一种侧向旋转闸阀的制作方法

文档序号:10366571阅读:576来源:国知局
一种侧向旋转闸阀的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及闸阀技术领域,具体涉及一种主要用于半导体、微电子以及液晶面板等制造企业的制程排气管道内的侧向旋转闸阀。
【背景技术】
[0002]现有闸阀装置一般工作原理表现为两种方式:1、如图1所示,闸阀叶片抽离式,此类闸阀的缺点是闸阀叶片抽离处阀体不好密封,如果是涂层闸阀叶片如何防止闸阀叶片抽离侧空间是否能够实现操作;2、如图2所示,螺杆升降式,此类闸阀的缺点是螺杆升降时伸出阀体部分过长,制程排气管道设计时无法提供此类阀门的操作空间。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的在于提供一种侧向旋转闸阀,其将固有闸阀叶片的直线运动改为旋转运动,并使闸阀叶片的运动在阀体内完成,节省了整个闸阀的占用空间,同时解决了闸阀的密封问题。
[0004]为了达到上述目的,本实用新型通过以下技术方案实现:
[0005]—种侧向旋转闸阀,其包含:阀体以及闸阀叶片,所述的阀体具有一供液体流通的介质通道;其特征是:
[0006]所述阀体内设有一与所述的介质通道连通的转移空间,所述阀体上还设有一阀杆轴套;
[0007]所述的闸阀叶片设置在所述的阀体内,其上设有阀杆,且阀杆与所述阀体上的阀杆轴套对应连接,闸阀叶片围绕所述阀杆的轴心旋转使其在所述的介质通道和转移空间之间来回,实现闸阀的开闭。
[0008]上述的侧向旋转闸阀,其中,所述的阀体包含:
[0009]上阀体,其本体上设有一上闸口 ;
[0010]位于上阀体下方的下阀体,其本体上设有一与上阀体的上闸口对应设置的下闸口,所述的上闸口与下闸口连通形成所述的介质通道;
[0011]支撑板,其位于所述的上阀体和下阀体之间,其具有一旋转通道,且该旋转通道局部位于所述上闸口与下闸口的连通位置并构成所述介质通道的一部分,其剩余部分构成所述阀体的转移空间。
[0012]上述的侧向旋转闸阀,其中,还包含:
[0013]上密封垫,其位于所述的上阀体与支撑板之间,使上阀体与支撑板之间以及闸阀叶片与上阀体之间分别形成密封;
[0014]下密封垫,其位于所述的下阀体与支撑板之间,使下阀体与支撑板之间以及闸阀叶片与下阀体之间分别形成密封。
[0015]上述的侧向旋转闸阀,其中:
[0016]所述的阀杆与阀杆轴套之间通过O型密封圈密封。
[0017]上述的侧向旋转闸阀,其中:
[0018]所述支撑板上旋转通道的形状与所述闸阀叶片的旋转轨迹匹配。
[0019]上述的侧向旋转闸阀,其中:
[0020]所述的上阀体、支撑板、下阀体均由金属板制成;
[0021 ] 所述的上密封垫和下密封垫均采用邵氏硬度高于90度的PTFE板制成。
[0022]上述的侧向旋转闸阀,其中:
[0023]所述的侧向旋转闸阀应用于半导体、微电子以及液晶面板制造时所使用的制程排气管道内。
[0024]本实用新型与现有技术相比具有以下优点:其将固有闸阀叶片的直线运动改为旋转运动,并使闸阀叶片的运动在阀体内完成,节省了整个闸阀的占用空间,同时解决了闸阀的密封问题。
【附图说明】
[0025]图1为现有技术的叶片抽离式闸阀;
[0026]图2为现有技术的螺杆升降式闸阀;
[0027]图3为本实用新型的爆炸图;
[0028]图4为本实用新型的阀杆与阀杆轴套的密封结构示意图;
[0029]图5为本实用新型的实施例结构示意图。
【具体实施方式】
[0030]以下结合附图,通过详细说明一个较佳的具体实施例,对本实用新型做进一步阐述。
[0031]如图5所示;一种侧向旋转闸阀,应用于半导体、微电子以及液晶面板制造时所使用的制程排气管道内,其包含:阀体以及闸阀叶片4,所述的阀体包含上阀体I,其本体上设有一上闸口,以及位于上阀体I下方的下阀体6,其本体上设有一与上阀体I的上闸口对应设置的下闸口,所述的上闸口与下闸口连通形成所述的介质通道;所述阀体内设有一与所述的介质通道连通的转移空间,所述阀体上还设有一阀杆轴套11;所述的闸阀叶片4设置在所述的阀体内,其上设有阀杆41,且阀杆41与所述阀体上的阀杆轴套11对应连接,闸阀叶片4围绕所述阀杆41的轴心旋转使其在所述的介质通道和转移空间之间来回,实现闸阀的开闭。
[0032]如图3所示,本实施例中,所述的转移空间通过一个位于所述的上阀体I和下阀体6之间的支撑板3来实现,该支撑板3具有一旋转通道31,且该旋转通道31局部位于所述上闸口与下闸口的连通位置并构成所述介质通道的一部分,其剩余部分构成所述阀体的转移空间;所述支撑板3上旋转通道31的形状与所述闸阀叶片4的旋转轨迹匹配,以实现一个侧向旋转的目的。
[0033]所述的侧向旋转闸阀还包含:上密封垫2,其位于所述的上阀体I与支撑板3之间,使上阀体I与支撑板3之间以及闸阀叶片4与上阀体I之间分别形成密封;下密封垫5,其位于所述的下阀体6与支撑板3之间,使下阀体6与支撑板3之间以及闸阀叶片4与下阀体6之间分别形成密封;如图4所示,所述的阀杆41与阀杆轴套11之间还通过O型密封圈7密封,阀杆41的两端分别设有凹槽,O型密封圈7分别套装在凹槽内其外圈与阀杆轴套的内壁面贴近。
[0034]为了使本实用新型的侧向旋转闸阀的占用空间最低,本实施例中,所述的上阀体1、下阀体6、支撑板3、闸阀叶片4、上密封垫2以及下密封垫5均为板状或片状结构,叠设在一起,并通过螺栓将它们连成一体,所述的闸阀叶片4为圆形薄片,其直径可以略大于所述介质通道的直径,阀杆41安装在该薄片外沿的一个凸部上,而不是直接设置在闸阀叶片4的圆形薄片上的,使阀杆41与介质通道之间也能通过上密封垫2与下密封垫5形成密封,密封效果更好。
[0035]本实施例中,所述的上阀体1、支撑板3、下阀体6均由金属板制成;所述的上密封垫
2和下密封垫5均采用邵氏硬度高于90度的PTFE板制成。
[0036]本实施例中,阀杆41的一端伸出阀体外,通过一个连接阀杆41的手轮8控制阀杆41的转动,并通过阀杆41转动角度来判断闸阀的开闭状态。
[0037]尽管本实用新型的内容已经通过上述优选实施例作了详细介绍,但应当认识到上述的描述不应被认为是对本实用新型的限制。在本领域技术人员阅读了上述内容后,对于本实用新型的多种修改和替代都将是显而易见的。因此,本实用新型的保护范围应由所附的权利要求来限定。
【主权项】
1.一种侧向旋转闸阀,其包含:阀体以及闸阀叶片(4),所述的阀体具有一供液体流通的介质通道;其特征在于: 所述阀体内设有一与所述的介质通道连通的转移空间,所述阀体上还设有一阀杆轴套(11); 所述的闸阀叶片(4)设置在所述的阀体内,其上设有阀杆(41),且阀杆(41)与所述阀体上的阀杆轴套(11)对应连接,闸阀叶片(4)围绕所述阀杆(41)的轴心旋转使其在所述的介质通道和转移空间之间来回,实现闸阀的开闭。2.如权利要求1所述的侧向旋转闸阀,其特征在于,所述的阀体包含: 上阀体(I),其本体上设有一上闸口 ; 位于上阀体(I)下方的下阀体(6 ),其本体上设有一与上阀体(I)的上闸口对应设置的下闸口,所述的上闸口与下闸口连通形成所述的介质通道; 支撑板(3),其位于所述的上阀体(I)和下阀体(6)之间,其具有一旋转通道(31),且该旋转通道(31)局部位于所述上闸口与下闸口的连通位置并构成所述介质通道的一部分,其剩余部分构成所述阀体的转移空间。3.如权利要求2所述的侧向旋转闸阀,其特征在于,还包含: 上密封垫(2),其位于所述的上阀体(I)与支撑板(3)之间,使上阀体(I)与支撑板(3)之间以及闸阀叶片(4)与上阀体(I)之间分别形成密封; 下密封垫(5),其位于所述的下阀体(6)与支撑板(3)之间,使下阀体(6)与支撑板(3)之间以及闸阀叶片(4)与下阀体(6)之间分别形成密封。4.如权利要求1至3中任意一项所述的侧向旋转闸阀,其特征在于: 所述的阀杆(41)与阀杆轴套(11)之间通过O型密封圈(7)密封。5.如权利要求2所述的侧向旋转闸阀,其特征在于: 所述支撑板(3)上旋转通道(31)的形状与所述闸阀叶片(4)的旋转轨迹匹配。6.如权利要求3所述的侧向旋转闸阀,其特征在于: 所述的上阀体(I)、支撑板(3 )、下阀体(6 )均由金属板制成; 所述的上密封垫(2)和下密封垫(5)均采用邵氏硬度高于90度的PTFE板制成。7.如权利要求1或2或3或5或6所述的侧向旋转闸阀,其特征在于: 所述的侧向旋转闸阀应用于半导体、微电子以及液晶面板制造时所使用的制程排气管道内。
【专利摘要】本实用新型公开了一种侧向旋转闸阀,其包含:阀体以及闸阀叶片,所述的阀体具有一供液体流通的介质通道;所述阀体内设有一与所述的介质通道连通的转移空间,所述阀体上还设有一阀杆轴套;所述的闸阀叶片设置在所述的阀体内,其上设有阀杆,且阀杆与所述阀体上的阀杆轴套对应连接,闸阀叶片围绕所述阀杆的轴心旋转使其在所述的介质通道和转移空间之间来回,实现闸阀的开闭。其优点是:其将固有闸阀叶片的直线运动改为旋转运动,并使闸阀叶片的运动在阀体内完成,节省了整个闸阀的占用空间,同时解决了闸阀的密封问题。
【IPC分类】F16K27/04, F16K3/314, F16K3/06
【公开号】CN205278422
【申请号】CN201521042705
【发明人】钟平, 周益斌, 蒋景春
【申请人】点夺机电工程江苏有限公司
【公开日】2016年6月1日
【申请日】2015年12月15日
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