的台阶部104嵌合时作为导向件发挥功能。
[0133]此外，该按压部件118也能够剖面呈矩形形状，而不形成引导部122，但对此未图不O
[0134]这样，若为了将密封部件112安装于密封槽110，而具备固定于活塞部件76的外周的环状的按压部件118，则容易将密封部件112安装、组装于密封槽110。
[0135]并且，在该情况下，作为将按压部件118固定于活塞部件76的外周的方法，没有特别限定，除上述的压入以外也能够采用公知的固定方法。
[0136]例如，如图4所示，通过焊接部124对按压部件118的上端部(在该实施例的情况下是引导部122的上端部)与活塞部件76的外周(在该实施例的情况下是活塞部件76的小径部102的外周)之间进行固定即可。
[0137]在该情况下，焊接部124能够形成于活塞部件76的外周的整周，也能够局部地形成于活塞部件76的外周。
[0138]并且，例如，也能够如图5所示，通过在活塞部件76的小径部102的外周形成固定用槽126，向内径侧对按压部件118的引导部122进行铆接加工，使之嵌合于固定用槽126内而形成铆接部128来进行固定。
[0139]此外，在该实施例中，在活塞部件76的小径部102的外周形成固定用槽126，向内侧对按压部件118的引导部122进行铆接加工，但也能够如图6所示地在活塞部件76的小径部102的外周突出设置固定用凸部130，且通过在外径方向上形成铆接部132来固定按压部件118的引导部122。
[0140]通过像这样构成，由于按压部件118通过压入、焊接、或者铆接加工而固定于活塞部件76的外周，所以按压部件118与活塞部件76的外周之间的固定强度变大，没有因压力差、阀芯82的上下方向的反复移动而固定解除的担忧，从而能够可靠地进行密封，并且能够使阀芯82顺畅地上下移动(进行阀动作)。
[0141]此外，也能够代替按压部件118，在活塞部件76—体地形成按压部件118的部分，而形成密封槽110。
[0142]通过像这样构成，由于密封部件主体114具有弹性，所以通过利用压力差所产生的密封部件主体114的压接来对内径侧(活塞部件76的外周侧、即活塞部件76的下方部80的外周壁106)进行密封，来作为遮蔽(气密)维持部发挥功能。
[0143]并且，由于外周侧密封部件116由硬度高、且滑动性良好的材料构成，所以对外径滑动部侧(导向部件24的内周侧、即导向部件24的内周24a)进行密封，并且由于以简单的构造抑制滑动阻力的变化，并且容易滑动，所以作为遮蔽(气密)、滑动部发挥功能。
[0144]S卩，当对流体控制阀10作用有压力时，如图3(B)所示，因来自作为一次侧的第一配管部件16侧的压力、和成为与作为二次侧的第二配管部件18相等的压力的驱动空间S2的压力差，在箭头E所示的方向上相对于密封部件112施加力。由此，在图3(B)的由圆圈包围的部分Fl?F3的部分，确保密封性。
[0145]此外，在图3(B)中，省略了来自作为二次侧的第二配管部件18的压力的图示。
[0146]如图3(B)所示，在由圆圈包围的部分Fl中，利用密封部件主体114的内径侧114a，能够在活塞部件76的下方部80的外周壁106，对按压部件118的下表面118a侧与上端凸缘82a侧之间进行密封。
[0147]并且，如图3(B)所示，在由圆圈包围的部分F2中，利用密封部件主体114的外径侧114b，能够在外周侧密封部件116的内周侧槽部116a的内周面，对按压部件118a侧与上端凸缘82a的上表面108侧之间进行密封。
[0148]并且，利用外周侧密封部件116的上表面，能够在按压部件118的下表面118a，对活塞部件76的下方部80的外周壁侧与由按压部件118和导向部件24形成的间隙侧之间进行密封。
[0149]另外，如图3(B)所示，在由圆圈包围的部分F3中，利用外周侧密封部件116的后述的接触面116c，能够在导向部件24的内周24a，对驱动空间S2侧与阀室14侧之间进行密封。
[0150]由此，能够可靠地对密封部件114的内径侧114a(活塞部件76的外周侧)与外周侧密封部件116的外径滑动部侧(导向部件24的内周侧)进行密封，并且能够使阀芯82顺畅地上下移动(进行阀动作)。
[0151]因此，能够提供一种流体控制阀10，其结构简单、部件件数较少、组装也容易而能够减少成本，并且密封部的滑动阻力没有压力依存性，阀动作性良好，并且能够与阀前后的压力差无关地维持恒定的滑动阻力，从而能够减少阀动作所需要的推力(转矩)。
[0152]并且，在该情况下，如图3(B)所示，外周侧密封部件116的压接于导向部件24的内周24a的接触面116c形成为剖视时呈圆弧形状，从而压接于导向部件24的内周24a的接触面116c变小，而滑动阻力减少，从而能够更加减少阀动作所需要的推力(转矩)。
[0153]此外，在该实施例中，作为剖视时呈大致圆形形状的密封部件主体114，其剖面形状没有特别限定，虽未图示，但能够采用椭圆形状、矩形形状、多边形形状等。
[0154]像这样构成的本实用新型的流体控制阀(电动阀)10如下述那样动作。
[0155]并且，如图1?图2所示，第二配管部件18的内部空间SI与形成于导向部件24的内部的驱动空间S2经由形成于阀芯82的内部的连通路90、形成于活塞部件76的内部的连通路92、以及沿径向形成于活塞部件76的上端的小径部78的连通孔94而连通。
[0156]由此，第二配管部件18的内部空间SI与形成于导向部件24的内部的驱动空间S2之间的内压相等。
[0157]并且，由于密封部件112的外径(密封直径)与阀座20的阀口的直径被设定为相等，所以在对流体控制阀作用有压力时，作用于阀芯82的上下方向的负载相互抵消，从而能够以较少的推力使大口径的阀动作。
[0158]对于像这样构成的流体控制阀10而言，在图1的闭阀状态下，固定于活塞部件76的下端的阀芯82位于下方的位置，成为利用阀芯82关闭了阀座20的阀口 22的状态。此时，滑动环58成为与转子磁体46的限位件48抵接的状态，并且通过抵接于限位部60而下方位置受到限制。
[0159]通过从该状态开始对线圈66赋予脉冲信号，从而转子磁体46旋转，轴部件42、阀部件44和该转子磁体46—起一体旋转，而形成于轴部件42的外螺纹40与形成于内螺纹部件34的内螺纹34a啮合而被引导，固定于活塞部件76的下端的阀芯82向上方移动，从而成为开阀状态。
[0160]此时，随着转子磁体46的旋转，在与限位件48抵接的状态下，滑动环58沿引导线圈部件56滑动，抵接于引导线圈部件56的上端而上方位置受到限制。
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